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[发明专利]弯曲晶圆的清洗液及清洗方法-CN202111117828.1有效
发明人：葛威威;韩鹏帅;申朋举;葛永恒;葛林四 -专利权人：上海提牛机电设备有限公司
申请日： 2021-09-24 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： C09K13/08 文献下载
摘要：本发明属于半导体制造技术领域，具体涉及一种晶圆的清洗液及清洗方法。其中方法包括将晶圆经上料区上料；将晶圆从上料区置于第一清洗槽内，晶圆浸入混合液中，对晶圆的背面进行刻蚀清洗；将晶圆置于第一溢流槽内进行第一次清洗；将晶圆置于第二清洗槽内，晶圆浸入混合液中，对晶圆的背面再次进行刻蚀清洗；将晶圆置于第二溢流槽内进行第二次清洗；将晶圆置于氢氟酸槽，晶圆浸入氢氟酸液中去除表面的自然氧化膜；将晶圆置于第三溢流槽内进行第三次清洗；将晶圆经下料区下料，完成晶圆的清洗。本发明极其适用于翘曲或弯曲的晶圆的清洗，既能加快刻蚀速度，又具有成本低廉的优点。
弯曲清洗方法

[发明专利]超薄晶圆的背面刻蚀液及刻蚀方法-CN202011309979.2有效
发明人： 葛林四;葛永恒;吴士勇;韩鹏帅;葛威威 -专利权人：上海提牛机电设备有限公司
申请日： 2020-11-20 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： C30B33/10 文献下载
摘要：本发明属于半导体制造技术领域，具体涉及一种晶圆的背面刻蚀液及刻蚀方法。其中方法包括将晶圆经上料区上料；将晶圆从上料区置于第一刻蚀槽内，晶圆浸入混合液中，对晶圆的背面进行刻蚀；将晶圆置于第一溢流槽内进行第一次清洗；将晶圆置于第二刻蚀槽内，晶圆浸入混合液中，对晶圆的背面再次进行刻蚀；将晶圆置于第二溢流槽内进行第二次清洗；将晶圆置于氢氟酸槽，晶圆浸入氢氟酸液中去除表面的自然氧化膜；将晶圆置于第三溢流槽内进行第三次清洗；将晶圆经下料区下料，完成晶圆的刻蚀。采用本发明刻蚀液及方法得到的晶圆，表面平坦度好，一致性好，质量较佳。
超薄背面刻蚀方法

[发明专利]陶瓷盘翻转运输装置-CN201910605957.1有效
发明人：李杰;葛林四;韩鹏帅;葛威威;吴士勇 -专利权人：上海提牛机电设备有限公司
申请日： 2019-07-05 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本发明提供了一种陶瓷盘翻转运输装置，包括：支架、夹持部、取盘驱动机构、翻转驱动机构与推送机构，所述取盘驱动机构、所述翻转驱动机构与所述推送机构均直接或间接安装于所述支架，所述取盘驱动机构用于驱动所述夹持部夹持外部的陶瓷盘，并将所述陶瓷盘平移至待预备位置，所述翻转驱动机构用于驱动所述夹持部绕水平向的轴心翻转，以使得所述陶瓷盘同步被翻转后被平放于所述推送机构上，所述推送机构用于将平放其上的陶瓷盘推送至所需位置。本发明实现了对陶瓷盘的翻转，其能够避免人工翻转带来的不便，有效提高了效率。
陶瓷翻转运输装置

[发明专利]一种利用气缸移动的机构及晶圆传输系统-CN201910571599.7有效
发明人：赵建龙;葛威威;吴士勇;葛永恒;葛林四 -专利权人：上海提牛机电设备有限公司
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种利用气缸移动的机构及晶圆传输系统，包括无杆气缸和安装在所述无杆气缸的两端用以固定所述无杆气缸的固定调节架A和固定调节架B，所述无杆气缸的表面滑动连接有工型结构的辅助铝板，所述辅助铝板上安装有晶圆盒，且所述辅助铝板的底面安装有用以检测距离的定位传感器；在辅助铝板上安装有晶圆盒，当辅助铝板在无杆气缸上滑动时，进而驱使晶圆盒移动，在无杆气缸上设有两个压力缓冲器，当辅助铝板在无杆气缸上滑动时，压力缓冲器可以缓冲辅助铝板前进和后退产生的冲击力，而且在晶圆盒的底面设有定位传感器，该定位传感器可以定位固定调节架B上压力缓冲器的距离。
一种利用气缸移动机构传输系统

[发明专利]一种陶瓷盘翻转机构与陶瓷盘送料系统-CN201910606561.9在审
发明人：葛永恒;葛林四;韩鹏帅;葛威威;吴士勇 -专利权人：上海提牛机电设备有限公司
申请日： 2019-07-05 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： B65G49/08 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，具体为一种陶瓷盘翻转机构与陶瓷盘送料系统，用于陶瓷盘的送料过程中，包括安装架、承载结构、以及设于所述安装架上的翻转驱动机构和陶瓷盘输送机构；所述输送机构用以输送陶瓷盘于所述翻转驱动机构；所述承载结构安装于所述翻转驱动机构，以使得陶瓷盘脱离所述输送机构后能够得到支撑；所述翻转驱动机构用于驱动所述承载结构做翻转运动，以使得位于所述承载结构上的陶瓷盘同步发生翻转运动，在本发明中，采用机械翻转的方式，避免了人工翻转的低效率问题；通过承载结构以及翻转驱动机构的设计，使得陶瓷盘在翻转的过程中，无需机械臂的夹持，从而避免了因夹持力问题对陶瓷盘造成损坏。
陶瓷盘翻转驱动机构承载结构输送机构翻转机构翻转运动送料系统安装架翻转半导体技术领域低效率问题机械翻转机械臂夹持力夹持送料驱动脱离支撑

[发明专利]一种上下晶圆框架盒移动机构与晶圆送料系统-CN201910571755.X在审
发明人：葛威威;吴士勇;葛永恒;葛林四;韩鹏帅 -专利权人：上海提牛机电设备有限公司
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： B65G49/07 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，具体为一种上下晶圆框架盒移动机构与晶圆送料系统，用于晶圆送料的过程中，包括滑轨、滑块、升降驱动机构以及承载结构，所述承载结构与所述滑块直接或间接固定连接；所述升降驱动机构用于驱动所述滑块沿着所述滑轨的长度方向做升降运动，以使得直接或间接连接于所述滑块的承载结构同步发生升降运动；所述承载结构上升后支撑于晶圆框架盒下侧，下降过程中承载晶圆框架盒同步下降，用于装载所述晶圆框架盒；利用滑块沿滑轨的长度方向进行升降运动，能够带动直接或间接连接滑块的承载结构进行同步升降运动，且带着晶圆框架盒进行同步运动，可避免底部悬空而带来的不平稳的情况，有效的提高了送料传输过程中的平稳性。
晶圆框架滑块承载结构升降运动滑轨晶圆升降驱动机构间接连接送料系统移动机构送料半导体技术领域同步升降运动传输过程间接固定同步下降同步运动下降过程后支撑平稳性装载悬空承载驱动

[发明专利]一种陶瓷盘加持机构-CN201910604947.6在审
发明人： 葛林四;韩鹏帅;葛威威;吴士勇;葛永恒 -专利权人：上海提牛机电设备有限公司
申请日： 2019-07-05 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： B65G49/08 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，具体为一种陶瓷盘加持机构与陶瓷盘送料系统，用于陶瓷盘送料过程中，包括滑台模组、加持组件以及滑动块，所述滑动块安装于所述滑台模组，所述加持组件用于加持陶瓷盘并与所述滑动块直接或间接固定连接；利用滑台模组实现滑动块升降运动，从而带动加持组件、陶瓷盘同步发生运动，实现陶瓷盘的送料，解决人工送料的低效率、易损坏问题，在加持架上设有卡槽，在卡槽上设有用于限制陶瓷盘下坠的限位部，来解决下料过程中的不平稳问题，以及上料过程中加持力度出现偏差，陶瓷盘可自行进行根据受力进行相对加持架位置上的微调，从而避免损坏。
陶瓷盘滑台模组滑动块送料持架卡槽半导体技术领域滑动块升降间接固定上料过程送料系统限位部下坠受力下料微调

[发明专利]一种陶瓷盘360度旋装置-CN201910604952.7在审
发明人：李杰;葛永恒;葛林四;韩鹏帅;葛威威 -专利权人：上海提牛机电设备有限公司
申请日： 2019-07-05 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，具体为一种陶瓷盘360度旋装置，用于陶瓷盘的清洗过程中，包括设有开口结构的容体、旋转驱动机构以及安装于所述容体内的承载机构，陶瓷盘设于所述承载机构上，所述承载机构与所述旋转驱动机构直接或间接连接；所述旋转驱动机构用于驱动对应的承载机构转动，以使得设于所述承载机构上的陶瓷盘发生转动，利用旋转驱动机构带动旋转卡槽轮转动，从而带动陶瓷盘360度转动，再通过超声波震荡清洗槽对陶瓷盘进行清洗，实现陶瓷盘的全面清洗，且陶瓷盘置于容体内，相对于机械臂夹持的清洗方式，降低了安全隐患。
陶瓷盘承载机构旋转驱动机构转动清洗半导体技术领域体内超声波震荡安全隐患带动旋转间接连接开口结构清洗过程全面清洗机械臂清洗槽夹持卡槽容体驱动

[发明专利]一种升降与平移的气缸组合机构-CN201910604961.6在审
发明人：吴士勇;韩鹏帅;葛林四;葛威威;葛永恒 -专利权人：上海提牛机电设备有限公司
申请日： 2019-07-05 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明属于半导体技术领域，尤其为一种升降与平移的气缸组合机构，包括升降气缸结构和移动气缸结构以及用以连接该升降气缸结构和该移动气缸结构的安装板，该升降气缸结构用以该安装板升降，以及使得放置在该安装板上的工件同步运动，该移动气缸结构在该安装板上水平方向平移，并驱使安装在移动气缸结构上的工件同步运动；基于升降气缸结构以外部连接处为支点，进而升降安装板，在移动气缸结构上设有伸缩杆和安装在伸缩杆上的卡块，在安装板上设有辅助移动气缸结构水平方向平移的滑轨，通过连接板把安装板和滑轨连接，当移动气缸结构移动时，带动伸缩杆移动，可提高移动气缸结构平移伸缩杆的稳定性。
移动气缸安装板平移升降气缸升降伸缩杆同步运动组合机构气缸半导体技术领域伸缩杆移动辅助移动滑轨连接结构移动气缸结构外部连接连接板滑轨

[发明专利]陶瓷盘托举机构-CN201910604951.2在审
发明人：韩鹏帅;葛威威;吴士勇;葛永恒;葛林四 -专利权人：上海提牛机电设备有限公司
申请日： 2019-07-05 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： B66F7/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种陶瓷盘托举机构，包括：卡槽结构、升降板、固定结构与升降驱动结构；所述升降板沿竖直向设置，所述卡槽结构连接于所述升降板的上端，所述卡槽结构用于利用卡槽嵌入陶瓷盘；所述升降驱动结构装配于所述固定结构，用于驱动所述升降板，以及所述升降板上端的卡槽结构与陶瓷盘一同升降。本发明能够实现陶瓷盘的托举，从而可便于将陶瓷盘托举至所需的位置，进而便于进一步的运输与处理，满足多样的需求。
陶瓷盘升降板卡槽结构升降驱动结构固定结构托举机构上端托举的卡槽结构卡槽竖直嵌入装配升降驱动运输

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