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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种直写光刻设备及其标定方法-CN202310408652.8在审
  • 刘栋;张雷 - 源卓微纳科技（苏州）股份有限公司
  • 2020-02-27 - 2023-09-01 - G03F7/20
  • 一种直写光刻设备及其标定方法，所述直写光刻设备包括工作台、曝光镜头和对位相机，所述工作台的一端固定标定尺，所述标定尺为条状，表面涂覆有感光材料，所述工作台带动标定尺移动至曝光镜头下方，所述曝光镜头在所述标定尺的感光材料上曝光标记，曝光完毕后，所述工件台带动所述标定尺移动至所述直写光刻设备对位相机的捕获范围，所述对位相机捕获所述标定尺上的曝光标记，获得曝光镜头和对位相机之间的位置关系，及曝光镜头之间的位置关系。避免标定过程中多个移动机构之间的误差，同时在降低设计复杂度的基础上，降低生产成本，有利于设备的维护和校准。
  • 一种光刻设备及其标定方法
  •  1 
  • 共 3 条
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