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[发明专利]一种离子注入方法-CN201811186467.4有效
发明人：丁桃宝 -专利权人： 苏州晋宇达实业股份有限公司
申请日： 2018-10-12 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子注入方法，其具体包括以下步骤：S1、对离子注入机进行工作前的调试；S2、产生离子；S3、利用萃取系统对离子进行萃取；S4、离子筛选；S5、离子束加速；S6、中和离子束的正电荷；S7、离子束注入到硅片内，在离子注入的过程中，硅片绕X1轴公转、绕X2轴自转并沿Z轴方向上下移动，而同时利用法拉第杯对注入过程中离子束的束流值进行实时检测并将检测结果发给控制器，控制器根据离子束的实时束流值进行智能控制硅片的运动。该离子注入方法提高离子注入过程中的稳定性。
一种离子注入方法

[实用新型]一种半自动炉管清洗机-CN201922352520.X有效
发明人：丁桃宝;吴啸;景瑞强 -专利权人： 苏州晋宇达实业股份有限公司
申请日： 2019-12-24 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： B08B9/023 文献下载
摘要：本实用新型涉及炉管清洗领域，尤其涉及一种半自动炉管清洗机，该清洗机可以在清洗时使得炉管转动且能够上下摆动，改善清洗效果。包括化学腐蚀槽，内底面设有若干与炉管配合的被动滚轮，被动滚轮的一端设有主动滚轮；化学腐蚀槽顶部两侧分别设有上喷淋管路，化学腐蚀槽内底面一侧沿长度方向设有下注液管路，化学腐蚀槽内底面中间位置沿长度方向设有氮气鼓泡管路；化学腐蚀槽的上喷淋管通过第一连接管与纯水箱相连接，下注液管路通过第二连接管与化学液配液柜的出液口相连接，化学液配液柜上方通过第三连接管与化学液腐蚀槽底部相连接，第三连接管上设有进液阀，进液阀上侧的第三连接管上设有排液口。它操作简单，使用方便，适用于多种型号的炉管。
一种半自动炉管清洗

[实用新型]一种CVD装置尾气处理装置-CN201922351867.2有效
发明人：丁桃宝;吴啸;周琛怿 -专利权人： 苏州晋宇达实业股份有限公司
申请日： 2019-12-24 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： B01D53/75 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种CVD装置尾气处理装置，该处理装置可以增大尾气与水的接触面积，且采用水幕与吸附结构相结合的方式对尾气进行处理，有效解决以往仅通过水幕处理效果不佳的问题。包括高温反应桶，所述的高温反应桶顶部设有进气管，所述的高温反应桶底部通过第一连接管与第一处理桶右侧相连通；所述的第一处理桶顶部通过第二连接管与第二处理桶的右端部相连接；所述的第一喷淋管上方的第一处理桶中设有第一吸附装置，所述的第二处理桶中间部分还设有竖向的第二吸附装置。它操作简单，使用方便，适用于多种场所。
一种 cvd 装置尾气处理

[实用新型]一种半导体圆片的转移装置-CN201922352193.8有效
发明人：丁桃宝;丁烨滨;周琛怿 -专利权人： 苏州晋宇达实业股份有限公司
申请日： 2019-12-24 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体圆片的转移装置，包括底座、转移机械手和转移夹具，转移夹具包括支臂和安装于支臂上的用于夹持圆片的圆环状的夹环，支臂安装于转移机械手的末端，该夹环包括若干段夹环段，每个夹环段的一端设置有弧形的插杆，另一端设置有与弧形插杆适配的插孔，每个夹环段的内侧底部均设置有卡舌，该卡舌的底部与夹环段的底部平齐，其中两个相邻的夹环段安装于支臂上，支臂和各夹环段上安装有驱动夹环段开合的开合机构，取片工位上设置有载片盘，载片盘上设置有工艺腔，工艺腔的腔壁上设置有与卡舌一一对应匹配的缺口。该转移装置可以很好的夹持圆片，避免转移过程中圆片松动，同时也可以无需再使用顶针顶升，可靠性更高。
一种半导体转移装置

[实用新型]一种刻蚀用圆片转移夹具-CN201922340163.5有效
发明人：丁桃宝;丁烨滨;景瑞强 -专利权人： 苏州晋宇达实业股份有限公司
申请日： 2019-12-24 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种刻蚀用圆片转移夹具，包括支臂和安装于支臂上的用于夹持圆片的圆环状的夹环，该夹环包括若干段夹环段，每个夹环段的一端设置有弧形的插杆，另一端设置有与弧形插杆适配的插孔，所述夹环段的插杆插入另一个相邻的夹环段的插孔内，每个夹环段的内侧底部均设置有卡舌，该卡舌的底部与夹环段的底部平齐，卡舌的内侧厚度由内而外逐渐增大，其中两个相邻的夹环段安装于支臂上，所述支臂和各夹环段上安装有驱动夹环段开合的开合机构。该转移夹具可以很好的夹持圆片，避免转移过程中圆片松动，同时也可以无需再使用顶针顶升，可靠性更高。
一种刻蚀用圆片转移夹具

[实用新型]一种测温硅片-CN201922355889.6有效
发明人：丁桃宝;吴啸;景瑞强 -专利权人： 苏州晋宇达实业股份有限公司
申请日： 2019-12-24 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： G01K1/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种测温硅片，包括硅片本体和热电偶，所述硅片本体的中心表面设置有安装盲孔，所述热电偶的一端螺旋放入到所述安装盲孔内且并通过聚酰亚胺粘合胶水固定，所述硅片本体上固定有导出金属片，所述导出金属片上设置有理线结构，所述热电偶的导线通过该理线结构从导出金属片的一端导出，该测温硅片的热电偶与硅片之间固定非常牢固，不易松动，从而确保检测结果的准确性。
一种测温硅片

[实用新型]一种硅片转移机械手-CN201922351870.4有效
发明人：丁桃宝;钱磊;周琛怿 -专利权人： 苏州晋宇达实业股份有限公司
申请日： 2019-12-24 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种硅片转移机械手，该机械手采用真空发生器和吸盘配合对硅片进行固定，利于产品精确定位。包括竖向的转轴，所述的转轴顶部与第一手臂内端部底面转动连接，第一手臂外端部上表面与第二手臂内端部底面转动连接，第二手臂外端部上表面与第三手臂内端部底面转动连接，所述的第三手臂外端部上表面设有硅片固定机构；机械手两侧分别设有竖向的支杆，所述的支杆底部设有固定座，顶部共同固定设有横杆，所述的横杆上可滑动套设有第一套环，所述的第一套环底面中间位置与竖向前后开口的第二套环顶部固定连接。它操作简单，使用方便，适用于多种场所。
一种硅片转移机械手

[发明专利]一种刻蚀用圆片转移夹具-CN201911341850.7在审
发明人：丁桃宝;丁烨滨;景瑞强 -专利权人： 苏州晋宇达实业股份有限公司
申请日： 2019-12-24 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开了一种刻蚀用圆片转移夹具，包括支臂和安装于支臂上的用于夹持圆片的圆环状的夹环，该夹环包括若干段夹环段，每个夹环段的一端设置有弧形的插杆，另一端设置有与弧形插杆适配的插孔，所述夹环段的插杆插入另一个相邻的夹环段的插孔内，每个夹环段的内侧底部均设置有卡舌，该卡舌的底部与夹环段的底部平齐，卡舌的内侧厚度由内而外逐渐增大，其中两个相邻的夹环段安装于支臂上，所述支臂和各夹环段上安装有驱动夹环段开合的开合机构。该转移夹具可以很好的夹持圆片，避免转移过程中圆片松动，同时也可以无需再使用顶针顶升，可靠性更高。
一种刻蚀用圆片转移夹具

[发明专利]一种半导体圆片的转移装置-CN201911347337.9在审
发明人：丁桃宝;丁烨滨;周琛怿 -专利权人： 苏州晋宇达实业股份有限公司
申请日： 2019-12-24 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体圆片的转移装置，包括底座、转移机械手和转移夹具，转移夹具包括支臂和安装于支臂上的用于夹持圆片的圆环状的夹环，支臂安装于转移机械手的末端，该夹环包括若干段夹环段，每个夹环段的一端设置有弧形的插杆，另一端设置有与弧形插杆适配的插孔，每个夹环段的内侧底部均设置有卡舌，该卡舌的底部与夹环段的底部平齐，其中两个相邻的夹环段安装于支臂上，支臂和各夹环段上安装有驱动夹环段开合的开合机构，取片工位上设置有载片盘，载片盘上设置有工艺腔，工艺腔的腔壁上设置有与卡舌一一对应匹配的缺口。该转移装置可以很好的夹持圆片，避免转移过程中圆片松动，同时也可以无需再使用顶针顶升，可靠性更高。
一种半导体转移装置

[发明专利]一种CVD装置尾气处理装置-CN201911351458.0在审
发明人：丁桃宝;吴啸;周琛怿 -专利权人： 苏州晋宇达实业股份有限公司
申请日： 2019-12-24 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： B01D53/75 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种CVD装置尾气处理装置，该处理装置可以增大尾气与水的接触面积，且采用水幕与吸附结构相结合的方式对尾气进行处理，有效解决以往仅通过水幕处理效果不佳的问题。包括高温反应桶，所述的高温反应桶顶部设有进气管，所述的高温反应桶底部通过第一连接管与第一处理桶右侧相连通；所述的第一处理桶顶部通过第二连接管与第二处理桶的右端部相连接；所述的第一喷淋管上方的第一处理桶中设有第一吸附装置，所述的第二处理桶中间部分还设有竖向的第二吸附装置。它操作简单，使用方便，适用于多种场所。
一种 cvd 装置尾气处理

[实用新型]一种离子注入机-CN201821652558.8有效
发明人：丁桃宝 -专利权人： 苏州晋宇达实业股份有限公司
申请日： 2018-10-12 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种离子注入机，包括离子源、气体箱、萃取系统、离子质量分析器、加速系统、电子淋浴器和硅片放置驱动装置，加速系统和电子淋浴器之间还设置有法拉第检测板；硅片放置驱动装置包括机架，机架上竖直滑动安装有升降台，升降台上固定有竖直设置的固定端盖，升降台上偏摆安装有活动盘体，活动盘体与固定端盖之间密封配合，活动盘体内可拆卸转动安装有公转盘，公转盘上圆周均布有若干个自转盘架，每个自转盘架由自转动力装置驱动，该自转盘架上设置有卡紧装置。该离子注入机更换硅片时对离子束遮挡并实时监控离子束的强度，进行下一次注入时可以以此强度数据为依据来指导硅片放置驱动装置动作，使离子注入更加稳定，效率也更高。
离子注入机硅片放置驱动装置转盘架电子淋浴器固定端盖活动盘体加速系统公转盘离子束升降升降台离子质量分析器自转动力装置本实用新型卡紧装置密封配合强度数据实时监控竖直滑动竖直设置转动安装萃取系统法拉第活动盘检测板可拆卸离子源气体箱硅片均布偏摆遮挡离子体内驱动

[实用新型]一种离子注入机的硅片放置驱动装置-CN201821654703.6有效
发明人：丁桃宝;周琛怿 -专利权人： 苏州晋宇达实业股份有限公司
申请日： 2018-10-12 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种离子注入机的硅片放置驱动装置，包括机架，机架上竖直滑动安装有升降台，升降台上固定有固定端盖，该固定端盖上设置有离子注入窗口和真空连接头，升降台上偏摆安装有活动盘体，升降台上安装有偏摆动力装置，活动盘体内转动安装有公转盘，该公转盘由固定于活动盘体上的公转动力装置驱动，公转盘上圆周均布有若干个自转盘架，每个自转盘架均转动安装于公转盘上且由自转动力装置驱动，自转盘架上设置有放置区域，该自转盘架上设置有用于卡紧硅片边缘的卡紧装置。该硅片放置驱动装置可以使离子束不移动而硅片旋转并移动，这样结构更加简单，并且每次离子注入的硅片量更大，效率更高。
公转盘转盘架硅片放置驱动装置升降离子注入机固定端盖活动盘体转动安装硅片偏摆升降台动力装置驱动离子注入窗口自转动力装置本实用新型动力装置放置区域硅片边缘竖直滑动活动盘紧装置离子束连接头移动均布卡紧离子体内驱动

[实用新型]一种离子注入机的硅片公转盘-CN201821651109.1有效
发明人：丁桃宝;肖加政 -专利权人： 苏州晋宇达实业股份有限公司
申请日： 2018-10-12 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种离子注入机的硅片公转盘，包括转动安装于摆动盘体内的公转盘体，所述摆动盘体上设置有驱动公转盘体旋转的公转动力装置，所述公转盘体可拆卸安装于摆动盘体上，公转盘体上圆周均布有若干个自转盘架，所述自转盘架可拆卸安装于公转盘体上，每个自转盘架均由自转动力装置驱动，所述自转盘架上设置有用于放置硅片的放置区域，该自转盘架上设置有用于卡紧或松开硅片边缘的卡紧装置。该硅片公转盘可以方便安装硅片，同时尽可能的节省了等待时间，提高离子注入机的注入效率。
公转盘转盘架硅片离子注入机摆动盘可拆卸安装自转动力装置本实用新型驱动动力装置放置区域硅片边缘注入效率转动安装紧装置均布卡紧松开体内

[实用新型]匀胶显影机的冷却装置-CN201821605513.5有效
发明人：丁桃宝;刘毅 -专利权人： 苏州晋宇达实业股份有限公司
申请日： 2018-09-29 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： G03F7/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种匀胶显影机的冷却装置，包括冷板，每个冷板均与独立的冷却液供应系统连通，每个冷却液供应系统均包括冷却液供应箱、热交换器、供液泵，供液泵的进液管伸入到冷却液供应箱内，供液泵的出液管与热交换器的第一换热通道的入口连通，第一换热通道的出口与冷板上的冷却通道的入口连通，冷却通道的出口通过回流管道与冷却液供应箱的内腔连通，冷却装置还包括补液箱和补液泵，补液泵的出液口分别通过补液管与各冷却液供应箱连通，冷却液供应箱的内壁上设置有补液传感器、补液停止传感器和温度传感器。该冷却装置可以及时的对冷却液进行补充，保证冷板中流通足够的冷却液，保证冷却效率。
冷却液供应冷却装置冷板连通供液泵冷却液供应系统匀胶显影机换热通道冷却通道热交换器补液泵冷却液补液本实用新型停止传感器温度传感器回流管道冷却效率内腔连通补液管补液箱出液管出液口进液管传感器内壁伸入出口保证补充流通

[实用新型]一种匀胶显影机的供液装置-CN201821605511.6有效
发明人：丁桃宝;吴啸 -专利权人： 苏州晋宇达实业股份有限公司
申请日： 2018-09-29 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种匀胶显影机的供液装置，包括供液箱，供液装置还包括两个缓存罐，缓存罐均通过供液管路与供液箱的进液口连通，供液管路包括两段主进液管段和两段分出液管段，两个主进液管段伸入到对应缓存罐底部，分出液管段的另一端分别与对应的进液口连通；缓存罐的顶部设置有进气口，该进气口的下端处于缓存罐的液面的上方，进气口与供液压缩空气系统连通，供液箱内的上部和下部分别设置有上液位传感器和下液位传感器，上液位传感器、下液位传感器、电磁阀、供液压缩空气系统的动力源均与控制器电连接。该供液装置在加液时不会带入杂质，同时两个缓存罐相互切换使用可延长补液的时间。
缓存罐供液装置进气口供液连通上液位传感器下液位传感器压缩空气系统匀胶显影机供液管路供液箱进液口液管段主进液分出管段两段本实用新型顶部设置控制器电电磁阀动力源补液加液伸入下端

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