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[发明专利]一种识别对位点的方法-CN202310181206.8在审
发明人：张飞飞;胡传武;徐国栋;董昱君;张雷 -专利权人：源卓微纳科技（苏州）股份有限公司
申请日： 2023-03-01 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G06T7/70 文献下载
摘要：一种识别对位点的方法，获取每个对位点对应的对位点图像，识别对位点图像中的特征点，对对位点图像中的特征点进行排列组合，获取特征点组合，获取每个特征点组合的距离差值组，依据获得的距离差值组的数据，找到包含全部对位点的特征点组合。自动识别对位点，屏蔽干扰点。
一种识别对位方法

[发明专利]一种光学机构的标定方法-CN202111343827.9在审
发明人： 董昱君;张飞飞;张雷 -专利权人：源能智创（江苏）半导体有限公司
申请日： 2021-11-14 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种光学机构的标定方法，所述光学机构包括多个规则排列的光学镜头，所述光学镜头投影标定图像至标定尺，将标定尺移动至对位机构的视场区域，通过所述对位机构的移动机构移动所述对位相机，依次获取所述标定图像的位置信息，根据所述标定图像的位置信息标定所述光学镜头。在对光学镜头标定的过程中，X方向通过移动机构的移动标定位置关系，基板平台固定不动，不会引入基板平台的涨缩误差。
一种光学机构标定方法

[发明专利]一种加工设备的监控方法-CN202310195618.7在审
发明人：张飞飞;刘栋;胡传武;朱亮;董昱君;张雷 -专利权人：苏州源卓光电科技有限公司
申请日： 2023-03-03 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种加工设备的监控方法，所述加工设备包括运动平台、图像获取系统和加工系统，所述运动平台承载工件移动至图像获取系统和加工系统，所述运动平台的至少一台面边缘设置有多个辅助定位点，所述辅助定位点在工件放置于运动平台时，可被图像获取系统抓取，在工件加工前，获取辅助标记点的至少一理论距离，并设定基准间距误差阈值；所述运动平台带动工件运行过程中，所述图像获取系统获取对应于理论距离的辅助标记点的至少一实际测量距离，将所述实际测量距离和对应的理论距离进行比较，获得当前的间距误差，并与间距误差阈值进行比较判断所述工件是否可以通过加工系统进行加工。在对工件进行正面曝光前，即对工件的曝光精度进行监控，避免工件报废。
一种加工设备监控方法

[发明专利]一种直写曝光机的对位补偿方法-CN202010192255.8有效
发明人： 董昱君;张雷 -专利权人：源能智创（江苏）半导体有限公司
申请日： 2020-03-18 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种对位相机的校准方法，固定所述基板平台的位置，所述对位相机分别对所述标定板上的标定点进行X方向的数据检测，获得所述对位相机X方向移动实际测量值的数据，计算对位相机X方向的校准数据；根据所述对位相机抓取同一标定点的数据，获得所述对位相机相对的位置关系。位相机和基板平台都是以标定板为基准进行校准标定，不会把基板平台的误差引入到对位相机的校准中，结果更加准确。
一种曝光对位补偿方法

[实用新型]一种标定机构及其控制系统-CN202123398289.1有效
发明人：朱亮;孙省江;董昱君;李文章;张雷 -专利权人：源能智创（江苏）半导体有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种标定机构及其控制系统，所述标定机构包括标定板和标定板固定座，所述标定机构还包括遮光机构，所述遮光机构包括驱动机构和遮光板，所述驱动机构连接所述遮光板，所述驱动机构安装于所述标定板固定座，所述驱动机构带动所述遮光板覆盖所述标定板或者露出所述标定板。所述控制系统包括控制器和开关元件。所述控制器用于接收指令信号，并控制所述开关元件，所述开关元件与所述遮光机构的驱动机构连接，控制驱动机构的动作。所述标定机构设置了遮光机构，通过所述遮光机构及其控制系统使得所述标定板在空余时间免于激光照射，对标定板进行保护。
一种标定机构及其控制系统

[实用新型]一种能量标定机构-CN202220141457.4有效
发明人：孙省江;张宇阳;董昱君;朱亮;周黎;张雷 -专利权人：源纳微光学科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-01-19 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提出一种能量标定机构，包括多个能量感测单元、能量安装板、安装座、传动件、驱动源、基座，多个能量感测单元设置于能量安装板上，能量安装板与安装座连接，安装座固定于运动台面，能量安装板进一步与传动件相连，传动件与驱动源相连，驱动源通过基座连接至运动台面下方，驱动源通过传动件带动能量安装板进行翻转，使得能量安装板能够暴露于运动台面的一侧或者回收在运动台面下方。通过翻转方式实现在能量感测单元非工作期间回收于运动台面下，减小其占用空间且能避免磕碰。
一种能量标定机构

[发明专利]一种能量标定模块及标定方法-CN202210031741.0在审
发明人：周黎;胥涛棚;董昱君;张雷 -专利权人：源纳微光学科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-01-12 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提出一种能量标定模块，用于对直写式光刻机的曝光镜头进行能量标定，包括能量感测单元，配置为感应多个曝光镜头出射的光能量的大小而输出感测电流，比较单元，配置为对能量感测单元输出的感测电流进行比较并输出比较结果；开关单元，与能量感测单元对应设置，配置为接通或断开能量感测单元与比较单元的电性连接；控制器单元，配置为控制开关单元导通或断开，以及根据比较单元的比较结果调节多个曝光镜头出射的光能量。本发明通过使用能量感测单元将光能量转化为感测电流，并通过比较单元实时比较感测电流，从而调节待标定曝光镜头出射的光能量以达到基准曝光镜头出射的光能量，能量一致性更高。
一种能量标定模块方法

[实用新型]一种激光加热装置-CN202121428615.6有效
发明人：李金;李伟成;胥涛棚;刘栋;董昱君;张雷 -专利权人：源能智创（江苏）半导体有限公司
申请日： 2021-06-25 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种激光加热装置，包括光源组件、扩束装置、扇形光形成装置，所述光源组件发出光束，经所述扩束镜头和所述扇形光形成装置形成条形光斑，覆盖曝光镜头的投影区域。精准的对投影区域进行加热。
一种激光加热装置

[实用新型]一种直写式光刻机的光学系统-CN202121767959.X有效
发明人：张柯;魏帅;董昱君;张雷 -专利权人：源能智创（江苏）半导体有限公司
申请日： 2021-07-31 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提出一种直写式光刻机的光学系统，包括多个相同的光学子系统，每个光学子系统包括：照明模块，配置为产生光刻所需的照明光束；空间光调制模块，配置为对照明光束进行调制以形成图形光；第一双远心成像模块，配置为对所述空间光调制模块产生的图形光进行成像，以形成像面光斑；微透镜阵列模块，配置为将所述第一双远心成像模块形成的像面光斑聚焦成为光斑阵列；第二双远心成像模块，配置为将光斑阵列再次成像并投射到基板上；调焦模块，包括可相对移动的上直角楔形棱镜和下直角楔形棱镜，配置为调节所述光学子系统的焦面。采用上述光学子系统能够显著提高光刻图形的精度。
一种直写式光刻光学系统

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