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[发明专利]用于半导体热处理设备的立式晶舟-CN201010596415.1有效
发明人：赵星梅;董金卫;魏景峰;赵燕平 -专利权人：北京七星华创电子股份有限公司
申请日： 2010-12-10 - 公布日： 2011-08-03 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明涉及半导体生产装置领域。本发明的一种用于半导体热处理设备的立式晶舟，包括上下圆盘以及圆盘之间的连接立柱，其中，所述连接立柱为3根或3根以上，所述连接支柱之间固定有多层条状凸台，所述凸台相互平行，且上表面处于同一水平面上，所述每层凸台之间有开口，所述开口宽度的大小大于传片机械手载片装置的宽度。本发明能够对晶片有较好的支撑，可以有效的防止高温热处理工艺中的晶片滑移和变形，从而提高生产效率和良品率。
用于半导体热处理设备立式

[发明专利]用于半导体热处理设备的立式晶舟支撑件-CN201010596419.X无效
发明人：董金卫;魏景峰;赵燕平;赵星梅 -专利权人：北京七星华创电子股份有限公司
申请日： 2010-12-10 - 公布日： 2011-08-03 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明涉及半导体生产装置领域。本发明的一种用于半导体热处理设备的立式晶舟支撑件，其中，所述支撑件为薄型圆环形结构，所述圆环的上表面有环形凹槽，所述圆环的直径大于或等于晶片的直径。本发明提供了提供一种辅助晶舟支撑晶片的支撑件，可以有效的防止高温热处理中的晶片发生滑动、滑移和和弹性变形。
用于半导体热处理设备立式支撑

[实用新型]一种用于制造半导体器件的氧化装置-CN201020523722.2有效
发明人： 魏景峰;王丽荣;兰云峰;白鹏 -专利权人：北京七星华创电子股份有限公司
申请日： 2010-09-08 - 公布日： 2011-04-20 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于制造半导体器件的氧化装置，包括：炉体；位于炉体内的工艺管；位于工艺管内的承载石英舟；控制承载石英舟升降的升降控制部；位于升降控制部下用于保持工艺管内部温度的保温桶；位于工艺管底部的炉门；通过炉门与工艺管连接的微环境室，其特征在于，微环境室包括微环境排气装置。本实用新型提供的一种用于制造半导体器件的氧化装置能均匀排除从工艺管进入微环境室里的氧化反应残留气体，防止氧化反应残留气体中的含氧量过高，影响已有硅片及下一组硅片的氧化工艺结果，并且使微环境室中的压力在排气过程中也能保持稳定性。
一种用于制造半导体器件氧化装置

[实用新型]脂肪酸甲酯与甘油自动分离装置-CN201020203498.9有效
发明人：刘海刚;刘希贵;魏景峰;佟文学;付允杰 -专利权人：灯塔北方化工有限公司
申请日： 2010-05-26 - 公布日： 2011-04-13 - 主分类号： B01D17/032 文献下载
摘要：脂肪酸甲酯与甘油自动分离装置涉及一种对脂肪酸甲酯和甘油进行分离的装置。主要是为解决现有的脂肪酸甲酯与甘油分离装置需要加装甘油液位调节阀和甘油远传界面表来控制甘油液位，生产成本高的问题而设计的。它包括脂肪酸甲酯、甘油分离罐，分离罐上有进料管，分离罐的上部有脂肪酸甲酯溢流管，分离罐的顶部连接有平衡管，分离罐的底部连接有甘油出料管，甘油出料管上有截止阀；在甘油出料管上设坡形管，坡形管上设防虹吸管，防虹吸管的另一端与平衡管相连通。优点是无需用甘油液位调节阀和甘油远程界面表控制甘油液位，脂肪酸甲酯、甘油分离罐内的甘油液位就能保持在一个合理的高度，从而实现脂肪酸甲酯和甘油的自动分离，降低生产成本。
脂肪酸甘油自动分离装置

[实用新型]甘油蒸发浓缩装置-CN201020203478.1有效
发明人：刘海刚;刘希贵;魏景峰;佟文学;于永彬 -专利权人：灯塔北方化工有限公司
申请日： 2010-05-26 - 公布日： 2011-02-23 - 主分类号： B01D1/26 文献下载
摘要：甘油蒸发浓缩装置涉及一种在生产精制甘油过程中对稀甘油进行蒸发浓缩的装置。主要是为解决现有的甘油蒸发浓缩装置浪费热能的问题而设计的。它包括一效蒸发器，一效蒸发器有蒸汽入口管线、出口管线、稀甘油进料管线，一效蒸发器有排放口与一效气液分离器相连，一效气液分离器有回流管线和下料管线分别与一效蒸发器和一效液位控制罐相连，一效液位控制罐有平衡管与一效气液分离器相连，一效液位控制罐有甘油出料管线与二效蒸发器相连，还有二效气液分离器、二效液位控制罐，二效液位控制罐有出料管线；在一效气液分离器和二效蒸发器之间设二次蒸汽管线。优点是节约热能。
甘油蒸发浓缩装置

[实用新型]计量泵-CN201020203475.8有效
发明人：刘海刚;刘希贵;魏景峰;佟文学;刘俊生 -专利权人：灯塔北方化工有限公司
申请日： 2010-05-26 - 公布日： 2011-02-23 - 主分类号： F04B13/00 文献下载
摘要：计量泵涉及一种安装在甲醇裂解制氢装置前方计量原料重量的计量泵。主要是为解决现有的计量泵在运行过程中管道焊缝易开裂，计量不够准确，噪音大的问题而设计的。它包括计量泵泵体，计量泵泵体的下部有进口管线，计量泵泵体的上部有出口管线；在出口管线上设有分支管线，分支管线的一端与出口管线连通，另一端与阻尼罐连通，该分支管线上设有阀门，在该阀门和阻尼罐之间的分支管线上连接有氮气进口管线，氮气进口管线上也设有阀门。优点是能减小计量泵管道震动，管道焊缝不易开裂，计量准确，噪音小。
计量

[实用新型]高压加氢装置-CN201020203488.5有效
发明人：刘海刚;刘希贵;魏景峰;佟文学;付允杰 -专利权人：灯塔北方化工有限公司
申请日： 2010-05-26 - 公布日： 2010-12-29 - 主分类号： C07C29/147 文献下载
摘要：高压加氢装置涉及一种在生产天然酯肪醇过程中对酯肪酸甲酯进行加氢的装置。主要是为解决目前物料在高压加氢装置内反应时产生的热量被浪费等问题而设计的。它包括加热器，加热器上有导热油入口管线和出口管线，加热器有物料出口管线与第一反应器相连，第一反应器有第一反应器出料管线与第二反应器相连；在加热器的前方增设热交换器，热交换器的壳层入口与进料管线相连，热交换器的壳层出口有管线与加热器的入口相连，第二反应器的出口有第二反应器出料管线与热交换器的管层入口相连，热交换器的管层出口有冷却器入口管线与冷却器的入口相连，冷却器的出口有冷却器出口管线，冷却器上有循环冷却水进出管线。优点是节能。
高压加氢装置

[实用新型]工艺蒸汽冷凝水再利用装置-CN201020203486.6有效
发明人：刘海刚;刘希贵;魏景峰;佟文学;刘俊生 -专利权人：灯塔北方化工有限公司
申请日： 2010-05-26 - 公布日： 2010-12-29 - 主分类号： C02F1/04 文献下载
摘要：工艺蒸汽冷凝水再利用装置涉及一种回收工艺蒸汽冷凝水进行再利用的装置。主要是为解决现有的软化水供水装置利用地下一次水生产软化水，软化水供水装置反渗透膜的使用寿命低和生产软化水效率低的问题而设计的。它包括冷凝水回收储罐，冷凝水回收储罐上有冷凝水进水管，冷凝水回收储罐上有排空管，冷凝水回收储罐的底部有冷凝水出口管与供水泵的入口相连，供水泵的出口有出水管与冷却塔的入水口相连，冷却塔的冷却水出口有冷却水管线，冷却塔内有不锈钢波纹填料。优点是可利用本装置生产工艺蒸汽冷凝水，冷凝水作为生产软化水的水源，硬度小，杂质含量小，能提高软化水供水装置反渗透膜的使用寿命，并能提高软化水供水装置的生产效率。
工艺蒸汽冷凝再利用装置

[发明专利]喷雾式反应器-CN200910011547.0无效
发明人：刘希贵;魏景峰 -专利权人：辽宁华兴集团化工股份公司
申请日： 2009-05-15 - 公布日： 2010-11-17 - 主分类号： B01J19/26 文献下载
摘要：喷雾式反应器涉及一种生产醇醚装置中的反应器。主要是为解决现有的生产醇醚装置中的喷雾式反应器加成反应速度慢，产品分子量分布宽，产品质量差的问题而设计的。反应器为球形，在球形反应器外壁上环绕起始剂喷管，起始剂喷管焊接在球形反应器外壁上，其朝向外壁的一面有开口，球形反应器对着起始剂喷管开口的壁上设有若干个通孔，通孔在反应器内壁上的一端连接有喷头，输送环氧乙烷的管道通入球形反应器内，管道端部的喷头为球形喷头，球形喷头位于球形反应器的中央。优点是起始剂与环氧乙烷逆向接触，接触充分，加成反应速度快，产品分子量分布窄，产品质量好。
喷雾反应器

[实用新型]脂肪醇脱羰装置-CN201020010213.X有效
发明人：刘希贵;刘海刚;魏景峰;吴海东;付允杰;佟文学 -专利权人：灯塔北方化工有限公司
申请日： 2010-01-13 - 公布日： 2010-11-17 - 主分类号： C07C29/88 文献下载
摘要：脂肪醇脱羰装置涉及一种生产脂肪醇的脱羰装置。主要是为解决现有的生产脂肪醇设备没有脱羰装置，成品脂肪醇生产出来后直接送入脂肪醇储罐储存，成品脂肪醇的羰值高，满足不了某些用户需要的问题而设计的。它包括脱羰反应器，脱羰反应器的下部有管线供与上道工序的脂肪醇蒸馏装置连接，脱羰反应器的上部有管线与旋风分离器连接，旋风分离器的下部有管线供与脂肪醇储罐连接。优点是由于在成品脂肪醇储罐前增设了脂肪醇脱羰装置，降低了成品脂肪醇的羰值，从而能满足各种用户的需要。
脂肪醇脱羰装置

[实用新型]醇醚生产装置-CN201020010214.4有效
发明人：刘希贵;刘海刚;魏景峰;吴海东;付允杰;佟文学 -专利权人：灯塔北方化工有限公司
申请日： 2010-01-13 - 公布日： 2010-11-17 - 主分类号： C07C41/03 文献下载
摘要：醇醚生产装置涉及一种生产非离子表面活性剂的装置。主要是为解决现有的醇醚生产装置生产时热量流失的问题而设计的。它包括有进料管的前处理釜，前处理釜底部有管线经循环泵与加热器壳层的入口连接，加热器壳层出口有管线与前处理釜连接，在前处理釜与循环泵之间的管线上有管线与受器的上部连接，受器的底部有管线经主循环泵与加热器管层的进口连接，加热器管层的出口有管线与主换热器的入口连接，主换热器的出口有管线与反应器连接，反应器有管线与受器连接，反应器上有环氧乙烷进料管，受器与主循环泵之间的管线上有醇醚出料管。优点是节能效果好。
生产装置

[实用新型]晶片承载移动装置-CN200920350857.0有效
发明人：赵星梅;魏景峰;赵燕平 -专利权人：北京七星华创电子股份有限公司
申请日： 2009-12-31 - 公布日： 2010-11-03 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型涉及热处理装置领域。本实用新型的一种立式热处理装置，包括双晶舟，其中，还包括处理腔，所述处理腔内安装有舟移载机构，所述舟分别放置在所述舟移载机构的两端。本实用新型提高了硅片处理的工艺效率，减少了等待时间，提高了生产效率，本机构结构简单，运行平稳，可靠性高。
晶片承载移动装置

[实用新型]甲酯萃取装置-CN200920015005.6有效
发明人：刘希贵;刘海刚;李晓峰;魏景峰;刘俊生 -专利权人：灯塔北方化工有限公司
申请日： 2009-07-01 - 公布日： 2010-04-28 - 主分类号： C07C67/58 文献下载
摘要：甲酯萃取装置涉及一种生产天然脂肪醇设备中的甲酯萃取装置。主要是为解决现有的甲酯萃取装置的蒸汽冷凝水与甲酯接触不均匀，分离效果差的问题而设计的。它包括粗甲酯罐、甲酯供料泵、进料预热器、萃取塔、分离器；在粗甲酯罐与甲酯供料泵相连的管道上增设一个三通A，三通A的支管与装有蒸汽冷凝水的热水罐连接，在三通A与甲酯供料泵之间再连接一个三通B，三通B的支管经萃取泵与混合槽连接，混合槽的出料口有管道与粗甲酯罐的出料管连接，在三通A与热水罐之间的支管上和甲酯供料泵与进料预热器之间的管道上分别装有流量调节阀。优点是甲酯与蒸汽冷凝水充分接触，分离效果好。
萃取装置

[实用新型]生产脂肪醇的高压加氢装置-CN200820218482.8无效
发明人：刘海刚;魏景峰;于文冰;李顺明;付允杰 -专利权人：刘海刚
申请日： 2008-10-15 - 公布日： 2009-08-05 - 主分类号： B01J3/04 文献下载
摘要：生产脂肪醇的高压加氢装置涉及一种生产脂肪醇的高压加氢装置。主要是为解决现有的生产脂肪醇的高压加氢装置在高压泵前设置增压泵既增加了安装成本又增加电力消耗的问题而设计的。它包括物料混合槽，物料混合槽上有进料口，物料混合槽有管线与缓冲罐连接，缓冲罐有管线与高压泵连接，高压泵有管线供与下道工序的高压加氢反应器连接，将物料混合槽设置在比高压泵高≥10米的高处，利用物料自重产生的压力代替增压泵。优点是由于取消了增压泵，既降低了安装成本又节约了电能。
生产脂肪高压加氢装置

[实用新型]生产脂肪醇设备中的甲醇分离装置-CN200820218481.3无效
发明人：刘海刚;魏景峰;于文冰;李顺明;付允杰 -专利权人：刘海刚
申请日： 2008-10-15 - 公布日： 2009-08-05 - 主分类号： B01D3/00 文献下载
摘要：生产脂肪醇设备中的甲醇分离装置涉及一种生产脂肪醇设备中的甲醇分离装置。主要是为解决现有的甲醇分离装置的甲醇蒸馏塔在突然停电时循环冷却水中断会导致塔压急剧升高的问题而设计的。它包括甲醇蒸馏塔，甲醇蒸馏塔上有进料口，在甲醇蒸馏塔上方设空气冷却器，甲醇蒸馏塔有管线与空气冷却器连接，空气冷却器有管线向下与回流罐连接，向上与次冷凝器连接，次冷凝器向下有管线与回流罐连接，向上有放空管，放出未冷凝的甲醇气体。优点是由于采用空气冷却，不会因突然停电造成甲醇蒸馏塔塔压急剧升高，确保生产安全。
生产脂肪设备中的甲醇分离装置