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[发明专利]一种自封闭纳米流道的制造方法-CN202210365627.1有效
发明人： 温晓镭;胡欢 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2022-04-08 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种自封闭纳米流道的制造方法，包括以下步骤：A)在单晶硅衬底上使用氦离子束注入所需纳米流道结构二维图形，得到表面具有纳米流道结构二维图形的单晶硅衬底；B)使用湿法刻蚀剂在步骤A)得到的单晶硅衬底的二维图形上进行腐蚀，得到具有纳米流道结构的单晶硅衬底；C)在步骤B)得到的单晶硅衬底的纳米流道结构的表面以及水平表面沉积一层薄膜，并通过沉积将所述纳米流道结构的上端封口，形成封闭的纳米流道结构。本发明提供的方法可加工纳米级内径的流道结构，制造精度高。该方法成本低、工艺可靠性更高，并且易于与现有微流道加工技术集成，可用于制作高精度的纳流控芯片器件。
一种封闭纳米制造方法

[发明专利]一种离子辅助化学刻蚀碳化硅的方法-CN202211096214.4在审
发明人： 温晓镭;胡欢 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2022-09-08 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： C30B33/12 文献下载
摘要：本发明提供了一种离子辅助化学刻蚀碳化硅的方法，包括以下步骤：A)将单晶碳化硅进行退火处理后，采用离子注入的方法在单晶碳化硅表面的特定图形区域注入高能惰性气体离子，得到离子注入的单晶碳化硅；B)将所述离子注入的单晶碳化硅进行湿法刻蚀后进行清洗和干燥，得到刻蚀后的碳化硅。本发明提供了一种离子辅助化学刻蚀碳化硅的方法。将离子注入改性与化学湿法刻蚀工艺相结合，实现碳化硅的离子辅助湿法刻蚀。该方法可加工微米及纳米尺度的碳化硅刻蚀结构，制造精度高，并且只需一次离子注入和一次化学湿法刻蚀，该方法的制造流程简单、效率高，无需制备掩膜，也不需要真空、电压、特种气体等条件配合，工艺复杂度低、可靠性高。
一种离子辅助化学刻蚀碳化硅方法

[发明专利]一种具有纳米间隙的电极对及其制备方法-CN202211060212.X有效
发明人： 温晓镭;刘海涛 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2022-09-01 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： H01L21/28 文献下载
摘要：本发明涉及半导体纳米电子器件技术领域，尤其涉及一种具有纳米间隙的电极对及其制备方法。所述制备方法包括：A）在单晶硅衬底上生长绝缘层，得到基材；B）采用微纳米加工技术在所述基材上制备平面金属电极对；C）采用离子束/电子束辅助沉积技术在步骤B）得到的样品上制备直立金属电极对，并与步骤B）得到的平面金属电极对相连通；D）在步骤C）得到的直立金属电极对旁边的微区内注入高能氦离子，所述微区因氦离子富集产生表面形变隆起，挤压直立金属电极，并使所述直立金属电极发生倾倒，从而调控两直立金属电极之间的间隙距离，得到具有纳米间隙的电极对，制备的电极结构稳定，纳米间隙大小可精确控制，具有很好的可重复性。
一种具有纳米间隙电极及其制备方法

[实用新型]一种用于氦离子显微镜成像质量校正的样品-CN202120479255.6有效
发明人： 温晓镭 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2021-03-05 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： G01N23/2255 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于氦离子显微镜成像质量校正的样品，所述样品包括衬底、导电层和聚苯乙烯微球颗粒，衬底上覆盖导电层，聚苯乙烯微球颗粒分散固定在导电层上；或者包括块体导电材料和聚苯乙烯微球颗粒，聚苯乙烯微球颗粒分散固定在块体导电材料上。由于氦离子在聚苯乙烯材料中穿透能力强，平均穿透深度超过微球尺寸，故聚苯乙烯微球颗粒在氦离子照射下不易发生融化、变形等损伤，并且其边界清晰的球形几何形状可灵敏反映出离子束聚焦问题，有利于离子束聚焦成像质量的校正。
一种用于离子显微镜成像质量校正样品

[发明专利]一种精确调控原子力显微镜针尖倾角的方法-CN202010935741.4有效
发明人：胡欢;温晓镭 -专利权人：浙江大学
申请日： 2020-09-08 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： G01Q60/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种精确调控原子力显微镜针尖倾角的方法，该方法通过高能离子束(如氦离子)注入到针尖底部附近，使得针尖附件衬底材料发生隆起，从而引起针尖的倾斜，类似比萨斜塔效应，可以实现针尖的倾斜。通过控制离子束注入的剂量，可以控制隆起的体积，控制针尖倾斜的角度。该方法可以精确控制原子力探针针尖的倾斜角，控制纳米柱子之间的距离。
一种精确调控原子显微镜针尖倾角方法

[发明专利]一种用于血糖监测的普鲁士蓝微针电极、其制备方法、血糖监测贴片及其制备方法-CN201910888655.X有效
发明人：周成刚;丁梦璠;温晓镭;魏珊珊 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2019-09-19 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： A61B5/145 文献下载
摘要：本发明属于生物医学工程领域，尤其涉及一种用于血糖监测的普鲁士蓝微针电极、其制备方法、血糖监测贴片及其制备方法。本发明提供的普鲁士蓝微针电极包括：金微针电极，所述金微针电极包括金微针电极基底和底部固定在所述金微针电极基底上的若干根金微针；复合在所述金微针表面的普鲁士蓝层；和复合在所述普鲁士蓝层表面的壳聚糖固定化葡萄糖氧化酶层。本发明解决了目前针对糖尿病血糖监测必须进行抽血化验造成工作繁琐的问题，只需将本发明提供的微针电极穿透皮肤角质层，即可长效迅速准确的测试组织液中的葡萄糖糖浓度，且微针电极尺寸小巧，便于携带，具备作为一种良好的安全便携无痛的血糖电化学传感器的潜力。
一种用于血糖监测普鲁士蓝微针电极制备方法及其

[发明专利]一种用于氦离子显微镜成像质量校正的样品及其制作方法-CN202110247163.X在审
发明人： 温晓镭 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2021-03-05 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： G01N23/2255 文献下载
摘要：本发明提供一种用于氦离子显微镜成像质量校正的样品及其制作方法，所述样品包括衬底、导电层和聚苯乙烯微球颗粒，衬底上覆盖导电层，聚苯乙烯微球颗粒分散固定在导电层上；或者包括块体导电材料和聚苯乙烯微球颗粒，聚苯乙烯微球颗粒分散固定在块体导电材料上。由于氦离子在聚苯乙烯材料中穿透能力强，平均穿透深度超过微球尺寸，故聚苯乙烯微球颗粒在氦离子照射下不易发生融化、变形等损伤，并且其边界清晰的球形几何形状可灵敏反映出离子束聚焦问题，有利于离子束聚焦成像质量的校正。同时提供了一种用于氦离子显微镜离子束聚焦成像质量校正的样品的制作方法，该方法步骤简单，工艺要求低，适用于大批量生产。
一种用于离子显微镜成像质量校正样品及其制作方法

[发明专利]一种微透镜阵列结构的制作方法-CN202110130343.X在审
发明人： 温晓镭;胡欢 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：本发明一种微透镜阵列结构的制作方法，使用氦离子产生设备的氦离子束对基片进行局部注入，利用氦离子注入引起的晶格膨胀效应，通过改变氦离子束在基片表面的指定区域的照射范围、氦离子束停留时间以及氦离子束能量，控制氦离子注入剂量和注入区域，从而精准控制隆起的形状、高度和尺寸，形成凸型微透镜阵列结构。本发明步骤简单、加工效率高，一次成型不需额外加工模板，所获得的透镜曲面圆滑立体，并且工艺参数可精确调控，加工精度可达纳米级别，对于指定结构参数的微透镜阵列具有良好的加工适应性，由此解决了现有技术步骤复杂、工艺参数难以控制、需额外加工模板、加工精度受限、透镜曲面不圆滑的问题。
一种透镜阵列结构制作方法

[实用新型]一种用于补水保湿的微针导入型眼贴-CN201921396139.7有效
发明人： 温晓镭;周成刚;孙剑;王秀霞;魏钰 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2019-08-26 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： A61K8/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于补水保湿的微针导入型眼贴，其特征在于，包括依次复合而成的支撑层、加热层、绝缘层、储水层以及透明质酸微针阵列层。相比于传统的透明质酸涂敷于皮肤上的美容保湿方式，此贴片上的微针可突破皮肤角质层的屏障作用，形成许多微孔通道，大大提高大分子量透明质酸的渗透效率，增强保湿效果。并且，通过储水层和加热层的协同作用，可以进一步提高保湿补水效果。
一种用于保湿导入型眼贴

[实用新型]一种样品结构-CN201922216397.9有效
发明人： 温晓镭 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2019-12-11 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本申请提供一种样品结构，所述样品结构，包括衬底、位于衬底上的金属薄膜，以及位于金属薄膜内部或其上的纳米结构。样品结构简单，制作方法简易，能够在倾斜入射光照射下，产生的近场光场分布能够被SNOM检测到，且对入射光空间角具有良好响应，能够用于SNOM近场光场成像，进而由SNOM近场光场成像测量结果反推出入射光空间角分量，从而实现对SNOM设备入射光空间角的标定。
一种样品结构

[实用新型]一种微针贴片-CN201920717794.1有效
发明人： 温晓镭;周成刚;孙剑 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2019-05-17 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： A61M37/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种微针贴片，包括：贴片层、树脂基层与树脂微针阵列；所述贴片层的一个表面设置有凹槽；所述树脂基层位于凹槽内；所述树脂微针阵列设置于所述树脂基层上；所述树脂微针阵列由树脂微针组成；所述树脂微针中设置有石材微粒。与现有技术相比，本实用新型提供的微针贴片形貌均一性好，力学性能稳定耐用，且对人体无害，同时相对于传统的平面贴片，此微针贴片上的微针可突破皮肤角质层的屏障作用，形成许多微孔通道，大大提高了理疗刺激的传递效率，同时由于不伤及真皮层的神经末梢和毛细血管，不会产生刺痛感和出血，使用者接受程度高，并且微针贴片取下后皮肤上的微孔通道会自动闭合，创伤感染风险小。
一种微针贴片

[发明专利]模具表面处理方法及微针制作方法-CN202010133816.7在审
发明人： 温晓镭;孙剑 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2020-02-28 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： B29C69/02 文献下载
摘要：一种模具表面处理方法，用于改善微针的脱模效果，包括：对带有微孔结构的母版模具进行清洗；采用氧等离子体对清洗后的母版模具进行活化处理；在活化处理后的母版模具表面依次沉积种子层及薄膜层，其中，薄膜层用于降低母版模具表面的自由能。该方法可促进聚合物材料渗入和填充微孔结构，模具表面沉积Au薄膜层可大幅降低模具表面自由能，有效解决脱模过程中聚合物与模具的粘连问题，提高聚合物微针的加工效率和成功率、延长模具使用寿命。由于Au的生物相容性好，加工过程中不产生有毒有害或危险化学成分，适用于生命科学相关研究，可满足大批量生产需要。并且全过程中采用低温工艺，不会对母版模具造成热损害。
模具表面处理方法制作方法

[发明专利]微流道模具表面处理方法及微流道芯片的制作方法-CN202010133828.X在审
发明人： 温晓镭;孙剑 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2020-02-28 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： B29C33/42 文献下载
摘要：一种微流道模具表面处理方法，用于提高微流道芯片模具的抗粘性，包括：对微流道芯片的母版模具进行清洗；在清洗后的母版模具表面依次沉积种子层及薄膜层，其中，薄膜层用于降低母版模具表面的自由能。该方法在模具表面沉积Au薄膜层可大幅降低模具表面自由能，有效解决脱模过程中聚合物与模具的粘连问题，提高微流道芯片的加工效率和成功率、延长模具使用寿命。由于Au的生物相容性好，加工过程中不产生有毒有害或危险化学成分，适用于生命科学相关研究。并且该方法操作简单，使用常规镀膜设备即可实现，与半导体加工工艺链兼容性好，可满足大批量生产需要。
微流道模具表面处理方法芯片制作方法

[发明专利]一种样品结构及其制作方法、入射空间角标定方法-CN201911267392.7在审
发明人： 温晓镭 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2019-12-11 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本申请提供一种样品结构及其制作方法、入射空间角标定方法，所述样品结构，包括衬底、位于衬底上的金属薄膜，以及位于金属薄膜内部或其上的纳米结构。样品结构简单，制作方法简易，但是能够在倾斜入射光照射下，产生的近场光场分布能够被SNOM检测到，且对入射光空间角具有良好响应，能够用于SNOM近场光场成像，进而由SNOM近场光场成像测量结果反推出入射光空间角分量，从而实现对SNOM设备入射光空间角的标定。该标定方法简便易行，样品结构制备工艺简单，可作为标准样品对不同厂家型号或实验室搭建的散射式扫描近场光学显微镜入射光空间角进行标定，适用范围广泛，可大批量生产。
一种样品结构及其制作方法入射空间标定方法

[发明专利]一种测量光学带隙的方法和系统-CN201911018525.7在审
发明人： 温晓镭 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2019-10-24 - 公布日： 2020-01-14 - 主分类号： G01N21/21 文献下载
摘要：本发明提供了一种测量光学带隙的方法和系统，包括采用椭偏仪对待测样品进行测量获得椭偏数据测量值；对椭偏数据进行建模及拟合计算，判断拟合计算得到的拟合值是否接近测量值，若是，利用拟合所得色散方程参数反推计算，获得待测样品的折射率和消光系数随波长变化的色散曲线；根据色散曲线以及吸收系数公式获得待测样品的吸收系数；根据吸收系数和Tauc公式求出待测样品的光学带隙。由于椭偏仪具有测量精度高、对衬底材料透明度没有要求的特点，因此，不仅能够精确地实现光学带隙的测量，而且能够极大地拓展光学带隙测量的适用范围，尤其针对不透明衬底或单面抛光衬底上的薄膜材料、不透明材料、多层或复杂膜结构材料等具有良好的测量效果。
待测样品吸收系数光学带隙色散曲线椭偏仪衬底拟合测量光学带隙测量不透明材料测量精度高薄膜材料波长变化测量光学测量效果衬底材料单面抛光接近测量拟合计算色散方程数据测量消光系数不透明膜结构折射率带隙多层反推建模透明度拓展

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