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[发明专利]快速验证VCSEL外延片的工艺方法-CN202211654729.1在审
发明人：赵涛;付鹏;赵恒;杨女燕;张文 -专利权人：陕西光电子先导院科技有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01S5/183 文献下载
摘要：本发明公开了快速验证VCSEL外延片的工艺方法，具体为：在外延片正面沉积一层钝化层，进行正面第一道MESA光刻，形成MESA图层，然后使用ICP蚀刻机进行蚀刻，露出高铝层，再进行湿法氧化；然后进行第二道光刻，露出15‑25微米的圆环，圆环内径区域是出光口，使光刻的形貌为下面宽上面窄，最后再进行ICP蚀刻，蚀刻掉钝化层，蚀刻到外延片的P型欧姆接触层,完成后蒸镀金属、退火处理，此时正面与背面形成比较好的欧姆接触。本发明方法快速验证所购买的外延片的质量，节约验证时间与成本；芯片厂的快速验证的电性数据反馈给外延厂，外延厂能快速的优化外延结构，缩短产品的研发周期，提升外延厂的产品竞争力。
快速验证 vcsel 外延工艺方法

[实用新型]一种能够增强显影效果的显影装置-CN202023251674.9有效
发明人： 杨女燕 -专利权人：陕西光电子集成电路先导技术研究院有限责任公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种能够增强显影效果的显影装置，包括显影腔室，显影腔室内底部连接旋转转轴，旋转转轴上连接晶圆载台，显影腔室上壁穿接显影液出液管，显影液出液管位于显影腔室内的一端在晶圆载台上方；通过喷嘴喷洒显影液，通过旋转转轴转动带动晶圆载台，在喷洒显影液时能够铺料均匀，避免铺料时出现气泡，且减少显影液的浪费。本实用新型的装置增加了背洗的功能，主要洗去从上方流下的显影液残余；侧边的氮气吹扫能使晶圆显影后保持一个干净的表面。
一种能够增强显影效果装置