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[发明专利]基板传送设备、半导体制程机台及基板传送方法-CN201910561490.5在审
发明人：李曜如;张宏文;范振峯 -专利权人：弘塑科技股份有限公司
申请日： 2019-06-26 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种基板传送设备、一种半导体制程机台及一种基板传送方法。基板传送设备包括传送装置以及定位装置。所述传送装置用以传送所述基板至所述定位装置进行定位。所述定位装置用以计算所述基板的待测位置。若所述待测位置与第一默认位置相同，则所述定位装置提供默认传送坐标至所述传送装置。若所述待测位置与所述第一默认位置不同，则所述定位装置提供修正传送坐标至所述传送装置。所述修正传送坐标包含所述预设传送坐标以及坐标修正值。所述第一默认位置为默认圆心坐标，所述待测位置为所述基板的圆心坐标检测值。
传送设备半导体机台方法

[实用新型]基板传送设备及半导体制程机台-CN201920981884.1有效
发明人：李曜如;张宏文;范振峯 -专利权人：弘塑科技股份有限公司
申请日： 2019-06-26 - 公布日： 2020-01-24 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开一种基板传送设备及半导体制程机台。基板传送设备包括传送装置以及定位装置。所述传送装置用以传送所述基板至所述定位装置进行定位。所述定位装置用以计算所述基板的待测位置。若所述待测位置与第一默认位置相同，则所述定位装置提供默认传送坐标至所述传送装置。若所述待测位置与所述第一默认位置不同，则所述定位装置提供修正传送坐标至所述传送装置。所述修正传送坐标包含所述预设传送坐标以及坐标修正值。所述第一默认位置为默认圆心坐标，所述待测位置为所述基板的圆心坐标检测值。
定位装置传送装置待测位置传送默认位置基板基板传送设备圆心坐标机台修正半导体制程本实用新型预设检测