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[发明专利]化合物半导体与碳纳米管单片集成器件的结构及制备方法-CN202310780539.2在审
发明人：祝杰杰;马晓华;张博文;雷毅敏;魏宇翔;郝跃 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2023-06-28 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H01L27/092 文献下载
摘要：本发明涉及一种化合物半导体与碳纳米管单片集成器件的结构及制备方法，结构包括：衬底层、成核层、缓冲层、沟道层、势垒层、电学隔离层、设置在势垒层上的碳纳米管器件、间隔设置在势垒层上的第一源极和第一漏极、设置在第一源极、第一漏极和位于电学隔离层的另一侧的势垒层上的钝化层、设置在钝化层的栅极槽内和部分钝化层上的第一栅极。本发明制备了具有较高开关速度的N沟道器件与P沟道器件，并且相比于传统的在PCB板上分立封装的结构大大节约了cmos电路芯片的面积，同时提高了电路处理数字信号的性能。
化合物半导体纳米单片集成器件结构制备方法

[发明专利]一种集成CMOS器件结构及制作方法-CN202310766136.2在审
发明人：祝杰杰;马晓华;张博文;雷毅敏;魏宇翔;郝跃 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2023-06-27 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01L27/092 文献下载
摘要：本发明涉及一种集成CMOS器件结构及制作方法，该结构包括：第一器件、第二器件、电学隔离层、第一连接金属和第二连接金属；电学隔离层覆盖第一器件的源极、漏极和栅极的表面；第二器件倒装键合在电学隔离层上；第一连接金属贯穿电学隔离层以将第一器件的栅极和第二器件的栅极连接；第二连接金属贯穿电学隔离层以将第一器件的漏极和第二器件的漏极连接；第一器件的源极从第一器件的衬底侧通过金属电极引出；第二器件的源极、漏极和栅极均从第二器件的衬底侧通过金属电极引出；第二器件的源极用于连接电源端，栅极用于作为输入端，漏极用于作为输出端。本发明实现了在单一衬底上同时具有高的电子和空穴运动速度，同时节省了芯片面积。
一种集成 cmos 器件结构制作方法

[发明专利]一种二维层状纳米材料MXene量子点的制备方法-CN201910521969.6有效
发明人：仲鹏;张兴茂;王昱程;雷毅敏;马晓华 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2019-06-17 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： C01B32/90 文献下载
摘要：本发明涉及一种二维层状纳米材料MXene量子点的制备方法，包括：S1：采用刻蚀法制备得到二维层状纳米材料MXene；S2：将所述二维层状纳米材料MXene溶解在去离子水或有机溶剂中，在飞秒激光下进行烧蚀反应；S3：将飞秒激光烧蚀后的溶液进行离心分离，得到含有二维层状纳米材料MXene量子点的上清液。本发明利用液相飞秒激光烧蚀方法制备二维层状纳米材料MXene量子点，操作简单安全，而且成本较低，选用了去离子水之类的绿色溶剂对环境减少了污染且重复性高，容易操作，可以大规模生产，同时通过控制飞秒激光的功率可以控制二维层状纳米材料MXene量子点的粒径大小，以及粒径分布，从而得到光电性能较好的MXene量子点。
一种二维层状纳米材料 mxene 量子制备方法

[发明专利]一种g-C3-CN202011238370.0有效
发明人： 雷毅敏;武德凯;胡启航;杨成哲 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2020-11-09 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： H01M4/86 文献下载
摘要：本发明公开了一种g‑C3N4/Ti4O7复合纳米材料的制备方法及其在电催化氧还原中的应用，首先利用高温退火的方法制备g‑C3N4，然后利用水热反应制备g‑C3N4/TiO2复合物，再在其表面包覆一层PDA，形成g‑C3N4/TiO2/PDA复合前驱体，最后将g‑C3N4/TiO2/PDA复合前驱体在惰性环境中850～1000℃退火获得g‑C3N4/Ti4O7复合纳米材料。本发明g‑C3N4/Ti4O7复合纳米材料的制备方法简单、成本低且环境友好，其中Ti4O7纳米颗粒的粒径在10～30nm之间。本发明g‑C3N4/Ti4O7复合纳米材料作为氧还原电催化剂时，具有较高的氧还原活性、耐甲醇毒性及稳定性，解决了商业Pt/C储量低和成本高的问题。
一种 base sub

[发明专利]一种中空Ti4-CN202110248922.4在审
发明人： 雷毅敏;武德凯;胡启航;杨成哲 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2021-03-08 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： H01M4/485 文献下载
摘要：本发明公开了一种中空Ti4O7锂硫电池正极材料，所述正极材料为负载硫的中空Ti4O7纳米球，所述中空Ti4O7纳米球的外径为400～700nm、内径为330～650nm、比表面积为160～190m2/g，所述硫的负载量为60％～80％；其是在中空TiO2纳米球表面包覆一层盐酸多巴胺(PDA)，形成TiO2@PDA纳米球后，在惰性气氛中850～1000℃退火获得。本发明中空Ti4O7纳米球的制备方法简单、成本低且环境友好，其作为载体负载硫后用作锂硫电池正极材料，具有优异的电化学性能。
一种中空 ti base sub

[发明专利]基于反应离子刻蚀的GaN薄膜透射电子显微镜截面样品制备方法-CN201610036713.2有效
发明人：马晓华;宋芳;钟决坤;马佩军;雷毅敏;王湛 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2016-01-20 - 公布日： 2019-04-23 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种GaN薄膜透射电子显微镜截面样品制备方法，主要解决现有制备方法步骤繁琐、耗时较长、薄区不均匀、样品制备成功率低及可靠性低的问题。其实现步骤是：1.将GaN薄膜材料切割成矩形条样品并清洗；2.制备掩膜版，设置楔形尖端宽度为20～200nm；3.在矩形条样品表面淀积电子束光刻胶，并透过掩膜版对矩形条样品进行光刻、显影和刻蚀，使样品条上形成多个凹槽；4.去除样品条表面光刻胶，再将其沿凹槽处进一步切割成小样品条，并将小样品条截面粘到铜环上，完成GaN薄膜透射电子显微镜截面样品的制备。本发明具有薄区厚度均匀可控、成品率高、可批量生产的特点，可用于表征和分析GaN薄膜的微观缺陷结构。
基于反应离子刻蚀 gan 薄膜透射电子显微镜截面样品制备方法

[发明专利]基于水蒸气的二维过渡金属硫属化合物转移方法-CN201610828299.9有效
发明人：马晓华;南瑭;王湛;谢涌;李金金;吴瑞雪;雷毅敏 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2016-09-18 - 公布日： 2018-08-21 - 主分类号： C23C16/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于水蒸气的二维过渡金属硫属化合物转移方法，主要解决先现有技术工艺复杂且易于化学污染的问题。其实现方案是：1)使用化学气相沉积CVD方法在生长基片上生长二维材料薄膜；2)用等离子体激活超薄碳膜Cu网作为目标载体；3)利用水蒸气在二维材料与衬底表面蒸镀一层水层；4)用酒精将衬底表面的二维材料冲洗到超薄碳膜Cu网表面；5)将超薄碳膜Cu网在热板上加热烘干固化，完成从生长基片到超薄碳膜Cu网的转移。本发明工艺简单灵活，无需刻蚀牺牲层，耗时短、效率高，转移过程中无化学污染，可用于推广以二维过渡金属硫属化合物为代表的其他二维材料的转移和分析过程中。
基于水蒸气二维过渡金属化合物转移方法

[发明专利]Ag/Ti4O7锌‑空气电池阴极催化剂的制备方法-CN201710807443.5在审
发明人：马晓华;孙军;雷毅敏;李健;王湛 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2017-09-08 - 公布日： 2018-02-27 - 主分类号： H01M4/90 文献下载
摘要：本发明公开了一种Ag/Ti4O7锌‑空气电池阴极催化剂的制备方法，主要解决传统方法工艺繁琐及成本较高的问题。其方案是1.配置硝酸银前驱液，搅拌均匀后加入Ti4O7粉末，继续搅拌成为均匀的悬浊液；2.配置柠檬酸三钠还原剂溶液；3.将悬浊液充分搅拌后放入水浴锅内，加热至指定温度；快速加入柠檬酸三钠还原剂溶液，充分反应后取出，继续搅拌并冷却至室温；将其离心分离后，获得反应沉淀物；4.用无水乙醇对反应沉淀物进行清洗，并将清洗后的反应沉淀物置于电热鼓风干燥箱烘干中，获得干燥、纯净的Ag/Ti4O7粉末，完成对锌‑空气电池阴极催化剂的制备。本发明成本低，工艺简单，绿色环保，可用于制备锌‑空气电池。
ag ti4o7 空气电池阴极催化剂制备方法

[发明专利]Ti3O5/TiO2混晶纳米纤维的制备方法-CN201610111259.2有效
发明人：马晓华;李健;雷毅敏;宋芳;王湛 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2016-02-29 - 公布日： 2017-06-13 - 主分类号： C01G23/047 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于相转变制备Ti3O5/TiO2混相纳米纤维的方法，主要解决传统制备方法成本及能耗较高的问题。其实现步骤是1.将TiOSO4·H2O与NaOH溶液混合后，置于不锈钢高压反应釜中加热到200℃，并保温48小时，再进行离心分离和盐酸冲洗，得到H2Ti3O7纳米纤维；2.将含有H2Ti3O7纳米纤维的Al2O3坩埚放置于马弗炉中，在大气环境或真空度下加热并保温，完成H2Ti3O7→TiO2(B)→Ti3O5的相变；3.将坩埚取出，在空气中自然冷却，得到Ti3O5/TiO2混相纳米纤维。本发明成本低，工艺简单，获得相界面结构稳定质量，可用于制作TiO2基光催化剂。
ti sub tio 纳米纤维制备方法

[发明专利]Ag/Ti₃O₅锌-空气电池阴极催化剂的制备方法-CN201610117708.4在审
发明人： 雷毅敏;马晓华;李健;宋芳;王湛 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2016-03-02 - 公布日： 2016-07-20 - 主分类号： H01M4/90 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于还原法制备Ag/Ti₃O₅锌‑空气电池空气阴极催化剂的制备方法，主要解决传统Pt基催化剂的高成本以及催化剂载体粒径大的问题。其实现步骤是：1.分别配置硝酸银前驱液、硼氢化钠还原剂溶液和Ti₃O₅载体溶液；2.将硝酸银前驱液加入Ti₃O₅载体溶液中，搅拌均匀后，再以10s/滴的滴速将还原剂溶液缓慢滴入前述混合溶液中，并充分搅拌；3.将所得反应沉淀物进行离心分离并用去离子水清洗；4.将清洗完毕的沉淀物置于电热鼓风干燥箱中烘干，所得产物为Ag/Ti₃O₅催化剂。本发明具有成本低、绿色环保、工艺方法简单的特点，可用于锌‑空气电池氧还原反应催化剂的制备。
ag ti sub 空气电池阴极催化剂制备方法

[发明专利]具有双功能催化的自支撑Ti4-CN201610117710.1在审
发明人： 雷毅敏;马晓华;李健;王湛;宋芳 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2016-03-02 - 公布日： 2016-07-20 - 主分类号： H01M4/90 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有双功能催化的自支撑Ti4O7纳米纤维制备方法，主要解决常规制备法所得Ti4O7材料尺寸较大的问题。其实现步骤是：1.制备具有纳米尺度的H2Ti3O7纤维；2.将H2Ti3O7纳米纤维平铺于小号石英舟内，放置在管式炉中部，再取10倍于H2Ti3O7纳米纤维质量的高纯石墨粉，平铺于大号石英舟内，放于H2Ti3O7纳米纤维石英舟旁边；将管式炉抽真空或通入还原气体，并设置加热温度和保温时间；3.待保温阶段结束后自然冷却，在小号石英舟内即可得到Ti4O7纳米纤维。本发明具有可有效调控Ti4O7纳米纤维的尺寸和形貌的优点，可用于制作锌‑空气电池中空气阴极的自支撑电催化剂。
具有功能催化支撑 ti base sub

[发明专利]GaN基异质结透明薄膜透射电子显微镜截面样品制备方法-CN201510995925.9在审
发明人：马晓华;宋芳;雷毅敏;马佩军;钟决坤;王湛 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2015-12-28 - 公布日： 2016-06-01 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种GaN基异质结透明薄膜透射电子显微镜截面样品制备方法，主要解决现有制备方法中GaN基异质结透明薄膜样品在离子减薄时容易造成薄膜减薄过度导致样品制备成功率低的问题。其技术方案是：1.对GaN基异质结薄膜材料和Si片进行切割、清洗；2.将清洗后的样品与Si片进行胶对粘，并在加热台上加热固化；3.将样品截面机械研磨至20～30μm时，采用倾斜磨抛工艺，使Si片一侧出现楔形刃口；4.将样品粘至“∩”形铜环，采用精密离子束减薄设备对其进行离子减薄，直至Si片逐渐消减至粘胶处，完成样品制备。本发明具有省时、高效的特点，可用于表征GaN基异质结透明薄膜的透射电子显微镜微观缺陷结构。
gan 基异质结透明薄膜透射电子显微镜截面样品制备方法

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