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[实用新型]一种带有衬锅的金属蒸镀用坩埚-CN202023147463.0有效
发明人：赵涛 -专利权人： 陕西光电子集成电路先导技术研究院有限责任公司
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带有衬锅的金属蒸镀用坩埚，包括坩埚本体和衬锅，衬锅位于坩埚本体内部，且衬锅外壁与坩埚本体内壁之间设置有间隙，间隙的宽度为0.5‑1mm，衬锅底部与坩埚本体底部的间隙内还设置有导热块，衬锅的外侧壁还包覆有导热薄膜层。本实用新型的带有衬锅的金属蒸镀用坩埚，减少了金属预熔的重量，对于贵金属而言，大幅度降低无收益资产，使用衬锅蒸镀同样的速率蒸镀功率能下降30％‑45％，提高了金属的镀膜速率，缩短镀膜时间。
一种带有金属蒸镀用坩埚

[实用新型]一种螺杆机热量回收利用装置-CN202023262607.7有效
发明人：刘超 -专利权人： 陕西光电子集成电路先导技术研究院有限责任公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： F25B1/047 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种螺杆机热量回收利用装置，包括有螺杆机，螺杆机设置有螺杆机风扇与润滑油管用于散热，螺杆机风扇连接有排热管道直通大气，排热管道连通有热风管道，热风管道连通有若干根室内管道，室内管道设置有若干个送风口直通室内，润滑油管依次经过板式换热器、出油泵与保温水箱后，再经保温水箱、板式换热器回到螺杆机形成循环回路，保温水箱连接有出水管直通若干个使用端，出水管上设置有出水泵。本实用新型可以满足一般性局部地方热量需求，改造费用低，降低废热排放，保护环境。同时可降低运行成本，提升使用感受。并且不影响设备正常使用。
一种螺杆热量回收利用装置

[实用新型]一种能够增强显影效果的显影装置-CN202023251674.9有效
发明人：杨女燕 -专利权人： 陕西光电子集成电路先导技术研究院有限责任公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种能够增强显影效果的显影装置，包括显影腔室，显影腔室内底部连接旋转转轴，旋转转轴上连接晶圆载台，显影腔室上壁穿接显影液出液管，显影液出液管位于显影腔室内的一端在晶圆载台上方；通过喷嘴喷洒显影液，通过旋转转轴转动带动晶圆载台，在喷洒显影液时能够铺料均匀，避免铺料时出现气泡，且减少显影液的浪费。本实用新型的装置增加了背洗的功能，主要洗去从上方流下的显影液残余；侧边的氮气吹扫能使晶圆显影后保持一个干净的表面。
一种能够增强显影效果装置

[实用新型]基于冷却水塔的降温管道系统-CN201922347662.7有效
发明人：丁忠民 -专利权人： 陕西光电子集成电路先导技术研究院有限责任公司
申请日： 2019-12-24 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： F28C1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了基于冷却水塔的降温管道系统，包括冷却水塔，冷却水塔通过冷却水供水管连接有冷却水泵，冷却水泵连接有管道，管道通过阀门连接有管a，管a通过阀门连接有管c，管c连接有真空泵；冷却水塔连接有冷却水回水管，冷却水回水管通过阀门连接有管b，管b通过阀门连接有管d，管d连接有真空泵；管c、管d分别通过管道连接有换热器，换热器通过管道连接有PCW水泵。本实用新型一种基于冷却水塔的降温管道系统，解决了对现有的PCW设备降温能耗大、使用寿命短的问题。
基于冷却水塔降温管道系统

[发明专利]一种Si衬底上外延生长GaN薄膜的方法-CN201910849765.5在审
发明人：钟蓉;仇成功;彭鹏;甄龙云;薛遥;李冬冬;周建华 -专利权人：温州大学;陕西光电子集成电路先导技术研究院有限责任公司
申请日： 2019-09-09 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： C23C16/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种限制GaN外延薄膜的裂纹生长、表面形貌均匀且工艺相对简单、易于实现的Si衬底上外延生长GaN薄膜的方法。采用的技术方案包括：采用MOCVD系统进行外延生长以及Si衬底上外延生长GaN薄膜的方法，其特征在于：其外延结构依次为Si衬底、预铺铝层、低温氮化铝（AlN）缓冲层、高温氮化铝（AlN）缓冲层、氮化镓铝（AlxGa1‑xN）层、氮化镓（GaN）薄膜层，其中，低温AlN缓冲层为低温AlN三维成核层，高温AlN缓冲层为高温AlN二维成核层，Al_xGa_1‑xN层为Al_xGa_1‑xN应力释放层，GaN薄膜层为最终生长层。
外延生长衬底缓冲层高温氮化铝三维成核层应力释放层表面形貌氮化镓铝低温氮化二维成核裂纹生长外延薄膜外延结构薄膜层氮化镓生长层铝层