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[发明专利]具有振荡件的微机械构件及其制造方法和用于激发可调节部件围绕旋转轴线的运动的方法-CN201780083100.7有效
发明人： S·平特;P·考普曼;J·穆霍;H·格鲁茨埃克;J·佛伦茨 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2017-11-16 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种微机械构件，所述微机械构件具有：保持件(10)；可调节部件(12)，该可调节部件至少通过至少一个弹簧(14a、14b、14c)与所述保持件(10)连接；和致动器装置(18)，其中，所述可调节部件(12)围绕第一转动轴线(20)的第一振荡运动(Φ1)和被置于所述第一振荡运动(Φ1)中的所述可调节部件(12)围绕第二转动轴线(22)的第二振荡运动(Φ2)能借助于所述致动器装置(18)被激发；其中，所述可调节部件(12)至少借助于所述至少一个弹簧(14a、14b、14c)这样能调节地布置在所述保持件(10)上，使得所述可调节部件(12)能借助于引起的扭矩(M2)围绕垂直于所述第一转动轴线(20)且垂直于所述第二转动轴线(22)定向的旋转轴线(24)调节。本发明还涉及一种用于激发可调节部件(12)围绕旋转轴线(24)的运动的方法。
具有振荡微机构件及其制造方法用于激发调节部件围绕旋转轴线运动

[发明专利]微机械压力传感器设备和相应的制造方法-CN201880074037.5有效
发明人： V·森兹;A·丹嫩贝格;J·佛伦茨 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2018-10-26 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： G01L19/06 文献下载
摘要：本发明实现一种微机械压力传感器设备和相应的制造方法。微机械压力传感器设备配备有：具有前侧(VS)和后侧(RS)的传感器衬底(SE)；悬挂在传感器衬底(SE)中的压力传感器装置(SB)，其中，第一腔(K1)设置在压力传感器装置(SB)上方，该第一腔通过一个或多个进入开口(Z)朝着所述前侧(VS)露出；一个或多个应力卸载沟(T1、T2)，所述应力卸载沟在横向上围绕所述压力传感器装置(SB)并且形成从所述后侧(RS)朝着所述第一腔(K1)的流体连通；和电路衬底(AS)，所述传感器衬底(SE)的所述后侧(RS)键合到所述电路衬底上，其中，在所述压力传感器装置(SB)下方在所述电路衬底(AS)中构造有第二腔(K2)，该第二腔与所述应力卸载沟(T1、T2)处于流体连通中，并且，其中，在所述压力传感器装置(SB)的周围设置有至少一个通道(ST)，该通道与所述第二腔(K2)处于流体连通中并且向外露出。
微机压力传感器设备相应制造方法

[发明专利]用于压力传感器的传感器元件-CN201680067483.4有效
发明人： R·菲克斯;M·米奇克;S·策林格;T·S·弗赖;Z·莱什詹;J·佛伦茨 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2016-10-14 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： G01L9/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于压力传感器的传感器元件(100)，具有：‑传感器膜片(10)，在该传感器膜片上布置有限定数量的压阻(R1...Rn)，其中，所述压阻(R1...Rn)这样布置在电路中，使得在压力变化的情况下能够产生电压变化；‑至少两个温度测量元件(T1...Tn)，所述温度测量元件关于所述传感器膜片(10)这样布置，使得通过所述温度测量元件(T1...Tn)能够测量所述传感器膜片(10)在所述压阻(R1...Rn)的位置处的温度，其中，由于温度梯度而作用在所述压阻(R1...Rn)的电路上的电压能够通过所测量的温度在计算方面补偿。
用于压力传感器传感器元件

[发明专利]镜设备以及投影装置-CN201580008827.X有效
发明人： R·施特劳布;K·德塞尔;F·恩吉卡姆恩吉蒙齐;H·格鲁茨埃克;Z·莱什詹;J·巴德尔;J·穆霍;F·沙茨;S·安布鲁斯特;S·莱迪克;J·佛伦茨 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2015-01-21 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开一种镜设备，所述镜设备具有：镜，所述镜振动地受支承；线圈；至少一个第一弹簧，所述至少一个第一弹簧将所述镜和所述线圈如此互相耦合，使得所述线圈布置为振动的所述镜的平衡重。本发明还公开一种相应的投影装置。
设备以及投影装置