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[实用新型]原位表征用压力可控的超高真空样品架-CN202320114642.9有效
发明人：杨昊宇;王文元;陆晓鸣;陈琪;李坊森;张珽 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2023-01-13 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种原位表征用压力可控的超高真空样品架，包括基座、第一压电陶瓷组和第二压电陶瓷组。所述基座具有固定板和限位板，该固定板用于固定样品的两端，所述限位板设于所述样品的两侧。所述第一压电陶瓷组，分别抵接于所述限位板与所述样品之间，用于对所述样品在第一方向上施加应力。所述第二压电陶瓷组抵接于所述样品与所述基座之间，用于对所述样品在第二方向上施加应力；其中，第一方向与第二方向呈垂直关系。该原位表征用压力可控的超高真空样品架，可实现样品横向和纵向的可控形变。
原位表征压力可控超高真空样品

[发明专利]滤波屏蔽装置及防杂散光干扰的量子处理系统-CN202010334671.7有效
发明人：孙骏逸;熊康林;陆晓鸣;黄永丹;冯加贵;武彪;丁孙安 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： H05K9/00 文献下载
摘要：本发明提供了滤波屏蔽装置及防杂散光干扰的量子处理系统，其中，所述滤波屏蔽装置包括合围形成有内部容纳空间的滤波屏蔽外壳，所述滤波屏蔽外壳包括叠层设置的第一偏振层和第二偏振层，第一偏振层的偏振方向与所述第二偏振层的偏振方向相互垂直。所述滤波屏蔽装置基于偏振滤光原理实现了对杂散光的屏蔽作用，特别是针对量子线路的红外杂散光干扰尤为有效，而不同于设置杂散光吸收材料层的现有技术方案，偏振层并不需要通过增加厚度的方式来提高屏蔽效果，避免了增大线路的整体体积；滤波屏蔽装置与内部容纳空间中的容纳物相对独立，不需要在线路表面通过涂覆等工艺设置屏蔽层，避免直接影响线路，也因此可以应用于对大部分元器件直接进行屏蔽。
滤波屏蔽装置散光干扰量子处理系统

[发明专利]超高真空样品转移设备及转移方法-CN201910871823.4有效
发明人：陈志敏;丁孙安;李坊森;陆晓鸣;芮芳;凌小伦;王利;陈爱喜 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2019-09-16 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： G01N35/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种超高真空样品转移设备及转移方法，属于材料测试技术领域。该转移设备包括转移主体和辅助装置，转移主体包括用于放置样品的进样室和真空装置，进样室两端分别安装有第一阀门和第二阀门；辅助装置包括波纹管、传样装置和冷却装置，波纹管的一端与传样装置连通，另一端与进样室通过第一阀门连通或断开，传样装置能够抓取进样室内的样品并送至目标腔室内，冷却装置能够同时与进样室通过第二阀门连通或断开，与目标腔室连通，与移动泵组通过第三阀门连通，冷却装置设置有注液口和放空口。转移主体与冷却装置可分开运输，冷却装置内部流通液氮，可降至液氮温度，水汽吸附在内壁上，传递过程中样品不受污染。
超高真空样品转移设备方法

[发明专利]空穴型SrTiO3-CN202110699831.2在审
发明人：彭坤;李坊森;王利;陈爱喜;王鹏栋;任伟;方鑫伟;陆晓鸣;丁孙安 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2021-06-23 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： C30B29/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种空穴型SrTiO3材料及其制备方法与应用。所述制备方法包括：于真空条件下对n型掺杂的SrTiO3材料进行除气；以Se对除气后的n型掺杂的SrTiO3材料进行表面处理，以形成原子级平整的重构表面；除去n型掺杂的SrTiO3材料表面的Se，并以Sr对n型掺杂的SrTiO3材料进行处理，从而获得p型掺杂的SrTiO3材料。本发明实施例提供的一种空穴型SrTiO3材料的制备方法，工艺流程简单，所获得的空穴型掺杂材料具有较好的高温稳定性，为后续的高温生长及样品退火提供了条件。
空穴 srtio base sub

[发明专利]超高真空样品转移设备及转移方法-CN201910872736.0有效
发明人：陈志敏;丁孙安;李坊森;陆晓鸣;芮芳;凌小伦;王利;陈爱喜 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2019-09-16 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： G01N35/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种超高真空样品转移设备及转移方法，属于材料测试技术领域。该转移设备包括可拆卸连接的转移主体和辅助装置，转移主体包括进样室和真空装置，进样室两端分别安装有第一阀门和第二阀门；辅助装置包括第一冷却波纹管、第二冷却波纹管和传样装置，第一冷却波纹管的一端与传样装置连通，另一端与进样室通过第一阀门连通或断开，第二冷却波纹管的一端与进样室通过第二阀门连通或断开，另一端能够同时与目标腔室通过第三阀门连通，与传样装置连通，与移动泵组连通，第一冷却波纹管和第二冷却波纹管外周均设有冷却部件，传样装置能够抓取进样室内的样品并送至目标腔室。本发明保证了超真空环境，避免样品转移过程中被污染。
超高真空样品转移设备方法

[发明专利]一种二能级缺陷空间分布的测量方法及测量装置-CN201910937227.1有效
发明人：冯加贵;武彪;熊康林;孙骏逸;黄永丹;丁孙安;陆晓鸣;芮芳 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2019-09-29 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： G01N27/82 文献下载
摘要：本发明公开了一种二能级缺陷空间分布的测量方法及测量装置，该二能级缺陷空间分布的测量方法包括：对超导量子比特施加偏置磁场，并获取所述超导量子比特的频率‑偏置磁通的关系曲线；通过二能级缺陷空间分布的测量装置的扫描探针输出的局域扫描电场对超导量子比特表面逐点扫描；若所述超导量子比特的频率随着时间的变换存在震荡变化，则所述扫描探针所处扫描点存在二能级缺陷。本实施例提供一种二能级缺陷空间分布的测量方法及测量装置，以表征超导量子芯片中的二能级缺陷的空间分布情况。
一种能级缺陷空间分布测量方法测量装置

[发明专利]一种大面积铝单晶薄膜及其制备方法与应用-CN202110369810.4有效
发明人：武彪;冯加贵;熊康林;陈建;孙骏逸;黄永丹;朱博杰;丁孙安;陆晓鸣 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2021-04-06 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： C30B23/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种大面积铝单晶薄膜及其制备方法与应用。所述制备方法包括：将Si(111)衬底依次进行有机清洗、RCA1清洗、RCA2清洗、piranha溶液清洗及HF清洗，获得预处理后的Si(111)衬底；在真空条件下，将所述预处理后的Si(111)衬底置于分子束外延装置中表面处理，采用分子束外延技术在所述Si(111)衬底表面生长铝单晶薄膜，获得大面积铝单晶薄膜。本发明制备的Si(111)/Al单晶薄膜，与Si衬底传统工艺相比，实现了大面积Al单晶薄膜，没有孪晶，更可明显减少Si/Al界面C、H、O杂质含量，将谐振器本征品质因子提升到106，有助于制备高质量超导量子比特或超导量子计算机。
一种大面积铝单晶薄膜及其制备方法应用

[发明专利]一种超导薄膜及其制备方法-CN201910854934.4有效
发明人：冯加贵;熊康林;丁孙安;武彪;孙骏逸;黄永丹;陆晓鸣;芮芳 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2019-09-10 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： H01L21/3205 文献下载
摘要：本发明公开了一种超导薄膜及其制备方法，其中，超导薄膜的制备方法包括：提供衬底；在所述衬底上形成刻蚀保护层，并在所述刻蚀保护层上形成掩膜图形；将所述刻蚀保护层作为掩膜，在所述衬底靠近所述刻蚀保护层的一侧沉积超导薄膜层，所述超导薄膜层包括图形化结构，所述图形化结构与所述掩膜图形一致。本发明提供了一种超导薄膜及其制备方法，以解决现有的超导薄膜制备出来的超导波导在不同位置的品质因子相差较大的问题。
一种超导薄膜及其制备方法

[发明专利]加热架互联组件及转移真空样品托-CN202010633561.0在审
发明人：陈志敏;丁孙安;陆晓鸣;李坊森;王利;何高航;芮芳;陈爱喜 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2020-07-02 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： G01Q60/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种加热架互联组件，包括小样品托、两个电极片以及固定件，小样品托为绝缘体，其上表面用于承载样品；两个电极片相互间隔设置，每个电极片的第一端由至少一个固定件固定在小样品托上且接触样品，每个电极片的第二端伸出小样品托外，以在小样品托安装到样品托上后接触样品托上的不同的电极。本发明还公开了具有加热架互联组件的转移真空样品托。本发明可利用加热架互联组件的小样品托承载样品，并在小样品托安装到样品托上后，利用其电极片与各种样品托上对应的电极的电极接触块接触而导通，从而对小样品托上的样品进行加热，可以兼容超低温扫描隧道显微镜和四探针扫描隧道显微镜，实现两种样品的互联实验及直流加热的互联。
加热联组转移真空样品

[发明专利]一种转移真空样品托及真空互联系统-CN202010633584.1在审
发明人：陈志敏;丁孙安;龚忠苗;陆晓鸣;魏伟;王利;凌小伦 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2020-07-02 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： G01N35/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种转移真空样品托，包括第二托体组件和热电偶，第二托体组件上开设有容纳槽和设于容纳槽两相对侧的一对第二插槽，两个第二插槽的延伸方向相同并与容纳槽连通，热电偶固定在第二托体组件上并位于容纳槽的第一端；热电偶延伸至容纳槽下方，用于在小样品托的宽度方向的两侧自容纳槽的第二端插入第二插槽时，与小样品托接触。本发明还公开了一种真空互联系统。本发明的转移真空样品托具有供小样品托插入并固定的功能，可同时应用于近常压扫描隧道显微镜和低温扫描隧道显微镜中，并且可在小样品托插入转移真空样品托后使得热电偶与小样品托自动接触，从而实现样品温度的检测，实现了两种不同扫描隧道显微镜之间样品的传递和真空互联。
一种转移真空样品联系

[发明专利]转移真空样品托、小样品托及真空互联系统-CN202010633732.X在审
发明人：陈志敏;丁孙安;魏伟;陆晓鸣;李坊森;何高航;王鹏栋 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2020-07-02 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： G01N23/2204 文献下载
摘要：本发明公开了一种转移真空样品托，包括第二托体组件，所述第二托体组件的顶面开设有容纳槽和设于所述容纳槽两相对侧的一对第二插槽，所述第二托体组件的底面开设有加热孔；两个所述第二插槽的延伸方向相同并与所述容纳槽连通，所述加热孔正对并连通所述容纳槽，用于在小样品托的宽度方向的两侧插入所述第二插槽时，供热量透过而加热小样品托上的样品。本发明还公开了一种小样品托及真空互联系统。本发明通过在超低温扫描隧道显微镜和光发射电子显微镜的样品托上开设有可供小样品托插入并固定的插槽和容置空间，使得同一小样品托可以同时适用于不同的显微镜设备，实现了样品在真空互联系统中的互联传递，可以对材料进行不同特性的测量和分析。
转移真空样品联系

[发明专利]一种真空互联系统及转移真空样品托-CN202010634316.1在审
发明人：陈志敏;丁孙安;王利;陆晓鸣;程飞宇;何高航;芮芳 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2020-07-02 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： G01Q30/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空互联系统，包括用于超低温扫描隧道显微镜的第一样品托、用于四探针扫描隧道显微镜的第二样品托以及小样品托，所述小样品托用于承载样品，所述第一样品托、所述第二样品托的顶部均形成有供所述小样品托插入并固定的插槽，所述小样品托可选择性地在插入所述第一样品托和所述第二样品托的插槽中。本发明还公开了一种转移真空样品托。本发明通过在超低温扫描隧道显微镜和四探针扫描隧道显微镜的样品托上开设有可供小样品托插入并固定的插槽和容置空间，使得同一小样品托可以同时适用于不同的显微镜设备，实现了样品在真空互联系统中的互联传递，可以对材料进行不同特性的测量和分析。
一种真空联系转移样品

[发明专利]真空互联样品转移组件-CN202010541358.0在审
发明人：陈志敏;丁孙安;陆晓鸣;龚忠苗;丁丁;陈肖;张亚宾 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2020-06-12 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： G01N35/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空互联样品转移组件，包括基座、卡座、抵持组件以及将卡座和抵持组件固定在基座上的固定板组件；卡座呈U形，包括一对间隔设置的导向臂，每个导向臂开设有沿其长度延伸且贯穿其自由端端面的导向孔；抵持组件包括两个分别位于一对导向臂外侧的弹性的抵持部，抵持部弹性抵接在导向臂外侧且接触导向孔边沿；固定板组件上开设有供转移样品的压杆压紧的转移孔。由于样品托可以沿着本发明的导向臂上开设的导向孔滑入，并受到导向臂外侧的弹性的抵持部的抵接，实现了样品托在多个方向上的限位，可以避免发生晃动，使得真空互联样品转移组件可以兼容两寸样品托，从而实现了不同设备间的样品传输。
真空样品转移组件

[发明专利]一种样品托夹取装置及夹取方法、样品传递装置-CN202010527212.0在审
发明人：陈志敏;丁孙安;陆晓鸣;何高航;黄荣;刘通;许蕾蕾 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2020-06-11 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： B65G47/74 文献下载
摘要：本发明公开了一种样品托夹取装置，包括取样杆和弹性件，取样杆的第一端呈筒体结构，取样杆的第一端的外壁开设有样品托导槽和样品托摆动槽，样品托导槽贯穿第一端的端面且沿取样杆的轴向延伸，样品托摆动槽连通样品托导槽且沿取样杆的周向延伸；弹性件的一端固定在取样杆的第一端内，弹性件的另一端朝向第一端的端部延伸，用于在耳部沿样品托导槽插入取样杆时产生反向的弹性力，并在耳部沿样品托摆动槽摆动后将耳部弹性抵持在样品托导槽内。本发明还公开了一种样品托夹取方法和样品传递装置。本发明的样品托夹取装置的取样杆的尺寸也可以做得很小，使得样品托夹取装置可以满足真空互联系统的小空间内样品的抓取需求，并且可以应用到不同的设备中。
一种样品托夹取装置方法传递

[实用新型]一种可实现两种样品架转换的超高真空装置-CN202121236283.1有效
发明人：方鑫伟;王利;任伟;陈爱喜;彭坤;陆晓鸣;李坊森;丁孙安 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2021-06-03 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： G01N35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可实现两种样品架转换的超高真空装置，包括：超高真空腔体、样品操作台、样品固定机构和样品架转移机构；所述样品操作台可移动地设置于超高真空腔体内；所述样品固定机构至少用于固定样品，且分别于一第一样品架、一第二样品架可拆卸地连接；所述样品架转移机构至少用于将第一样品架、第二样品架转移至样品操作台上或从样品操作台上移离，以及将样品固定机构从第一样品架、第二样品架两者中的一者上取下并转移到另一者上。本实用新型通过对不同超真空仪器的样品架进行改造，使不同的样品架共有一可拆卸的样品固定机构，并通过设计一种全新的用于抓取和转移该样品固定机构的抓取头，可在超高真空环境下实现不同样品架的转换。
一种实现样品转换超高真空装置

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