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[发明专利]用于扫描近场光学显微镜和分光镜的金属设备及制造方法-CN201680035001.7有效
发明人： T·德鲁伦科依瓦斯克瑟罗斯;B·索尔斯阿坎诺;L·G·德欧力维拉鲁普斯坎卡多;C·A·阿奇特;W·努恩斯罗瑞格;A·乔瑞欧德瓦斯克瑟罗斯;B·弗拉戈诺德;D·多斯三托斯瑞贝罗;C·拉贝罗依席尔瓦;B·三托斯德欧力维拉 -专利权人：米纳斯吉拉斯联合大学;国家计量;质量和技术学院-INMETRO
申请日： 2016-05-06 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本发明涉及用于扫描近场光学显微镜和分光镜的金属设备，以及制备它的方法。所述设备包括具有纵向延长部分(2)、纳米顶点(4)并且具有至少一个表面修整部(3)的单个主体(1)，其被应用为具有合适的尺寸和细节的高效率的光学探针，其改进了光子‑等离子体激元耦合，实现了以高空间分辨率、高效率和可重复性对纳米尺寸结构进行分析。
用于扫描近场光学显微镜分光镜金属设备制造方法

[发明专利]一种基于近场无孔式探针的多模式测量方法及测量系统-CN202110567943.2有效
发明人：杨树明;王飞;李少博;程碧瑶;刘强;张国锋;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2021-05-24 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于近场无孔式探针的多模式测量方法及测量系统，第一、第二光纤和探针光纤通过第一光纤耦合器耦合连接，第一光纤与第一激光器连接，第二光纤与第一探测器连接；第三、第四光纤和第五光纤通过第二光纤耦合器耦合连接，第三光纤与第二激光器连接，第四光纤第二探测器连接，第五光纤与聚焦透镜组连接；第一光纤输出的光只能进入探针光纤，探针光纤输出的光只能进入第二光纤；第三光纤输出的光只能进入第五光纤，第五光纤输出的光只能进入第四光纤；探针光纤的探针针尖的轴线与聚焦透镜组的轴线同轴。本发明能够实现多种不同的测量模式，测量系统使用光纤作为光传播的载体，让整个光路十分灵活，便于测量过程中的光路调试。
一种基于近场无孔式探针模式测量方法测量系统

[发明专利]一种太赫兹时域光谱近场成像装置及成像方法-CN202310109393.9在审
发明人：胡旻;尹廷贵;唐福;宾泽川;许星星;张晓秋艳;张天宇;吴振华;刘頔威 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2023-02-08 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：一种太赫兹时域光谱近场成像装置及成像方法，成像装置包括探针组件，探针组件包括第一基底，第一基底上设置有第二基底，第二基底用于在自由空间的激光的照射下生成光生载流子，第二基底上设置有电极阵列、悬臂、接地电极、以及位于悬臂和接地电极之间的第一间隙，悬臂连接针尖和电极阵列，电极阵列包括若干电极，且相邻的两个电极之间存在有第二间隙，若干电极经模拟开关连接至后处理单元。本发明无需设置机械延时线即可得到太赫兹近场时域信号和频谱图，极大地减小了系统的复杂度和空间占用率，同时，由于模拟开关具有很高的通断速率，因此能够获得更快的时域信号刷新率，相较于传统机械延时线步进采样扫描大幅地缩短了扫描时间。
一种赫兹时域光谱近场成像装置方法

[发明专利]一种基于量子点的光纤探针及其检测系统-CN202010505914.9有效
发明人：陈娜;李韶颖;王廷云;陈振宜;刘书朋 -专利权人：上海大学
申请日： 2020-06-05 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本发明涉及到微区测温领域，公开了一种基于量子点的光纤探针及其检测系统。光纤探针由锥形光纤的尖端耦合量子点构成，将光纤探针固定在音叉上以实现近场检测，结合光学仪器及原子力显微镜，构成了近场检测系统。本发明的检测方法实现了同一区域内局域温度分布图像、表面形貌图像、近场光学图像的同时获取，为样品多角度分析提供了技术手段。检测方法突破了衍射极限的限制，实现了非光学技术及传统光学技术不能实现的高分辨率温度检测。
一种基于量子光纤探针及其检测系统

[发明专利]一种太赫兹扫描近场光学系统针尖散射信号仿真分析方法-CN202210394826.5在审
发明人：彭召敏;张德海;葛书岐 -专利权人：中国科学院国家空间科学中心
申请日： 2022-04-15 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种太赫兹扫描近场光学系统针尖散射信号仿真分析方法，该方法包括：步骤s1)基于镜像偶极子理论，建立针尖散射信号的三维模型，并简化得到二维针尖与待测样品的纵向剖面模型；步骤s2)通过设置二维针尖的纵向剖面模型与待测样品的不同仿真环境，分别进行步骤s3)和步骤s4)；步骤s3)通过改变针尖与样品的间距模拟针尖周期性振动，得到不同间距的近场电场数值；步骤s4)对不同间距的近场电场数值进行傅里叶分解，得到各阶散射信号的电场分布。本发明极大的减小了仿真模型的计算量，通过综合不同针尖与待测样品间距的各点电场数值，直观得到各阶散射信号的空间分布，为太赫兹散射式近场扫描光学成像仪器设计提供参考。
一种赫兹扫描近场光学系统针尖散射信号仿真分析方法

[发明专利]基于复合探针的被动式近场光学扫描显微系统及检测系统-CN202210081396.1在审
发明人：谷付星;窦琳;麻艳娜;顾兆麒;刘家彤;刘志辉 -专利权人：上海理工大学;上海飞秒光电技术有限公司
申请日： 2022-01-24 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本发明属于显微成像技术领域，提供了一种基于复合探针的被动式近场光学扫描显微系统及检测系统；其中检测系统包括基于复合探针的被动式近场光学扫描显微系统及由激光器、准直器、检测物镜、锁相放大器组成的耦合光路。扫描显微系统采用被动式纳米探针，保留了纳米探针对样品表面反射光的强约束优势。其理论收集效率为4.65‰，相比于传统的金属镀膜近场探针收集效率提高了一个数量级；而后通过硫化镉纳米线与锥形微光纤探针之间高效的倏逝场耦合将检测的光强信号传输到远场进行光电探测，最终实现对目标样品形貌的分析成像，其样品宽度测量误差在7.28％以内。检测系统可实现对有源样品近场信息的探测。
基于复合探针被动式近场光学扫描显微系统检测

[发明专利]一种用于异质结层间电荷转移的近场光学表征方法-CN201911279865.5有效
发明人：戴庆;郭相东;杨晓霞;刘瑞娜;胡德波;胡海;吴晨晨;罗成 -专利权人：国家纳米科学中心
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本发明提供一种用于异质结层间电荷转移的近场光学表征方法，该方法可以在实空间上直接观测到电荷转移前后的光学图像，需要的观测器件衬底作为栅极，电介质层沉积在衬底上，TMD薄膜层(过渡金属二硫属化物Transition‑metal dichalcogenide，简称TMD)覆盖于电介质层上，石墨烯薄膜层覆盖于TMD薄膜层上形成石墨烯/TMD异质结。方法借助的表征仪器是散射式近场光学显微镜。本发明由于异质结堆叠制备好后，层间电荷是稳定的，转移很难观测到，这里设计借助可见光手段激发TMD中产生光电子，从而让光电子在异质结中间进行转移，结合s‑SNOM装置对石墨烯/TMD异质结进行实空间表征，最终可实现实空间成像方式观测到在异质结间光生电荷转移的效果，应用于光波导器件、光电探测器和光学记忆存储器件等。
一种用于异质结层间电荷转移近场光学表征方法

[发明专利]一种远红外探测器及近场显微镜-CN202010499983.3有效
发明人：向奎;王纪浩;黄秋萍;陆轻铀;陆亚林 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2020-06-04 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本申请公开了一种远红外探测器及近场显微镜，其中，远红外探测器采用石墨烯量子点作为探测元件，石墨烯量子点具有宽频谱光吸收、高电热导率、低电子‑声子耦合等有益特性，可以高效地探测太赫兹信号。此外远红外探测器将石墨烯量子点放置于针尖状结构的底面或靠近底面的侧面上，使得石墨烯量子点的探测效率具有极大的提高，可用于极微弱太赫兹信号的探测，甚至有望能够实现对太赫兹单光子的探测，并且可以极大的缩小整个远红外探测器以及近场显微镜的体积，使得具备远红外探测器的近场显微镜可以放置于十分狭小的空间中(比如低温强磁场环境中)。最后，远红外探测器在使用过程中仅需要固定针尖状结构即可，简化了太赫兹信号的探测流程。
一种红外探测器近场显微镜

[发明专利]基于光纤探针的反射式偏振调制近场扫描光学显微镜系统-CN201610536804.2有效
发明人：李敬;孟祥敏 -专利权人：中国科学院理化技术研究所
申请日： 2016-07-08 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于光纤探针的反射式偏振调制近场扫描光学显微镜系统，主要包括以下特征：基于保偏光纤、多端口保偏光纤耦合器的组合应用，可以从光纤探针入射光信号，并从该探针获得反射光信号，利用这种近场激发和近场收集的工作模式，实现了针对不透明样品的反射式的扫描近场成像。光弹调制器与锁相放大器联用，实现了对所调制光信号的锁相、放大，将锁相放大器获得到的相位信息输入到系统控制器能够进行偏振调制成像。本发明的优点在于，实现了不透明样品的扫描近场成像和偏振调制成像，提高了成像的信噪比和偏振灵敏度。
基于光纤探针反射偏振调制近场扫描光学显微镜系统

[发明专利]一种对接传样装置及光学系统-CN202110956472.4在审
发明人：龚忠苗;李浩;陈志敏;刘宏伟;崔义 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2021-08-19 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种对接传样装置，用以与真空型扫描近场光学显微镜对接并进行传样，该装置包括：转接腔体，与所述真空型扫描近场光学显微镜的真空腔连通，并可与所述真空腔一同被抽至真空；真空转移仓，与所述转接腔体相匹配，用于将样品从另一真空环境或气氛保护下转移至所述转接腔体内，并在样品转移至所述转接腔体后与所述转接腔体密封连接；传样杆，与所述转接腔体连接，所述传样杆的前端设置有用于抓取样品的抓取头，所述抓取头用于伸入所述转接腔体内，并在所述真空转移仓打开后抓取样品，并将样品转移至所述真空腔内的样品台上。本发明具有结构简单、操作方便、通用性强、成本低的优点。
一种对接装置光学系统

[实用新型]基于光纤的低温近场光学显微镜-CN202023185663.5有效
发明人：刘锐 -专利权人：仪晟科学仪器（嘉兴）有限公司
申请日： 2020-12-26 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于光纤的低温近场光学显微镜，用于测量样品，包括光学部分和扫描机械部分，光学部分包括光源、光纤耦合器、干涉臂、探测器和近场耦合结构，所述光源与所述光纤耦合器的第一入射端口固定连接，所述探测器与所述光纤耦合器的第二入射端口固定连接。本实用新型公开的一种基于光纤的低温近场光学显微镜，其不仅省去了光波束引导机构的调试校准工序，还避免了系统机械部件老化所带来的位置漂移影响，其具有更好的抗环境干扰能力、安装位置受实际安装环境影响小和能够更经济的达到1.2K、4K的超低温环境等优点。
基于光纤低温近场光学显微镜

[发明专利]扫描探针显微镜以及扫描探针显微镜的光轴调整方法-CN202110221010.8在审
发明人：山崎贤治 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2021-02-26 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本发明提供一种扫描探针显微镜以及扫描探针显微镜的光轴调整方法，防止激光的漫反射对扫描探针显微镜的激光的光轴调整的处理造成不好的影响。在基于摄像部拍摄到的图像确定出的激光的光斑的位置在使激光进行了移动的情况下预测出的方向上进行了移动的情况下，扫描探针显微镜的控制装置将确定出的光斑的位置作为初始位置。控制装置基于摄像部拍摄到的图像来确定发生漫反射的位置，以避开发生漫反射的位置的方式使光斑从初始位置移动到悬臂的顶端。
扫描探针显微镜以及光轴调整方法

[发明专利]一种太赫兹近场成像系统及方法-CN202010980153.2有效
发明人：胡旻;王月莹 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2020-09-17 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：一种太赫兹近场成像系统及方法，系统包括激光器，用于产生飞秒激光，飞秒激光经过分束镜分为入射光和检测光，入射光传输至入射单元，检测光传输至延时单元经延时后传输至光导开关并触发光导开关导通；入射单元，用于在入射光的激励下产生入射信号，入射信号激励金属探针产生局域场，局域场激励金属探针探测方向上的样品产生近场信号；金属探针，用于将近场信号耦合成电流信号，电流信号经金属探针、传输线、光导开关传输至后端处理单元；后端处理单元，用于接收和处理电流信号，得到样品表面的近场信息。本发明利用金属探针以电流的形式激发和提取样品表面的近场信号，不仅能够显著提高近场信号的信噪比和信号强度，并且大幅简化近场光路设计。
一种赫兹近场成像系统方法

[发明专利]基于调制自由电子的扫描近场光学显微镜-CN202010159163.X有效
发明人：胡旻;张天宇;张倬铖;王玥莹;张晓秋艳;许星星;吴振华;刘盛纲 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2020-03-09 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于调制自由电子的扫描近场光学显微镜，属于扫描近场光学显微镜。该显微镜包括电子枪、扫描近场光学显微镜，电子枪产生谐波形式的近场信号，该近场信号在样品处激发样品上的各阶近场信号和远场信号；探测器探测到被探针散射的各阶近场信号和远场信号，通过分离远场信号和近场信号，得到最终的扫描结果。本发明利用调制自由电子代替原有的外部光源，通过对自由电子进行调制，取代原有针尖振动所起的调制作用，提升信号转化效率、信噪比，同时因为不再需要针尖进行抖动，避免了因其抖动可能产生的近场信号和成像的不良影响，最终达到增强近场信号强度和近场成像质量的效果，具有深远的实用意义。
基于调制自由电子扫描近场光学显微镜

[发明专利]自由电子激发增强近场信号的扫描近场光学显微镜-CN201910726384.8有效
发明人：胡旻;张天宇;张倬铖;王玥莹;张晓秋艳;许星星;吴振华;龚森;赵陶;钟任斌;刘頔威;刘盛纲 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2019-08-07 - 公布日： 2021-05-04 - 主分类号： G01Q60/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种自由电子激发增强近场信号的扫描近场光学显微镜，属于扫描近场光学显微镜领域。本发明在现有扫描近场光学显微镜的基础之上，通过引入自由电子，在被测样品上产生表面近场，进而增强扫描近场光学显微镜近场信号及其成像质量。其实现将大幅提升红外太赫兹以及可见光等频段的微纳尺度结构的近场特性研究及其应用。
自由电子激发增强近场信号扫描光学显微镜

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