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[发明专利]具有阻尼结构的微机械传感器结构-CN202180081327.4在审
发明人： M·科斯特;J·赖因穆特 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有阻尼结构的微机械传感器结构(100)，包括：衬底(101)；相对于所述衬底(101)可弹性偏转的质量(103)；测量单元(105)，用于探测所述质量(103)的偏转；和阻尼结构(107)，用于以彼此嵌接的第一和第二阻尼梳(109，111)阻尼所述质量(103)的偏转，其中，所述第一阻尼梳(109)布置在所述质量(103)上，并且所述第二阻尼梳(111)可运动地布置在偏转结构(113)上，并且其中，在所述质量(103)沿第一方向(A1)偏转时，所述第二阻尼梳(111)通过所述偏转结构(113)相对于所述衬底(101)沿与所述第一方向(A1)相反的第二方向(A2)运动。
具有阻尼结构微机传感器

[发明专利]微机械构件、声换能器设备和用于制造微机械构件的方法-CN202180063133.1在审
发明人： F·赫尔佐克;J·赖因穆特 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2021-08-18 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于声换能器设备的微机械构件。微机械构件包括衬底、膜片、至少一个压电元件和至少一个电接通连接。膜片以可振动的方式构型并与衬底连接。至少一个压电元件布置在膜片与衬底之间并与膜片连接。至少一个压电元件构造用于产生和/或探测膜片的在超声波范围中的振动。至少一个电接通连接与至少一个压电元件电连接。微机械构件能够以倒装芯片技术与操控电路如此连接，使得至少一个压电元件能够通过至少一个电接通连接与操控电路电连接。
微机构件声换能器设备用于制造方法

[发明专利]用于制造微机械装置的组合式激光钻孔和等离子蚀刻方法以及微机械装置-CN201710684081.5有效
发明人： J-P·施塔德勒;J·赖因穆特 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2017-08-11 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种微机械装置，具有第一衬底(11)、具有至少一个第一空腔(100)、具有通到第一空腔(100)的封闭的通道(1)，其中，通道穿过第一衬底(11)延伸。本发明的核心在于，通道(1)具有激光钻孔的第一部分区段(12)和等离子蚀刻的第二部分区段(13)，其中，等离子蚀刻的第二部分区段(13)具有通到第一空腔(100)的开口，其中，通道(1)在第一部分区段(12)中通过由至少第一衬底(11)的熔化物构成的熔化封口部(5)封闭。本发明还涉及用于制造微机械装置的组合式激光钻孔和等离子蚀刻方法。
用于制造微机装置组合式激光钻孔等离子蚀刻方法以及

[发明专利]用于制造微机械结构元件的方法-CN201680071589.1有效
发明人： J·克拉森;J·赖因穆特;J-P·施塔德勒;A·布赖特林 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2016-10-12 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于制造微机械结构元件(100)的方法，具有以下步骤：提供MEMS晶片(20)和罩晶片(10)；在所述MEMS晶片(20)中构造微机械结构(23、24)用于至少两个传感器(S1、S2)；以所述罩晶片(10)气密地封闭所述MEMS晶片(20)；构造到第一传感器(S1)的第一空穴中的第一进入孔(12)；将限定的第一压力通过所述第一进入孔(12)引入到所述第一传感器(S1)的空穴中；封闭所述第一进入孔(12)；构造到第二传感器(S2)的第二空穴中的第二进入孔(13)；将限定的第二压力通过所述第二进入孔(13)引入到所述第二传感器(S2)的空穴中；并且封闭所述第二进入孔(13)。
用于制造微机结构元件方法

[发明专利]具有激光激活的吸气剂材料的传感器元件-CN201680071579.8有效
发明人： J·赖因穆特;A·布赖特林;J·弗莱;E·格拉夫;M·阿梅托沃布拉 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2016-10-12 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提出一种用于制造微机械结构元件的方法，该微机械结构元件具有衬底和与衬底连接并且与衬底包围第一空穴的罩，其中，在第一空穴中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，在第一方法步骤中，在衬底中或在罩中构造连接第一空穴与微机械结构元件的周围环境的进入开口，其中，在第二方法步骤中，设定在第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，其中，在第三方法步骤中，通过借助于激光将能量或热量引入到衬底或罩的吸收部分中来封闭进入开口，其中，在时间上在所述第三方法步骤之前将用于进一步设定第一压力和/或第一化学组分的可逆吸气剂引入到第一空穴中。
具有激光激活吸气材料传感器元件

[发明专利]转速传感器，用于制造转速传感器的方法-CN201810895563.X有效
发明人： J·赖因穆特;R·毛尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2018-08-08 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： G01P3/44 文献下载
摘要：本发明涉及一种转速传感器，具有衬底，其中，转速传感器具有关于衬底能运动的驱动结构、探测结构和科里奥利结构，其中，驱动结构、科里奥利结构和探测结构基本上布置在层中，其特征在于，附加层基本上平行于层地布置在层上方或下方，其中，借助于第一弹簧部件建立在科里奥利结构和驱动结构之间的机械连接，其中，第一弹簧部件构造为附加层的部分，和/或，其中，借助于第二弹簧部件建立在探测结构和衬底之间的机械连接，其中，第二弹簧部件构造为附加层的部分。
转速传感器用于制造方法

[发明专利]具有接触垫的微机械设备-CN202210533674.2在审
发明人： J·赖因穆特;M·兰巴赫 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2022-05-16 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明基于一种微机械设备，所述微机械设备具有包围至少一个第一腔体(60)的MEMS衬底(10)和盖衬底(20)，所述微机械设备具有布置在所述第一腔体外部的至少一个接触垫(40)，其中，MEMS结构(30)布置在所述第一腔体中并且借助印制导线(50)与所述接触垫连接，其中，所述印制导线至少部分地在所述MEMS衬底中延伸。本发明的核心在于，所述接触垫布置在所述盖衬底的表面上。
具有接触微机设备

[发明专利]用于微机电传感器的温度补偿的方法以及微机电传感器-CN202210485851.4在审
发明人： A·叶米利;J·赖因穆特;D·拉多维奇;R·舍本;S·贝克尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2022-05-06 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：提出用于MEMS传感器的温度补偿的方法：在调整步骤中，通过热元件产生温度梯度并在第一和第二温度测量点处确定第一和第二温度，测量可运动的结构的由温度梯度产生的偏移并根据第一和第二温度及偏移求取补偿值；在测量步骤中，通过可运动的结构的偏移测量物理刺激并在第一和第二温度测量点处确定第三和第四温度；在补偿步骤中，根据测量的偏移、第三和第四温度及补偿值求取物理刺激的测量值。还提出具有以下步骤的方法：在调节步骤中确定在第一和第二温度测量点之间的温差，对由热元件产生的温度升高的调节如此进行，使得最小化在第一和第二温度测量点之间的温差；在测量步骤中，通过可运动的结构的偏移测量物理刺激。还提出一种微机电传感器。
用于微机传感器温度补偿方法以及

[发明专利]具有罩接触部的MEMS开关-CN202210381437.9在审
发明人： B·克莱因;J·赖因穆特;L·米勒;M·勒维斯 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2022-04-12 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明从一种微机械开关出发，所述微机械开关具有第一衬底(11)和第二衬底(14)，第一衬底具有微机械功能层(23)，在该微机械功能层中构造有能够偏移的开关元件(12)，第二衬底与第一衬底连接，其中，第二衬底具有距离(A)地布置在开关元件的上方，其中，开关元件具有能够导电的第一接触区域(13)并且能够朝向第二衬底偏移。本发明的核心在于，第二衬底在内侧(141)上具有能够导电的第二接触区域(15)，该第二接触区域如此布置为，使得开关元件能够以第一接触区域贴靠到第二接触区域上，以便闭合电接触部(16)。本发明还涉及一种用于制造微机械开关的方法。
具有接触 mems 开关

[发明专利]用于压力传感器设备的微机械构件-CN201780037218.6有效
发明人： J·赖因穆特 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2017-05-17 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于压力传感器设备的微机械构件，具有在衬底(10)撑开并且能够借助于在所述衬底(10)的第一衬底侧和所述衬底(10)的第二衬底侧之间的压力差拱曲的膜片(12)，和摆杆结构(14)，该摆杆结构与所述膜片(12)如此连接，使得所述摆杆结构(14)能够借助于所述膜片(12)的拱曲围绕第一旋转轴线(16)移位，其中，摆杆结构(14)通过杠杆结构(18)与所述膜片(12)如此连接，使得所述膜片(12)的拱曲触发所述杠杆结构(18)围绕平行于所述第一旋转轴线(16)定向并且与该第一旋转轴线间隔开的第二旋转轴线(20)的旋转运动，并且所述杠杆结构(18)围绕所述第二旋转轴线(20)的旋转运动触发所述摆杆结构(18)围绕所述第一旋转轴线(16)的另外的旋转运动。此外，本发明涉及一种压力传感器设备和一种用于压力传感器设备的微机械构件的制造方法。
用于压力传感器设备微机构件

[发明专利]具有膜片的微机械构件、用于这种构件的制造方法和用于运行压力传感器的方法-CN201780053183.5有效
发明人： J·赖因穆特;H·格鲁茨埃克 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2017-07-31 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种微机械构件，该微机械构件具有带着撑开的膜片(12)的保持装置(10)，该膜片能够借助第一膜片侧(12a)和第二膜片侧(12b)之间的压力差逆着按照所述膜片(12)的膜片弹簧常数产生的膜片反力(Fm)扭曲，并且具有与膜片(12)连接的至少一个致动器电极(18)，该致动器电极能够借助膜片(12)的扭曲逆着按照至少一个弹簧(20)的至少一个弹簧常数产生的弹簧力移位，其中，总系统弹簧常数能够限定为所述膜片(12)的膜片弹簧常数和唯一一个弹簧的弹簧常数或所有弹簧(20)的总弹簧常数的和，通过所述弹簧使所述至少一个致动器电极(18)与所述保持装置(10)连接，并且其中，唯一一个弹簧的弹簧常数和所有弹簧(20)的总弹簧常数为总系统弹簧常数的至少5％。本发明同样涉及一种用于微机械构件的制造方法和一种用于运行压力传感器的方法。
具有膜片微机构件用于这种制造方法运行压力传感器

[发明专利]微机械传感器元件-CN202111317900.5在审
发明人： J·赖因穆特 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2021-11-09 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：一种微机械传感器元件(1，1′)，其具有衬底、第一可运动地布置在衬底上的结构(5)、第二可运动地布置在衬底上的结构(6)和固定地布置在衬底上的电极布置(15)，电极布置具有至少一个第一电极(31)。可运动地布置的结构(5，6)通过至少一个耦合元件(9)如此彼此耦合，使得在第一可运动地布置的结构沿着第一方向(2)偏移的情况下，第二可运动地布置的结构经历沿着反方向的偏移。第一电极具有多个电极面(19)。可运动地布置的结构分别具有多个可运动的电极面(20，30)。固定于衬底的电极面和可运动的电极面彼此接合。可运动的电极面分别布置在固定于衬底的电极布置的电极面的与可运动地布置的结构背离的侧(35)上。
微机传感器元件

[发明专利]用于压力和惯性传感器设备的微机械构件-CN202080066834.6在审
发明人： J·克拉森;J·赖因穆特;L·特伯杰 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2020-09-04 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于压力和惯性传感器设备的微机械构件，所述微机械构件具有衬底(10)、撑开的膜片(12)和布置在所述内部容积(16)中的振动质量(14)，所述衬底具有衬底表面(10a)，所述膜片具有朝向所述衬底表面(10a)定向的膜片内侧(12a)和远离所述衬底表面(10a)指向的膜片外侧(12b)，其中，所述膜片内侧(12a)邻接于内部容积(16)，在所述内部容积中封锁有参考压力(p0)，并且其中，所述膜片(12)借助存在于其膜片外侧(12b)上的压力(p)与所述参考压力(p0)之间的压力差能够被翘曲，其中，在所述膜片内侧(10a)上突出的且伸入到所述内部容积(16)中的传感器电极(18)借助所述膜片(12)的翘曲相对于所述衬底(10)能够被调整。同样地，本发明涉及一种压力和惯性传感器设备。另外，本发明涉及一种用于制造用于压力和惯性传感器设备的微机械构件的制造方法。
用于压力惯性传感器设备微机构件

[发明专利]微机械式z轴惯性传感器和用于制造这种传感器的方法-CN202111203696.4在审
发明人： J·赖因穆特 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2021-10-15 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种微机械式z轴惯性传感器(100)，其具有：至少一个第一振动质量元件(10a)；和‑与所述第一振动质量元件(10a)连接的扭转弹簧元件(11a…11n，12a…12n)；其中，‑第一扭转弹簧元件(11a…11n)分别接到衬底(1)上，并且，第二扭转弹簧元件(12a…12n)分别接到所述第一振动质量元件(10a)上；其中，‑第一和第二扭转弹簧元件(11a…11n，12a…12n)分别借助杠杆元件(13a…13n)彼此连接，其中，所述杠杆元件(13a…13n)构造成止挡到止挡元件(3a…3n)上。本发明还涉及一种用于制造微机械式z轴惯性传感器(100)的方法。
微机惯性传感器用于制造这种方法

[发明专利]用于制造微机电结构的方法和微机电结构-CN202111055409.X在审
发明人： J·赖因穆特;R·博森德费尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2021-09-09 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：提出用于制造微机电结构的方法，具有以下步骤：形成具有槽口的第一和第二功能层、第三功能层及三个布置其间的绝缘层，第三功能层的结构化横向区域限定可运动结构，绝缘层及第一和第二功能层分别具有布置在第三功能层结构化横向区域下方且相应于结构化横向区域垂直投影的横向区域；蚀刻绝缘层，完全去除第三绝缘层横向区域中的第三绝缘层并使可运动结构暴露，第一功能层的布置在第一功能层横向区域中的所有槽口通过窄的沟槽形成，其宽度小于第一与第三功能层之间的垂直距离的两倍，第一功能层如此形成，使得其在横向区域中具有通过沟槽与第一功能层的剩余部分分开的至少一个电绝缘部段。此外提出具有衬底及第一、第二和第三功能层的微机电结构。
用于制造微机结构方法

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