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[发明专利]具有罩接触部的MEMS开关-CN202210381437.9在审
发明人： B·克莱因;J·赖因穆特;L·米勒;M·勒维斯 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2022-04-12 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明从一种微机械开关出发，所述微机械开关具有第一衬底(11)和第二衬底(14)，第一衬底具有微机械功能层(23)，在该微机械功能层中构造有能够偏移的开关元件(12)，第二衬底与第一衬底连接，其中，第二衬底具有距离(A)地布置在开关元件的上方，其中，开关元件具有能够导电的第一接触区域(13)并且能够朝向第二衬底偏移。本发明的核心在于，第二衬底在内侧(141)上具有能够导电的第二接触区域(15)，该第二接触区域如此布置为，使得开关元件能够以第一接触区域贴靠到第二接触区域上，以便闭合电接触部(16)。本发明还涉及一种用于制造微机械开关的方法。
具有接触 mems 开关

[发明专利]具有嵌入式金属接触部的MEMS开关-CN202210381696.1在审
发明人： J·莱茵穆特;M·勒维斯;P·施莫尔格鲁贝尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2022-04-12 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： H01H11/06 文献下载
摘要：本发明从一种MEMS开关出发，该MEMS开关具有衬底(1)，该衬底具有第一绝缘层(100)和位于第一绝缘层上方的硅层(110)，其中，在硅层中形成有固定部分(121)和可运动的开关部分(122)。本发明的核心在于，第一金属层(13)布置在硅层的背向衬底的一侧上在硅层中的凹槽中，其中，第一金属层形成固定部分与开关部分之间的至少一个能够接通的电接触部。本发明还涉及一种用于制造具有至少一个嵌入式金属接触部的MEMS开关的方法。
具有嵌入式金属接触 mems 开关

[发明专利]能够电容式操纵的MEMS开关-CN202210236750.3在审
发明人： J·莱茵穆特;M·勒维斯 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：本发明基于电可操纵的MEMS开关，具有衬底和布置在衬底上的微机械功能层，在该功能层中构造固定部分和电可操纵、可偏移的开关元件，其为了闭合与固定部分的导电接触部而可偏移地悬挂在至少一个第一弹簧上。本发明核心在于：开关元件在第一运行状态下位于与固定部分具有第一间距的第一位置中且电接触部打开；开关元件在第二运行状态下位于与固定部分具有第二间距的第二位置中，第二间距小于第一间距，第一弹簧偏移并施加第一恢复力，开关元件与至少一个第二弹簧进入有效连接且电接触部打开；开关元件在第三运行状态下位于第三位置中，开关元件贴靠在固定部分上且导电接触部闭合，第一弹簧偏移并施加第一恢复力，第二弹簧偏移并施加第二恢复力。
能够电容操纵 mems 开关