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[发明专利]大电阻金属互连结构的阻值测量装置及测量方法-CN202310680437.3在审
发明人：曾繁中;高玉珠;韩璐 -专利权人：上海积塔半导体有限公司
申请日： 2023-06-08 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： G01R27/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种大电阻金属互连结构的阻值测量装置及测量方法。本发明通过增设引入支路并控制相应衬垫的输入信号，使得引入支路上的引入电阻分别与大电阻金属互连结构组成并联电路，进而根据相应的测量结果获取并联电路的并联阻值，从而获取大电阻金属互连结构的阻值，可以实现超大电阻的阻值进行准确测量，且可以实现对引入电阻的阻值进行准确测量。
电阻金属互连结构阻值测量装置测量方法

[实用新型]半导体结构-CN202222506156.X有效
发明人：焦岚清;高玉珠 -专利权人：上海积塔半导体有限公司
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H01L23/544 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种半导体结构，包括基底，具有衬垫区以及标识区，所述标识区内嵌于所述衬垫区；衬垫结构，位于所述基底上，且位于所述衬垫区；衬垫标识，位于所述基底上，且位于所述标识区。通过将标识区内嵌于衬垫区，进而扩大了衬垫结构的面积，提高了手动扎针的效率。
半导体结构

[发明专利]一种换热器支耳与管板焊接的定位装置及定位方法-CN202111192350.9在审
发明人：韩永强;高玉珠;李晓丹;王刚;赵万里;巴东平;于彤;李艳冬;邢芳;郭颢;韩超;金海军 -专利权人：中国石油天然气集团有限公司;大庆石油化工机械厂有限公司
申请日： 2021-10-13 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： B23K37/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种换热器支耳与管板焊接的定位装置及定位方法，其中，一种换热器支耳与管板焊接的定位装置，包括：固定机构以及定位机构；所述固定机构连接所述定位机构，所述固定机构用于将所述定位机构固定在管板上；所述定位机构用于根据预设支耳偏移角度定位出支耳在管板上的安装位置；所述定位机构上具有调节机构，所述调节机构可拆卸连接所述支耳，所述调节机构用于调节所述支耳在所述定位机构上的位置。以解决以往在安装防松支耳时，需要将管箱法兰与管板直接接触比对位置，不但操作麻烦，且增加了工作量；或根据图纸，在管板上确定安装位置时，容易造成定位不准确，导致后续与支耳连接困难或无法连接的问题。
一种换热器焊接定位装置方法

[发明专利]一种半导体结构及其制备方法-CN202211534987.6在审
发明人：曾繁中;宋永梁;高玉珠 -专利权人：上海积塔半导体有限公司
申请日： 2022-12-02 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： H01L27/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体结构及其制备方法。本发明通过增设并联的二极管与电容器组成的等离子体消除组件、并电连接至待保护器件以及相应衬垫，在进行半导体结构后段的各金属层以及各绝缘层的膜层制备过程中，在有等离子体通过相应衬垫到达所述待保护器件前，通过所述电容器对电荷进行存储、经过所述二极管后对电荷进行释放，可以有效防止等离子体对所述待保护器件的损害，从而消除等离子引入损害造成的测量误差。
一种半导体结构及其制备方法

[发明专利]一种减小接触寄生电阻对器件测试影响的测试方法-CN202211336879.8在审
发明人：刘倩倩;高玉珠 -专利权人：上海积塔半导体有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G01R27/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种减小接触寄生电阻对器件测试影响的测试方法，该测试方法包括：S101：提供一半导体晶圆，在半导体晶圆上选定一待测晶粒；S102：采用四端法测试待测晶粒的电阻，获取第一电阻值；S103：采用两端法测试待测晶粒的电阻，获取第二电阻值；S104：调整两端法扎入待测晶粒的扎针深度为第一扎针深度，使第二电阻值等于第一电阻值。进而，本发明通过调整两端法的扎针深度调整两端法测电阻的电阻值，使得两端法测试所得的电阻值等于四端法测试所得的电阻值，进而消除接触寄生电阻对于两端法测电阻的影响，后续以两端法测电阻等于四端法测电阻时的扎针深度对半导体晶圆或者器件进行可靠性或者良率的测试，提高测试的准确性。
一种减小接触寄生电阻器件测试影响方法

[发明专利]一种探针卡结构及WAT测试方法-CN202211236189.5在审
发明人：刘倩倩;宋永梁;高玉珠;季鸣 -专利权人：上海积塔半导体有限公司
申请日： 2022-10-10 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： G01R1/067 文献下载
摘要：本发明提供一种探针卡结构及WAT测试方法，针环设置在PCB板的下表面，与PCB板的下表面紧密贴合；探针组包括N个探针及M个电容，相邻两个探针通过一个所述电容进行连接；各探针均包括接口装置、第一线缆、第二线缆及针头，接口装置与所述第一线缆电连接，且均设置在PCB板的上表面；第二线缆设置在PCB板的下表面，第一端基于过孔与第一线缆电连接；针头通过安装装置设置在针环上，并与第二线缆的第二端电连接；通过在探针组中相邻的探针之间设置电容，使探针卡结构能够实现对晶圆内部电容值通常小于皮法级别的电容的精准测量。结构简单，操作简便，具有广泛的适用性。
一种探针结构 wat 测试方法

[发明专利]一种晶圆测量结构及电容测量方法-CN202211236179.1在审
发明人：刘倩倩;宋永梁;高玉珠;季鸣 -专利权人：上海积塔半导体有限公司
申请日： 2022-10-10 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： G01R27/26 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆测量结构及电容测量方法至少包括：设置在晶圆上表面的N个间隔分布的焊盘测量单元，各焊盘测量单元测量对应的1个待测电容，各焊盘测量单元均包括3个沿横向或沿纵向依次相邻的焊盘，待测电容连接于第一焊盘与第三焊盘之间；当焊盘为等间距设置时，相邻焊盘之间的寄生电容不能忽略，在相邻两个焊盘之间均设置1个电容单元；当焊盘不是等间距设置时，间距最大的两个焊盘之间的寄生电容可以忽略，在间距最小的两个焊盘之间设置1个电容单元通过测试设备与焊盘测量单元连接，对待测电容进行测量。通过在相邻两个焊盘之间设置电容单元，实现对晶圆内部通常小于皮法级别的待测电容的精确测量，结构简单，操作简便，适用范围广。
一种测量结构电容测量方法

[发明专利]晶圆测试用的定位标记结构、曝光区域及晶圆-CN202210896580.1在审
发明人： 高玉珠;宋永梁 -专利权人：上海积塔半导体有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆测试用的定位标记结构、曝光区域及晶圆。其中，晶圆测试用的定位标记结构位于晶圆上的曝光区域的测试结构中，包括多个定位标记单元，每个定位标记单元设置于两个衬垫之间，包括串联的熔断器件、二级管和电阻，在裁切和封装曝光区域前，向每个定位标记单元加载预设的电压以为其标记状态，定位标记单元的状态组合构成定位标记结构的标记信息，以表征测试结构在晶圆上的位置。使用该定位标记结构标记和识别过程简便，在可靠性测试时，通过获取标记信息可以迅速地、方便地知晓封装样品的位置识别信息，准确率高，可追溯性好，无需手工标记，避免人为失误，避免因磨损或擦拭丢失编号信息，提高测试的准确性和效率。
测试定位标记结构曝光区域

[发明专利]测试器件结构单元、并行测试器件结构及晶圆-CN202210768814.4在审
发明人： 高玉珠;宋永梁 -专利权人：上海积塔半导体有限公司
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明提供了一种测试器件结构单元、并行测试器件结构及晶圆。使用传统MOS器件测试结构进行晶圆电学性能测试时，例如HCI或NBTI测试，MOS器件的各级需要与4个SMU，测试效率低。测试过程中使用本发明提供的测试器件结构单元，待测MOS器件的栅极和漏极分别连接一个SMU，源极和基极接地，通过将测试过程中连接MOS器件的SMU数量减少至两个，在不增加测试成本的前提下，不仅能够有效防止多器件同时测试时的相互干扰，保证测量的准确性，还能将多余的SMU连接其他待测MOS器件，实现多个MOS器件的并行测试，提高测试效率。
测试器件结构单元并行

[实用新型]一种平躺式洗脚盆-CN201721209237.6有效
发明人： 高玉珠 -专利权人： 高玉珠
申请日： 2017-09-20 - 公布日： 2019-03-22 - 主分类号： A47K3/022 文献下载
摘要：一种平躺式洗脚盆，包括洗脚盆，洗脚盆一侧壁上制有可使脚伸入其内部的连接管，该连接管与由软质橡胶材料制成的密封囊一端密封连通，密封囊另一端安装有密封绑带，连接管外壁上活动连接有固定环，密封囊复合粘接在固定环内，洗脚盆底部制有用于托起足跟的顶托，且洗脚盆底部安装有排水阀，密封囊外壁上复合粘接有用于防止密封囊复位的硬质限位环，连接管外壁上制有限位片，固定环内部制有与限位片配合的限位座，该洗脚盆适用于平躺状态下腿部无法弯折的老年人或腿部骨折的病人洗脚，且洗脚过程中无需弯折腿部，同时设置密封囊，保证洗脚盆内部的水不会外流，且安全可靠，适用性强。
洗脚盆密封囊固定环连接管外壁复合粘接连接管平躺式洗脚软质橡胶材料活动连接有平躺状态腿部骨折一端密封排水阀弯折的限位环限位片限位座绑带顶托复位伸入腿部托起外壁弯折下腿硬质足跟连通密封外流配合保证

[实用新型]一种男用导尿器-CN201721121252.5有效
发明人： 高玉珠 -专利权人： 高玉珠
申请日： 2017-09-04 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： A61G9/00 文献下载
摘要：一种男用导尿器，包括手持柄、尿壶及导尿软管，其中手持柄为中通结构，该手持柄一端开口，另一端通过导尿软管与尿壶连通，手持柄开口端向内弯折的制有柔性进尿口，该柔性进尿口与手持柄内壁间形成防溢流腔，该导尿器使用时不会使患者均会感到不适，且随用随戴，适用于夜间起夜不便的中老年人或患有尿路疾病的患者，同时还设置了放溢流腔，使用完毕后可横放于床上，且不会渗漏或倒流，结构简单，使用方便。
手持柄男用导尿器导尿软管进尿口尿壶尿路疾病一端开口中通结构导尿器防溢流开口端弯折的溢流腔床上横放内壁起夜向内渗漏连通

[发明专利]用于首层金属至栅极的异常检测的层间介质测试结构-CN201410377113.3有效
发明人：何莲群;郑鹏飞;高玉珠;赵永 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2014-08-01 - 公布日： 2018-11-02 - 主分类号： H01L23/544 文献下载
摘要：本发明提供一种用于首层金属至栅极的异常检测的层间介质测试结构，包括一个或多个测试单元，该测试单元包括：栅极层，位于一半导体衬底的上方；层间介质层，位于栅极层的上方，由非导电性材料构成；首层金属层，位于层间介质层的上方；其中，栅极层向上通过多个通孔与栅极引出线相连接，栅极引出线与首层金属层位于同一水平层，但互相不接触；首层金属层直接通过首金引出线引出；栅极引出线和首金引出线中一个接测试电压，另一个接地。本发明可以包括多个测试单元，这些测试单元排成矩形阵列，形成测试阵列，来实现不同的测试区域。本发明能够实现对首层金属至栅极的异常检测，并且评估首层金属至栅极的电学性能。
用于金属栅极异常检测介质测试结构

[发明专利]换热器-CN201710198023.1在审
发明人：张国松;张勇;侯晓峰;金海嵘;韩永强;刘斌;蒋金芳;赵万里;王印力;巴东平;高玉珠;郭颢 -专利权人：中国石油天然气股份有限公司
申请日： 2017-03-29 - 公布日： 2018-10-16 - 主分类号： F28D7/16 文献下载
摘要：本发明提供了一种换热器，包括：壳体，壳体具有换热腔；换热管，换热管设置在换热腔内，换热管为多根，多根换热管沿换热腔的轴向间隔设置；支撑减震部，支撑减震部设置在换热腔内，支撑减震部具有多个支撑网孔，多根换热管一一对应地穿过多个支撑网孔设置。本发明解决了现有技术中的油浆蒸汽发生器的使用寿命短以及存在使用安全隐患的问题。
换热管换热腔减震部换热器支撑网壳体支撑油浆蒸汽发生器轴向间隔设置使用寿命孔设置穿过

[实用新型]焊接装置-CN201721813661.1有效
发明人：于文忠;侯晓峰;蔡立春;张勇;杨会明;李明杰;王鑫;赵万里;吴广庆;汪振庆;董会志;任树春;高玉珠;孔祥伟;吕炯怡;王忠莲;景会忠;郎立军;高兴建;吕学志;冯淼;江武志;张晏崧;蔡林钊 -专利权人：中国石油天然气股份有限公司
申请日： 2017-12-21 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： B23K9/12 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种焊接装置，包括：机架；横梁，所述横梁的第一端与所述机架连接；摆动器，所述摆动器设置在所述横梁的第二端；焊枪夹持器，所述焊枪夹持器设置在所述摆动器上以随所述摆动器的动作而动作；焊枪，所述焊枪可拆卸地设置在所述焊枪夹持器上。本实用新型解决了现有技术中的焊接装置的自动化程度低且焊接质量差的问题。
摆动器焊枪夹持器焊接装置横梁本实用新型焊枪第一端可拆卸质量差焊接自动化

[实用新型]刀具-CN201720396170.5有效
发明人：刘斌;郭柏岩;邢芳;宋洋;王印力;韩永强;蒋金芳;郭颢;巴东平;高玉珠;刘强 -专利权人：中国石油天然气股份有限公司
申请日： 2017-04-14 - 公布日： 2018-01-02 - 主分类号： B23C5/14 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种刀具，用于对换热器的管板进行加工，包括杆体；承载部，承载部设置在杆体上；切割刀头，切割刀头设置在承载部上，且切割刀头凸出于承载部的表面设置以使切割刀头随杆体的转动在管板上切割形成环形应力槽。本实用新型解决了现有技术中对管热器的管板开槽加工作业效率低的问题。
刀具

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