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[发明专利]微机械设备-CN202180046535.0在审
发明人： T·沙里;J·托马斯科;K·德塞尔;F·沙茨 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2021-05-28 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：提出一种微机械设备(1a)、尤其是微镜设备，该微机械设备具有至少一个第一微机械部件(2a)和第二微机械部件(3a)。第一部件(2a)和第二部件(3a)直接地或者间接地相互连接。第一微机械部件(2a)具有第一子主体(4a)和至少一个第二子主体(5a)。第一子主体(4a)在第一平面(20a)中伸展，第二子主体(5a)在第二平面(21a)中伸展，所述第二平面与第一平面(20a)不同。第一平面(20a)和第二平面(21a)彼此平行地伸展，并且第一平面(20a)在第二平面(21a)上方伸展。在此，第二子主体(5a)布置在到第二微机械部件(3a)的过渡区域中。第二子主体(5a)在纵向方向上的第二延展尺度(26a)大于第一子主体(4a)在纵向方向上的第一延展尺度(25a)。
微机设备

[发明专利]读出信号发生器和用于运行电容设备的方法-CN202080010697.4在审
发明人： K·德塞尔;C·舍林 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2020-01-20 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： G01D5/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于电容设备(12)的读出信号发生器(10)和一种用于运行电容设备(12)的方法，其通过以下方式：在读出信号通道(17)上提供具有脉冲频率(tvar)的脉冲式读出信号，所述电容设备(12)的至少一个电容器装置(Csense和Cref)直接或间接地与所述读出信号通道电连接；并且借助所述脉冲式读出信号读出所述电容设备(12)的至少一个电容器装置(Csense和Cref)，所述至少一个电容器装置具有固有振荡周期持续时间为tres的固有振荡，其中，将所述脉冲式读出信号的每个电压脉冲以n个在时间上彼此偏移的电压级接通到所述读出信号通道(17)上，其中，n是大于等于2的自然数，其中，在两个彼此相继地接通的电压级之间分别如此保持时间偏移Δti，使得对于所述电压级之间的至少一个时间偏移Δti适用：等式(1)，其中，m是大于等于零的自然数：
读出信号发生器用于运行电容设备方法

[发明专利]具有膜片的MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法-CN201980085041.6在审
发明人： T·弗里德里希;K·德塞尔;C·赫尔梅斯 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2019-12-17 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： B81B7/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有膜片的EMS传感器，其中，所述膜片的基面借助于环绕的壁结构限界，其中，所述基面具有至少两个部分区域，其中，所述部分区域中的至少一个部分区域能偏移地布置，其中，所述至少两个部分区域借助于至少一个分隔结构相对彼此分开或者通过该分隔结构限界，其中，所述分隔结构具有用于使流体通过的至少一个流体通道。
具有膜片 mems 传感器以及用于制造方法

[发明专利]微机械传感器装置和用于制造微机械传感器装置的方法-CN201980085042.0在审
发明人： T·弗里德里希;K·德塞尔;C·赫尔梅斯 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2019-12-17 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： G01L9/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种微机械传感器装置(1)，包括衬底(2)和边缘层(3)，所述边缘层布置在所述衬底(2)上并且在横向上包围在所述衬底(2)上面的内部区域(IB)；至少一个膜片(4)，所述膜片跨越所述内部区域(IB)并且构造在所述衬底(2)上面的被遮盖的腔(K)；至少一个支撑部(5)，所述支撑部在所述腔(K)内部布置在所述衬底(2)和所述膜片(4)之间并且所述膜片(4)固定在所述边缘层(3)和/或所述至少一个支撑部(5)上，其中，所述支撑部(5)将所述膜片(4)分隔成至少一个通过力作用(p)能运动的测量区域(MB)和至少一个通过所述力作用(p)不能运动的参考区域(RB)，其中，所述衬底(2)和所述膜片(4)在所述腔(K)内部包括在所述测量区域(MB)和参考区域(RB)中的面向彼此的电极(E1；E2)。
微机传感器装置用于制造方法

[发明专利]微机械构件和用于微机械构件的制造方法-CN201980059926.9在审
发明人： T·沙里;R·伯森德费尔;K·德塞尔;J·米哈列维奇;J·穆霍;F·沙茨;J·里德里希-莫勒;A·埃贝施佩歇尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2019-08-20 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种微机械构件，具有支架(10)、可调整部件(12)和第一曲折形弹簧(16a)和与第一曲折形弹簧(16a)关于第一对称平面(18)镜面对称地构造的第二曲折形弹簧(16b)，其中，构造有第一致动器装置(24a)和第二致动器装置(24b)，使得借助于所述第一致动器装置(24a)和所述第二致动器装置(24b)能够激励出所述第一曲折形弹簧(16a)和所述第二曲折形弹簧(16b)的周期性的并且关于所述第一对称平面(18)镜面对称的变形，其中，微机械构件也包括分别沿着旋转轴(32)延伸的第一扭转弹簧(26a)和第二扭转弹簧(26b)，其中，所述可调整部件(12)能够至少借助于所述第一曲折形弹簧(16a)和所述第二曲折形弹簧(16b)的周期性的和镜面对称的变形关于所述支架(10)围绕所述旋转轴(32)进行调整。
微机构件用于制造方法

[发明专利]微机械声换能器组件和相应的制造方法-CN201810010150.9有效
发明人： A·曼苏尔;D·潘特尔;F·普尔科;K·德塞尔;T·布克;T·诺尔特曼 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2018-01-05 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本发明建立一种微机械声换能器组件和一种相应的制造方法。微机械声换能器组件设有衬底(S)，该衬底具有正面(V)和背面(R)和带有空腔边缘区域(KR)的空腔(K)；在所述正面(V)上弹性悬挂的至少一个压电的振动梁(Z1‑Z6)，该振动梁在所述空腔(K)上延伸；和偏转限界装置(E1‑E3)，所述偏转限界装置设置在所述振动梁(Z1‑Z6)中的每个振动梁的端部边缘区域(ST1‑ST6)上并且如此构型，使得所述偏转限界装置使相应的所述端部边缘区域(ST1‑ST6)与所述空腔边缘区域(KR)或者另一振动梁(Z1‑Z6)的对置的端部边缘区域(ST1‑ST6)处于相互作用中，以便将相应的所述振动梁(Z1‑Z6)的偏转限制在极限偏转内。
微机械声换能器组件相应制造方法

[发明专利]镜设备以及投影装置-CN201580008827.X有效
发明人： R·施特劳布;K·德塞尔;F·恩吉卡姆恩吉蒙齐;H·格鲁茨埃克;Z·莱什詹;J·巴德尔;J·穆霍;F·沙茨;S·安布鲁斯特;S·莱迪克;J·佛伦茨 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2015-01-21 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开一种镜设备，所述镜设备具有：镜，所述镜振动地受支承；线圈；至少一个第一弹簧，所述至少一个第一弹簧将所述镜和所述线圈如此互相耦合，使得所述线圈布置为振动的所述镜的平衡重。本发明还公开一种相应的投影装置。
设备以及投影装置

[发明专利]用于微镜芯片的装配体、镜像装置以及用于镜像装置的制造方法-CN201580023728.9有效
发明人： F·沙茨;F·霍伊克;K·德塞尔;S·平特;D·潘特尔;F·罗尔夫林 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2015-04-27 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于微镜芯片(12a，12b)的装配体(10)，该装配体部分围绕内空腔(18)，其中，所述装配体(10，40)在两个彼此背离地指向的侧(10a，10b)上包括至少各一个部分外壁(20，22)，其中，所述装配体(10，40)具有至少一个第一外部开口(24a)和第二外部开口(24b)，使得穿过所述第一部分外壁(20)入射的光束(26)通过第一微镜芯片(12a)能偏转到第二微镜芯片(12b)上，并且通过第二微镜芯片(12b)能偏转穿过所述第二部分外壁(22)，在该第一外部开口上能安装第一微镜芯片(12a)，在该第二外部开口上能安装第一微镜芯片(12b)。本发明同样涉及一种镜像装置。本发明还涉及一种用于镜像装置的制造方法。
用于芯片装配装置以及制造方法

[发明专利]微机械构件和用于制造微机械构件的方法-CN201410424715.X有效
发明人： S·安布鲁斯特;H·格鲁特杰克;F·沙茨;J·穆霍;F·N·恩吉蒙齐;J·巴德尔;K·德塞尔;R·施特劳布 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2014-08-26 - 公布日： 2018-06-05 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种微机械构件和一种用于制造微机械构件的方法。该构件具有：一框架(40)；一板簧(20)，其与所述框架(40)连接，并且板簧具有前侧面(F20)和背侧面(B20)，背侧面与前侧面(F20)背离；一反射镜元件(10)，其布置在板簧(20)的前侧面(F20)上并且与所述板簧(20)的前侧面(F20)以如下方式连接，即，反射镜元件(10)能调节地悬挂在框架(40)上；和至少一个压电条(30、31)，至少一个压电条与板簧(20)的背侧面(B20)连接；其中，通过施加电压到至少一个压电条(30、31)上，板簧(20)能够为了调节反射镜元件(10)而弹性地变形。
板簧微机械构件前侧面反射镜元件压电条侧面施加电压制造变形背离悬挂

[发明专利]传感器和/或变换器设备和用于运行其的方法-CN201710416275.7在审
发明人： F·普尔科;K·德塞尔;T·布克 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2017-06-06 - 公布日： 2017-12-15 - 主分类号： H04R17/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种传感器和/或变换器设备，具有至少一个包括至少一个压电层的弯曲结构，通过该压电层分别至少部分填充在弯曲结构的至少两个电极之间的中间容积，其中，弯曲结构具有电子器件装置，该电子器件装置设计成，在弯曲结构的各两个电极之间这样施加至少一个预给定或确定的激励电压，使得可以至少部分补偿由于在弯曲结构中的固有应力梯度而引起的弯曲结构的变形。本发明同样涉及一种用于运行具有至少一个包括至少一个压电层的弯曲结构的传感器和/或变换器设备的方法以及一种用于校准具有至少一个包括至少一个压电层的弯曲结构的麦克风的方法。
传感器变换器设备用于运行方法

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