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[发明专利]基于异质集成的氧化镓cascade结构及制备方法-CN202211599584.X有效
发明人：欧欣;徐文慧;游天桂;沈正皓;瞿振宇 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01L21/8256 文献下载
摘要：本发明提供一种基于异质集成的氧化镓cascade结构及制备方法，通过异质集成的方法将无法实现P型掺杂的氧化镓半导体材料与增强型器件相集成制备cascade结构，并且cascade结构是制备在兼具有高散热能力的衬底上，基于此可制备增强型级联功率器件、且可实现高导热，从而解决氧化镓无法制备常关器件和散热的问题。
基于集成氧化 cascade 结构制备方法

[发明专利]一种异质集成体及其制备方法-CN202310684473.7在审
发明人：欧欣;徐文慧;伊艾伦;游天桂;瞿振宇 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01L21/18 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种异质集成体及其制备方法，该方法包括：提供第一晶圆和第二晶圆，第一晶圆包括第一面，第二晶圆包括第二面；对第一面和第二面进行激活处理，分别得到第一激活面和第二激活面；向第一激活面和第二激活面提供水蒸气或含有羟基的气态物质，以在第一激活面上形成亲水性基团，在第二激活面上形成亲水性基团；对第一晶圆与第二晶圆进行脱水键合处理，得到异质集成体，本发明能够显著减少异质材料界面的缺陷，形成高质量的异质界面，进而可提高利用上述异质集成体制备的异质集成器件的性能。
一种集成及其制备方法

[发明专利]氧化镓异质集成结构及制备方法-CN202310498119.5在审
发明人：欧欣;瞿振宇;游天桂;徐文慧;赵天成 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种氧化镓异质集成结构及制备方法，通过对异质集成的氧化镓复合结构进行表面刻蚀，以基于NaOH溶液或KOH溶液对材料的各向异性刻蚀，在氧化镓复合结构的表面留下具有凹槽的绒面结构，以增加器件的总体有效散热面积，增强了基于此制备的氧化镓基器件的散热能力，以解决氧化镓基器件的散热问题，提高氧化镓基器件的使用寿命。
氧化镓异质集成结构制备方法

[发明专利]一种异质结构及其制备方法-CN202310639707.6在审
发明人：欧欣;徐文慧;伊艾伦;游天桂;瞿振宇 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H01L21/18 文献下载
摘要：本申请公开了一种异质结构制备方法，包括提供单晶功能材料基板和异质衬底基板；对单晶功能材料基板进行第一离子注入，以形成第一缺陷层，形成第一缺陷层的单晶功能材料基板呈现翘曲状态；对异质衬底基板进行翘曲调控处理，以形成翘曲调控层，形成翘曲调控层的异质衬底基板呈现翘曲状态；键合形成第一缺陷层的单晶功能材料基板和形成翘曲调控层的异质衬底基板，得到异质键合体；对异质键合体进行剥离，得到目标异质结构。本申请的异质结构制备方法通过使异质衬底基板与单晶功能材料基板均形成翘曲，以减小异质衬底基板与单晶功能材料基板间的键合间隙，进而增强键合波的扩散能力，进而增强键合强度。
一种结构及其制备方法

[发明专利]氧化镓结构的制备方法-CN202211599581.6有效
发明人：欧欣;徐文慧;游天桂;沈正皓;瞿振宇 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种氧化镓结构的制备方法，通过智能剥离转移的方法将晶圆级的氮化镓转移到高导热的衬底上，之后经氧化退火将氮化镓薄膜氧化成氧化镓薄膜，从而实现氧化镓与高导热衬底的异质集成，有效解决氧化镓散热的瓶颈问题，且可制备大面积、高质量的氧化镓结构。
氧化结构制备方法

[发明专利]Ga2-CN202210943233.X在审
发明人：欧欣;瞿振宇;游天桂;徐文慧 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2022-08-08 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： H01L21/18 文献下载
摘要：本发明提供一种Ga2O3基异质集成pn结的制备方法，其包括将n型Ga2O3晶片和p型半导体晶片的至少一种作为待剥离材料，自待剥离材料的抛光面进行离子注入，形成缺陷层；将n型Ga2O3晶片与p型半导体晶片的抛光面键合；退火处理并沿缺陷层剥离，去除表面损伤层，进行同质外延，进行金属沉积并进行退火。本发明的制备方法通过离子束剥离与转移以及外延工艺，将n型Ga2O3转移到p型半导体晶片上，解决现有技术中Ga2O3材料p型掺杂困难，将n型Ga2O3材料与p型半导体材料进行异质集成后电学性能受限的问题，对Ga2O3材料在双极型器件领域的应用意义重大，大大拓展Ga2O3材料的应用范围。
ga base sub

[发明专利]异质键合结构及制备方法-CN202110379342.9在审
发明人：欧欣;瞿振宇;游天桂;徐文慧 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2021-04-08 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： H01L21/50 文献下载
摘要：本发明提供一种异质键合结构及制备方法，通过对异质衬底进行离子注入与退火，在异质衬底中形成结构松散层，以容纳亲水性键合过程中界面处产生的水汽，以及离子束剥离与转移工艺中键合界面处的离子和气体分子，解决了亲水性键合过程中键合界面处水汽聚集引起的起泡问题和利用离子束剥离与转移技术进行半导体材料异质集成时注入离子聚集在键合界面处引起的电场拥簇和起泡的问题，优化了异质键合工艺，提高了异质衬底与键合材料的界面质量，以及利用该异质键合结构制成的器件的可靠性，对由异质键合结构制成的器件的发展意义重大。
异质键合结构制备方法

[发明专利]一种基于皮尔逊相关系数的分布式光伏电站聚合预测方法-CN202210892915.2在审
发明人：彭清文;李琳;黄际元;王卓;陈柏沅;李雨佳;阳小丹;孙姜玥烨;瞿振宇;颜博文;胡湘伟;吕灿 -专利权人：国网湖南省电力有限公司;国网湖南省电力有限公司长沙供电分公司;国家电网有限公司
申请日： 2022-07-27 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： H02J3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于皮尔逊相关系数的分布式光伏电站聚合预测方法。通过对各个分布式光伏电站之间的相关性进行计算，将地区划分为若干个子地区，并选取能够代表该子地区所有光伏电站发电情况的光伏电站作为基准光伏电站，构建地区基准光伏电站信息表，根据基准光伏电站的气象台预测辐照度和预测温度，确定各子地区的基准光伏电站的预测功率，然后对各子地区的基准光伏电站预测功率进行归一化处理，得到各子地区所有光伏电站发电功率，最后累加计算，得出聚合全地区光伏电站的预测功率值。本发明通过计算出基准光伏电站的预测功率得到地区所有光伏电站的总功率，不需要对所有光伏电站进行气象和运行情况监测，降低了光伏电站的建设运行成本。
一种基于皮尔逊相关系数分布式电站聚合预测方法

[发明专利]一种利用复合冲压获得异构金属薄板的方法-CN202010451758.2有效
发明人：周浩;黄家喜;陈雪飞;许梦凝;瞿振宇;肖礼容;李玉胜;曹阳 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2020-05-26 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： B21C37/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用复合冲压获得异构金属薄板的方法，包含：预处理、复杂模具冲压、平冲压和热处理四步工序，其具体步骤为，采用可形变诱导马氏体相变的材料作为原始材料，采用一对共轭的模具分别对预处理之后的奇数块原材料板材Ⅰ加热冲压获得样品Ⅱ和样品Ⅲ，将数块样品II和样品III按照表面凹凸形状共轭形成无间隙的Ⅲ‑Ⅱ…Ⅲ叠层结构并进行加热平冲压，然后经热处理形成异质金属薄板。利用高韧相和高强相之间的背应力强化和背应力加工硬化，达到高强高韧的优异力学性能。可通过对原材料的选择，冲压模具的设计以及叠层方式的灵活性等调控，满足生产和应用中不同的强韧化需求。
一种利用复合冲压获得金属薄板方法

[发明专利]一种动态电压恢复器DVR的优化补偿方法、系统、终端及可读存储介质-CN202111230834.8在审
发明人：黄际元;郑峻峰;陈远扬;邓铭;唐梦娴;陈幸;王立娜;谭丽平;瞿振宇 -专利权人：国网湖南省电力有限公司;国网湖南省电力有限公司长沙供电分公司;国家电网有限公司
申请日： 2021-10-22 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： H02J3/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种动态电压恢复器DVR的优化补偿方法、系统、终端及可读存储介质，所述方法执行：步骤S1：基于动态电压恢复器DVR的输出功率小于或等于最大输出功率的原则，推演出动态电压恢复器DVR的输出电压UDVR的向量范围，作为补偿范围；步骤S2：基于所述动态电压恢复器DVR的补偿范围确定输出电压UDVR，并基于确定的所述输出电压UDVR进行暂降补偿；最佳输出电压UDVR满足：补偿范围内输出电压UDVR对应的暂降补偿后的负载电压UL的幅值与暂降故障前的配电网电压Ug的幅值相等以及暂降补偿后的负载电压UL与暂降故障前的配电网电压Ug的差量的模值最小。本发明针对容量限制问题提供了一种全新以及可行的补偿方法。
一种动态电压恢复 dvr 优化补偿方法系统终端可读存储介质

[发明专利]一种铸造异构金属棒材的装置及方法-CN202010233809.4有效
发明人：周浩;瞿振宇;陈雪飞;许梦凝;刘亿;肖礼容;徐涛;李玉胜;曹阳 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2020-03-30 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： B22D19/16 文献下载
摘要：本发明属于异构材料制备领域，具体涉及一种铸造异构金属棒材的装置及方法。在离心铸造工作段中交替浇铸两种或两种以上金属液，得到两种或两种以上金属径向交替排列的管状材料，随后利用压铸的方式填充铸件心部，得到两种或两种以上金属径向交替排列的金属铸件，对得到的金属铸件脱模后进行去应力退火处理，最终获得异种金属径向交替排列的异构金属棒材。本发明制备的异构金属棒材具有异构材料的特性，多种合金层分别提高基体的强度和韧性，满足实际应用的需要；本发明可制备大尺寸的异构金属棒材，微观结构设计具有灵活性和指向性，不同微观组织分布比例易于调控，铸件成品率较高，应用范围更广。
一种铸造金属棒装置方法

[发明专利]一种实现固液界面自润滑和高摩擦可逆的方法-CN201910655709.8在审
发明人： 瞿振宇;廖炯焘;范淇;安蓉;邱秀华 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2019-07-19 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： C10M169/04 文献下载
摘要：本发明公开一种实现固液界面自润滑和高摩擦可逆的方法，该方法为将离子液体和基础油混合配制成溶液，其中离子液体与基础油的摩尔比为1:5～1:25，并充分混合；将得到的溶液铺在洁净的Ti衬底上，获得表面附有润滑剂的Ti片。本发明制备的离子液体与一定量的基础油相混合，在金属表面，能实现固液界面自润滑和高摩擦可逆，有望用于火车铁轨、机械齿轮、微机电系统、汽车与轮船等的传动制动装置，减少摩擦带来的损耗；本发明制备的离子液体黏度高，能在固液界面间形成大量分子键，这使得其能长久存留于固体表面，克服高载荷可能造成的离子液体被挤出的难题。
固液界面离子液体高摩擦基础油自润滑可逆的制备离子液体黏度微机电系统充分混合传动制动固体表面火车铁轨机械齿轮减少摩擦金属表面分子键高载荷摩尔比润滑剂可逆衬底轮船挤出洁净汽车

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