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[发明专利]一种多孔真空吸盘的自洁性检测装置及其检测方法-CN202011192815.6在审
发明人：宋运运;张昕;孙正斌;刘勋;裴亚星;刘猛 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2020-10-30 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明属于真空吸盘技术领域，具体涉及一种多孔真空吸盘的自洁性检测装置及其检测方法。所述多孔真空吸盘的自洁性检测装置，包括包括真空发生器，所述真空发生器有三个接口，分别连接第一连接管、第二连接管和第三连接管，第一连接管的末端与压缩空气过滤减压阀相连接，第二连接管的末端与大气相通，第三连接管的末端与多孔真空吸盘的抽气孔相连接；第三连接管上连接有电子压力计；压缩空气过滤减压阀通过第四连接管和空气压缩机相连接。采用本发明的检测装置和检测方法能够很好并准确的检测多孔真空吸盘的自洁性能。
一种多孔真空吸盘检测装置及其方法

[发明专利]一种砂轮混料均匀性图像检测方法及装置-CN201810345822.1有效
发明人：朱建辉;惠珍;师超钰;赵延军;包华;赵登科;李学仁 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2018-04-17 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本发明提供了一种砂轮混料均匀性图像检测方法及装置，利用单色光源照射混料机内的混合料表面，并利用CCD相机采集混合料表面彩色图像；进而对彩色图像进行像素点提取，将满足单色光源颜色RGB值范围的像素点作为对比料分布点，通过标准差法或中心偏离法计算对比料分布点的离散度指标值，进而判断对比料在混合料内是否均匀分布，并以此表示混料是否均匀，能够针对混料均匀性做出定量的评价指标，进而保证砂轮产品的磨削性和稳定性，确保了砂轮产品的质量。
一种砂轮均匀图像检测方法装置

[发明专利]一种碳化硅晶体减薄用砂轮、制备方法及其应用-CN202010289636.8有效
发明人：王礼华;张高亮;赵延军;左冬华;钱灌文;叶腾飞 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2020-04-14 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： B24D3/28 文献下载
摘要：本发明提供了一种碳化硅晶体减薄用砂轮、制备方法及其应用，砂轮具有多孔结构，原料按重量百分比包括：金刚石磨料15‑40%、酚醛树脂粉10‑35%、发泡剂3‑15%、氟化钙5‑20%、二硫化钨3‑15%、氧化铈3‑15%、冰晶石5‑20%、硬脂酸锌0.5‑6%。该方法制备的树脂结合砂轮具有多孔结构，孔隙率高，磨削时可以起到容屑作用，增加砂轮锋利性。同时，多孔结构建立的结合剂桥，在磨削时产生有效断裂，砂轮自锐性好，减少修整频次。砂轮体系中具体氟化钙和润滑剂材料可以降低砂轮摩擦系数，从而有效降低磨削热，提高磨削碳化硅晶片表面质量。
一种碳化硅晶体减薄用砂轮制备方法及其应用

[实用新型]一种六端面顶压机铰链梁耳扇的加工装置-CN202022295805.7有效
发明人：闫宁;肖双勇;王永峰;曹阳;闫道献;李燃 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2020-10-15 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： B23C3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种六端面顶压机铰链梁耳扇的加工装置，包括安装在铣床工作台上的底板，底板上安装有配合定位铰链梁中心孔的中心座和定位夹紧铰链梁耳扇的多对定位板，铣床滑枕上安装有刀具；刀具包括连接盘，连接盘下端转动插接有柱状的壳体，壳体下端部的侧面开口插装有圆盘铣刀，圆盘铣刀的轴向与壳体的轴向垂直设置，所述圆盘铣刀的铣削端面凸出壳体的外侧面设置，安装部与圆盘铣刀通过插装在壳体轴向的传动转向组件连接，本实用新型通过圆盘铣刀的端面铣削耳扇的加工面，提高效率的同时也保证了耳扇的精度，同时本发明通过中心座和定位板配合进行对铰链梁进行定位，解决铰链梁大面向下时难以找正问题。
一种端面顶压机铰链梁耳扇加工装置

[发明专利]一种衬底材料最优划片方向的确定方法-CN202011353049.7在审
发明人：王宁昌;朱建辉;徐钰淳;赵延军;包华;赵炯 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：一种衬底材料最优划片方向的确定方法，通过对材料塑性变形发生的临界条件的确定，也就是最容易发生塑性变形的晶面以及该晶面发生变形的方向的确定即可得到该种衬底材料的最优划片方向，该方法指导实际的生产，减少衬底材料在划片的过程中的正崩和背崩尺寸，提高加工质量和衬底的利用率。
一种衬底材料最优划片方向确定方法

[发明专利]一种用于衬底材料最优划片方向的微调吸盘装置-CN202011353653.X在审
发明人：王宁昌;闫贺亮;朱建辉;徐钰淳;赵延军;宋运运;赵炯 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：一种用于衬底材料最优划片方向的微调吸盘装置，包括吸盘底座、设于吸盘底座上的U型滑台装置以及控制U型滑台装置倾斜角度的滑台微调系统，滑台微调系统与U型滑台装置通过齿轮啮合定位，U型滑台装置上方还固设有用于吸附的微孔陶瓷；U型滑台装置包括U型滑台上部和U型滑台下部，且U型滑台上部和U型滑台下部通过对应布设的槽结构滑动配合，并通过配设在U型滑台上部的滑台紧固件锁紧固定。该用于衬底材料最优划片方向的微调吸盘装置，通过U型滑台装置和控制U型滑台装置倾斜角度的滑台微调系统的布设，可以实现调节衬底的倾斜角度，进而能够以最优的加工方向对衬底进行划片加工，减少崩边的尺寸，提高加工质量和晶圆的利用率。
一种用于衬底材料最优划片方向微调吸盘装置

[实用新型]一种超薄圆环类工件车削定位装置-CN202021211392.3有效
发明人：殷珂;李世宝 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司;郑州三磨超硬材料有限公司
申请日： 2020-06-28 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： B23Q3/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种超薄圆环类工件车削定位装置，解决了超薄圆环类工件车削时夹装定位困难的技术问题。本实用新型包括夹装在车床卡盘上的托板，托板背离车床卡盘的端面上设置有可更换的定位芯，定位芯与工件基体的中心孔插接配合，工件基体背离托板的一侧压接有顶板，顶板与车床顶尖顶接配合。本实用新型采用可拆卸定位设计，能够快速装夹工件基体等超薄圆环类工件，拆卸方便，减少了辅助安装时间，提高了加工效率，能够根据工件基体不同的中心孔径来更换定位芯，操作方便快捷。
一种超薄圆环工件车削定位装置

[发明专利]一种自洁性多孔真空吸盘及其制备方法-CN202011188474.5在审
发明人：宋运运;张昕;孙正斌;刘勋;裴亚星;刘猛 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2020-10-30 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明属于半导体制造技术领域，具体涉及一种自洁性多孔真空吸盘及其制备方法。所述自洁性多孔真空吸盘，包括基座以及设于基座上的多孔金属吸附板，所述基座中部设有沉台，多孔金属吸附板卡接于沉台内；所述基座的沉台中部设有贯穿基座的抽气孔，沉台上表面设有十字交叉槽和若干沿竖直向下延伸的同心环形凹槽，所述十字交叉槽贯穿环形凹槽和抽气孔。本发明的多孔真空金属吸盘，其多孔金属吸附板内部纵横交错的通道以及吸盘基座腔体上通气沟槽表面均沉积了PTFE防粘涂层，能够解决目前主流多孔真空陶瓷吸盘，微孔易堵塞且不易清洁的问题。
一种多孔真空吸盘及其制备方法

[实用新型]一种电磁式敲击振动时效平台-CN202021210224.2有效
发明人：王威;化曼丽;赵述凯 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司;郑州三磨超硬材料有限公司
申请日： 2020-06-28 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： C21D10/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电磁式敲击振动时效平台，解决了在对工件进行人工时效时劳动强度大、效率低且敲击质量差的技术问题。本实用新型包括承载平台，所述承载平台上设置有杠杆机构，杠杆机构包括横梁，横梁的一端设置有与承载平台对应的敲击棒，与横梁磁吸配合有控制敲击棒起落的电磁铁系统。利用电磁铁通电吸附、断电回位的原理，在电磁铁系统的驱动下，横梁带动敲击棒相对承载平台往复运动，能够对承载平台上的工件进行自动时效，可减轻工作人员的劳动强度，并可实现敲击力度可控。
一种电磁式敲击振动时效平台

[发明专利]一种微波等离子体化学气相沉积装置放取样系统-CN201910181537.5有效
发明人：吴啸;闫宁;赵延军;范波;郭兴星;徐帅;常豪锋;蔡玉珺 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2019-03-11 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： C23C16/511 文献下载
摘要：一种微波等离子体化学气相沉积装置放取样系统，包括机架和升降放取机构，升降放取机构包括支撑座及置于支撑座上的支撑底板，且支撑底板与支撑座沿水平方向滑动配合；支撑底板上方还设有用于放置沉积物的石英钟罩，实现石英钟罩伴随支撑底板在竖直方向上的升降；机架上还设有用于检测石英钟罩位置的定位装置。该微波等离子体化学气相沉积装置放取样系统，通过升降放取机构、支撑座以及与支撑座水平滑动配合的支撑底板的结构布设，使放样、取样过程中操作空间不再受限制，放样、取样过程简单无妨碍，可有效的避免由于操作空间有限而导致损坏石英钟罩情况的发生。
一种微波等离子体化学沉积装置取样系统

[发明专利]一种用于超高压的往复式泄压系统-CN201910917165.8有效
发明人：闫宁;王孝琪;陈亦工;潘薇 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2019-09-26 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： F15B13/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于超高压的往复式泄压系统，包括第一、第二、第三、第四超高压液控单向阀件、往复柱塞缸、电磁换向阀、控制液压油源的低压油泵、PLC控制器和电机。本发明通过设置四个超高压液控单向阀件和往复式柱塞缸构成一个往复式泄压油路，然后通过PLC和电磁换向阀配合控制往复式柱塞缸的往复速率，从而能够实现精确的控制泄压压力和效率。本装置特别适用超高压、超大压差及超大压差变化的六面顶压机泄压控制，通过PLC对电磁换向阀的数字化控制，可连续稳定的控制泄压流量。而且整体结构简洁、紧凑，便于加工，成本低，可靠性好，易于推广。
一种用于超高压往复式泄压系统

[发明专利]一种基于激光修整的磨粒有序化排布砂轮制造装置及方法-CN201910970929.X有效
发明人：朱建辉;师超钰;郭泫洋 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2019-10-12 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： B24D18/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于激光修整的磨粒有序化排布砂轮制造装置及方法，包括控制装置、激光发生装置、复合滤光装置和磨床；控制装置用于控制激光发生装置、复合滤光装置和磨床动作，激光发生装置包括激光器和聚焦模块，复合滤光装置包括复合滤光条和用于传送复合滤光条的传送模块，磨床用于夹持常规砂轮并驱动常规砂轮转动，所述的磨床的驱动轴上还设置有用于采集常规砂轮线速度的转速计；本发明在常规砂轮固结成形后，利用激光修整的方式实现磨粒或磨粒族有序化排布，对砂轮的制作工艺无任何特殊要求，避免了复杂的精细化操作，而且激光高效修整，过程中无设备材料损耗，提高了磨粒有序化排布砂轮的制作效率，降低了制造成本。
一种基于激光修整有序排布砂轮制造装置方法

[发明专利]一种丙烯酸压敏胶及利用其得到的用于薄型玻璃激光切割的紫外光固化胶带-CN202010958744.X在审
发明人：王玺;江磊;陈恩厚;王军涛 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2020-09-14 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： C09J7/38 文献下载
摘要：本发明公开一种丙烯酸压敏胶及利用其得到的用于薄型玻璃激光切割的紫外光固化胶带，属于特种胶带技术领域，所述紫外光固化胶带，包括基材层、丙烯酸压敏胶层和保护层。所述基材层为PVC、PE、CPP、PO材质，所述压敏胶层为丙烯酸压敏胶层，可进行热交联反应与光固化反应，所述保护层为表层涂布有机硅离型剂的PET、CPP、PP或PE膜。所述薄型玻璃激光切割用紫外固化胶带具备良好的柔韧性，并具有很低的粘着力，可实现薄型光学玻璃激光切割解胶后不倒膜直接上捡片机捡片的工艺。
一种丙烯酸压敏胶利用得到用于玻璃激光切割紫外光固化胶带

[发明专利]一种多孔自锐性金属基砂轮及其制备方法-CN201910621154.5有效
发明人：赵炯;郝素叶;吴晓磊;惠珍;张云鹤;许本超;赵盟月 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2019-07-10 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： B24D3/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种多孔自锐性金属基砂轮及其制备方法，属于磨料磨具技术领域。本发明的多孔自锐性金属基砂轮，包括多孔泡沫金属基体、通过金属结合剂固结在多孔泡沫金属基体上的磨料。本发明的多孔自锐性金属基砂轮，具有高气孔率并且孔隙尺寸大且均匀可控，能够有效地提升砂轮的容屑空间、提高砂轮散热性能、降低磨削温度，同时增强砂轮的出刃能力及自锐性，此外，本发明的多孔自锐性金属基砂轮也会由于致密度降低也更容易修整。
一种多孔金属砂轮及其制备方法

[发明专利]一种微波等离子体金刚石膜沉积设备-CN201910217762.X有效
发明人：闫宁;吴啸;郭兴星;范波;蔡玉珺;常豪峰;徐帅 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2019-03-21 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本发明涉及微波等离子体化学气相沉积技术领域，具体公开了一种微波等离子体金刚石膜沉积设备，其微波石英窗的顶部和底部通过密封垫片组分别与沉积台和底板密封连接，所述密封垫片组包括外圈密封垫片和内圈密封垫片，外圈密封垫片和内圈密封垫片间设有泄气间隙，顶部和底部的泄气间隙通过第二通气孔连通，在底板上的第三通气孔用于将泄气间隙与第二出气管连通，第二出气管与抽真空装置连接。本发明能有效隔离外界空气，维持了反应腔内真空工作环境，有效降低了本类型MPCVD设备的真空漏率，最终实现反应腔与外部空气有效隔离，为制备高品质产品提供了有利保障，提高了微波等离子体化学气相沉积产品质量，满足科研和工业化生产需求。
一种微波等离子体金刚石沉积设备