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[发明专利]闪存浮栅的制作方法-CN202310635721.9在审
发明人：高毅;马开阳;左睿昊;周婧涵 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司;华虹半导体（无锡）有限公司
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H10B41/30 文献下载
摘要：本发明提供一种闪存浮栅的制作方法，包括：提供一具有存储区和外围区的衬底，衬底中形成有浅沟槽隔离和有源区；形成浮栅层；采用化学机械研磨工艺减薄浮栅层；刻蚀减薄后的浮栅层形成浮栅，存储区刻蚀剩余的浮栅层作为浮栅。本发明形成浮栅层后，先采CMP工艺减薄部分厚度的浮栅层，然后通过刻蚀定义浮栅厚度。本发明CMP工艺需要减薄的厚度降低且研磨对象为材质相同的浮栅层，因此受负载效应影响较小，较好控制减薄后的浮栅层的厚度均匀性，刻蚀减薄后的浮栅层通过刻蚀终点控制，有效提高浮栅厚度均匀性，可以消除由于台阶差导致的浮栅多晶硅颗粒，方法简单，成本较低。实现了浮栅层在有源区后形成，保证了与逻辑工艺较好地兼容。
闪存制作方法

[发明专利]闪存器件及其制备方法-CN202310476340.0在审
发明人：高毅;周婧涵;左睿昊;马开阳 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司;华虹半导体（无锡）有限公司
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H10B69/00 文献下载
摘要：本发明提供一种闪存器件及其制备方法，包括：提供衬底，衬底包括外围区，外围区包括浅沟槽隔离和位于浅沟槽隔离两侧的NMOS区域和PMOS区域；衬底上形成有第一氧化层和栅极；形成侧墙，侧墙位于NMOS区域和PMOS区域各自栅极的侧壁；湿法刻蚀去除衬底表面裸露的第一氧化层；O2处理形成第二氧化层，第二氧化层位于侧墙两侧的衬底上；形成源区和漏区，在NMOS区域和PMOS区域分别进行各自区域的源漏离子注入以在栅极两侧的衬底表面形成源区和漏区。本发明在源漏离子注入前增加O2处理生成第二氧化层的步骤，提高有源区第二氧化层厚度，有效减少了由于源漏离子注入导致的有源区表面损伤斑点，且闪存器件的电性能不受影响。
闪存器件及其制备方法

[发明专利]闪存浮栅的制作方法-CN202310476323.7在审
发明人：高毅;左睿昊;马开阳;周婧涵 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司;华虹半导体（无锡）有限公司
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H10B41/30 文献下载
摘要：本发明提供一种闪存浮栅的制作方法，包括：提供一具有存储区和外围区的衬底，刻蚀部分厚度的衬底形成沟槽并定义出有源区，有源区位于沟槽两侧的衬底中；采用HARP工艺形成隔离介质，隔离介质填充沟槽且包括高出衬底的隔离凸起部；形成浮栅层，在存储区浮栅层覆盖衬底和隔离凸起部的上表面和侧面，浮栅层还覆盖位于外围区的衬底；形成保护层，保护层填充浮栅层的位于有源区的凹陷区域；以保护层为掩膜，刻蚀去除在存储区内浮栅层覆盖隔离凸起部的部分，并去除浮栅层位于外围区的部分；去除保护层，剩余的浮栅层构成浮栅。本发明实现了浮栅层在有源区后形成，形成STI结构中的隔离介质采用HARP工艺，保证了与逻辑工艺较好地兼容。
闪存制作方法

[发明专利]一种新能源发电装置-CN202210897188.9在审
发明人：舒启江;刘红杏;董如福;杨莉;马开阳;向荣成;李越峰 -专利权人：云南中医药大学
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H02S10/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种新能源发电装置，包括支架，支架的上端转动连接有太阳能光伏板，太阳能光伏板的下端滑动连接有兜风器，兜风器包括多根滑杆、两个分别连接于滑杆两端的弧形兜风槽，支架于太阳能光伏板的下方设置有连接板；太阳能光伏板与两个弧形兜风槽相对应的两边均连接有向外倾斜的挡板，当弧形兜风槽与对应挡板的最下边接触时，其弧形兜风槽完全缩回到太阳能光伏板的背部，另一弧形兜风槽完全从太阳能光伏板的背部伸出；支架于连接板的上端设置有安装架，安装架的上端安装有发电机，发电机的输入轴连接有转盘，太阳能光伏板背部的一端与转盘的偏心处转动连接有连杆。本发明将太阳能发电与风力发电巧妙组合，整体结构简单，便于批量布置。
一种新能源发电装置

[发明专利]一种中医方剂信息化处理系统及其使用方法-CN202111558910.8在审
发明人：刘红杏;杨福华;董如福;杨莉;崔茂应;高春林;马开阳 -专利权人：云南中医药大学
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： B01F27/70 文献下载
摘要：本发明公开了一种中医方剂信息化处理系统及其使用方法，属于中医技术领域，包括工作台，所述工作台上表面安装有摆放架，且摆放架外侧壁安装有标识牌，所述摆放架内壁安装有药物放置筒，所述工作台顶部安装有配电箱，且配电箱内壁安装有气泵，所述配电箱底部一侧安装有驱动电机，且驱动电机一侧与驱动轴齿动连接，所述驱动轴一侧安装有升降杆，且升降杆外侧壁安装有支撑臂，所述支撑臂一端安装有气管，且支撑臂另一端安装有吸管；本发明设计新颖，使得结构简单且实用，在中医将药方配比完毕时可将药物快速混合，避免人工进行搅拌，省时省力，提高工作效率，便于将药物进行分类，防止掺杂，从而达到最佳使用效果。
一种中医方剂信息化处理系统及其使用方法

[实用新型]一种用于心内科的穿刺定位装置-CN202120813766.7有效
发明人：蒋明芬;龚金龙;吴婷竹;马开阳;李磊 -专利权人：扬州洪泉医院
申请日： 2021-04-21 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： A61B17/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于心内科的穿刺定位装置，包括设置在CT检查床板上的定位机构，所述CT检查床板上等间距设有若干条定位条，所述CT检查床板的一侧壁上设有定位机构，所述定位机构包括滑动连接在CT检查床板侧壁上的滑块，所述滑块顶端居中竖直设有电动伸缩臂，所述电动伸缩臂的伸缩端水平设有电动推杆，所述电动推杆的伸缩端水平安装有安装板，所述安装板底端竖直设有穿刺针；所述CT检查床板与滑块连接的一侧壁上水平开设有导向槽，所述导向槽内部铺设有齿条，所述滑块与导向槽对应的位置开设有凹槽，所述凹槽内部水平转动安装有与齿条啮合的驱动齿轮。该用于心内科的穿刺定位装置，定位快速且准确，具有较强的实用性能。
一种用于内科穿刺定位装置