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- [实用新型]一种分立芯片吸附测试夹具-CN202223098833.5有效
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苏晓晨;吉红霞;王海鹏
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三微电子科技(苏州)有限公司
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2022-11-22
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2022-12-27
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G01R1/04
- 本实用新型属于芯片测试技术领域,具体公开了一种分立芯片吸附测试夹具,包括金属吸盘和定位圈,金属吸盘的下表面开设有空气槽,空气槽的形状与探针台载物台所有真空孔构成的形状相对应,且覆盖探针台载物台所有真空孔;空气槽内开设有贯穿金属吸盘上表面和下表面的真空吸孔,真空吸孔的尺寸小于分立芯片的尺寸;金属吸盘的上表面覆盖有定位膜,定位膜上与金属吸盘真空吸孔相对应的位置开设有与分立芯片尺寸相适配的定位孔;定位圈和金属吸盘的上表面均沿径向设置有对位刻度线。本实用新型能够吸附分立芯片,避免了分立芯片测试时分立芯片被探针带起的情况的发生。本实用新型适用于分立芯片的测试。
- 一种分立芯片吸附测试夹具
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