专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果149个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]一种二氧化钒薄膜真空计及其制备方法-CN201611107700.6有效
  • 邹继军;卜毅;朱志甫;邓文娟;刘云 - 东华理工大学
  • 2016-12-06 - 2019-02-01 - G01L21/12
  • 本发明公开了一种二氧化钒薄膜真空计,该真空计的核心是二氧化钒薄膜,二氧化钒薄膜可以通过管式炉在SiO2/Si、Si3N4/Si、石英、蓝宝石等衬底上生长得到。将生长好的二氧化钒薄膜贴合电极金属模板放入到电子束蒸发镀膜机沉积铬层,而后利用刻蚀金属模板,在感应耦合等离子体刻蚀系统中刻蚀没有被模板保护的二氧化钒薄膜;再放入电子束蒸发镀膜机,用刻蚀好的二氧化钒薄膜贴合电极金属模板进行沉积金层;最后,用快速热退火技术消除二氧化钒薄膜表面残余应力和组织缺陷,从而得到二氧化钒薄膜器件。将二氧化钒薄膜器件与微控制器、光源控制电路、电压源、电流采集电路和显示电路连接到一起,构成一个完整的真空计。由于二氧化钒薄膜材料对于温度和红外光照都极其敏感,这种真空计具有测量范围较宽,易于使用、成本低和体积小的特点。
  • 一种氧化薄膜真空计及其制备方法

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top