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[发明专利]一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统及长晶炉-CN202210063968.3在审
发明人：李辉;毛瑞川;毛洪英;丁柏松;苏闻峰 -专利权人：南京晶升装备股份有限公司
申请日： 2022-01-20 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统，包括螺旋形的感应线圈、承载感应线圈的底座。所述底座包括旋转固定座及覆盖于旋转固定座上的旋转支座；所述感应线圈安装在旋转支座上，旋转支座旋转带动感应线圈沿感应线圈的中轴线旋转；通过调控感应线圈的旋转周期和旋转角度来控制感应线圈的磁场分布，从而调整温度场的分布。
一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统

[发明专利]一种晶体称重装置-CN201811390172.9有效
发明人：李辉;王守琛;毛洪英;张熠;大卫·肯尼斯·李斯 -专利权人：南京晶升能源设备有限公司
申请日： 2018-11-21 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于大重量级蓝宝石晶体的长晶炉的晶体称重装置。由于现有的蓝宝石长晶炉，普遍是将晶体称重装置安放于真空腔外,而与水冷式籽晶转轴分离，其密封设计比较简单，但称重误差明显。真空腔内外压力变化使水冷式籽晶转轴及称重传感器受额外的随机的压差载荷，导致晶体称重出现随机的不可控误差。本发明即为解决此难题，将晶体称重装置安放于真空腔内，即与长晶真空腔室直接连通，以彻底消除真空腔内外的随机压差载荷对晶体称重影响，且此装置带有循环冷却水系统，通过合理设计动态密封的循环冷却水系统，避免意外泄漏而污染真空腔。
一种晶体称重装置

[发明专利]一种半导体硅材料晶体生长的图像识别控制方法-CN201911354459.0有效
发明人：李辉;张熠;穆童;秦英谡;毛洪英 -专利权人：南京晶升能源设备有限公司
申请日： 2019-12-25 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： C30B15/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体硅材料晶体生长的图像识别控制方法，在坩埚上方设有三个摄像机，以计算机测量图像中固相硅的面积，通过摄像机及计算机实时测量液面状况，当发现液面出现液态和固态的变动就会给PLC发出信号，让PLC判断液面熔化情况和晶体结晶，当熔化完成，自动切换到生长状态，当生长完成，自动切换至退火状态，完全不用人工介入，避免由于人工介入误操作引起的良率损失。本发明能够直接准确测量晶体熔化速度和晶体结晶速度，提供硅材料生长过程中的数据，真正实现全工艺过程自动化进行。
一种半导体材料晶体生长图像识别控制方法

[发明专利]蓝宝石单晶炉称重检测系统、传感器滤波方法及切换方法-CN201611164537.7有效
发明人：李辉;潘清跃;江世成;毛洪英;宁斯琴;王维川 -专利权人：南京晶升能源设备有限公司
申请日： 2016-12-16 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： C30B17/00 文献下载
摘要：本发明公开一种蓝宝石单晶炉称重检测系统实现方法，包括A称重传感器、B称重传感器、A信号放大器、B信号放大器、PLC、工控机，B称重传感器的量程大于A称重传感器，A称重传感的精度高于B称重传感器。采用递推平均滤波法和加权滤波法处理A称重量和B称重量，得到灵敏度和平滑度较好的重量曲线。同时晶体重量切换时采用无扰切换，得到连续平滑的晶体重量曲线。
蓝宝石单晶炉称重检测系统传感器滤波方法切换

[发明专利]蓝宝石炉自动引晶控制系统和单晶炉引晶控制方法-CN201610785237.4有效
发明人：李辉;毛洪英;江世成;宁斯琴;樊传宁 -专利权人：南京晶升能源设备有限公司
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2019-03-26 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：本发明公开一种蓝宝石炉自动引晶控制系统和单晶炉引晶控制方法，其中控制系统包括称重传感器，信号放大器，摄像头，变焦镜头，图像采集卡，计算机，PLC，步进驱动器和步进电机，变焦镜头安装在摄像头上，摄像头设置于蓝宝石炉的观察窗口上并指向引晶位置，摄像头与图像采集卡连接，图像采集卡与计算机相互连接，计算机连接至PLC，称重传感器与信号放大器连接，信号放大器与PLC之间连接，PLC与步进驱动器之间连接，步进驱动器与步进电机之间连接。
蓝宝石自动控制系统单晶炉引晶控制方法

[实用新型]一种蓝宝石炉提拉控制系统-CN201721637923.3有效
发明人：李辉;大卫·肯尼斯·李斯;江世成;毛洪英 -专利权人：南京晶升能源设备有限公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2018-07-06 - 主分类号： C30B17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种蓝宝石炉提拉控制系统，包括西门子CPU，步进控制功能模块，步进驱动器，步进电机，工控机。西门子CPU用于控制程序运行，步进控制功能模块用于控制脉冲和方向输出，步进驱动器用于驱动步进电机，步进电机为执行机构，工控机用于界面操作显示。工控机通过网线和西门子CPU连接，西门子CPU通过U型连接器与步进控制功能模块连接，步进控制功能模块通过电线与步进驱动器连接，步进电机接在步进驱动器上。
控制功能模块步进驱动器步进步进电机工控机控制系统蓝宝石提拉控制程序驱动步进电机本实用新型界面操作控制脉冲网线电线输出

[实用新型]蓝宝石炉集中监控系统-CN201720152428.7有效
发明人：李辉;大卫·肯尼斯·李斯;江世成;毛洪英;宁斯琴 -专利权人：南京晶升能源设备有限公司
申请日： 2017-02-20 - 公布日： 2017-09-12 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本实用新型公开一种蓝宝石炉集中监控系统，包括现场CPU，现场工控机，48接口交换机，监控计算机；现场CPU用于现场单台蓝宝石炉数据输出，现场工控机用于现场单台蓝宝石炉控制操作，48接口交换机用于汇集现场进入的网线，48接口交换机通过网线与现场CPU连接，监控计算机与48接口交换机连接。本监控系统能够帮助管理人员和生产调度员快速了解现场设备的运行状态、运行时间或停机时间等关键参数，方便数据统计和安排生产调度等工作。
蓝宝石集中监控系统

[实用新型]蓝宝石单晶炉的电气控制系统-CN201621007834.6有效
发明人： 毛洪英;江世成;樊传宁 -专利权人：南京晶升能源设备有限公司
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2017-08-18 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：本实用新型公开一种蓝宝石单晶炉的电气控制系统，其特征在于包括显示器、中央处理单元、影像采集系统、输入/输出控制模块和电源系统；所述中央处理单元包括通讯模块、计算机和可编程控制器；所述显示器、影像采集系统和电源系统通过中央处理单元相连；所述的可编程控制器与输入/输出控制模块相连，输入/输出控制模块包括运动控制模块、蓝宝石晶体生长速度控制模块。
蓝宝石单晶炉电气控制系统

[实用新型]设置于长晶炉观察孔的摄像装置-CN201620227318.8有效
发明人：宁斯琴;张洪涛;毛瑞川;毛洪英;李洪风 -专利权人：南京晶升能源设备有限公司
申请日： 2016-03-23 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种设置于长晶炉观察孔的摄像装置，包括摄像头支架、隔热玻璃、摄像头、遮光片、CCD镜头、CCD相机及相机调节机构，所述摄像头设置于摄像头支架上，所述隔热玻璃和遮光片均设置于所述摄像头与所述长晶炉观察孔之间，相机调节机构安装在摄像头支架上，以微调所述摄像头的指向。本实用新型的设置于长晶炉观察孔的摄像装置可以通过实时监控上炉盖上的观测孔反映炉内状况，实现远程控制长晶，通过隔热玻璃的设计可以防止摄像头因温度过高而损坏。
置于长晶炉观察摄像装置

[发明专利]85kg至120kg蓝宝石晶体生长自动化控制方法-CN201310731033.9有效
发明人：李辉;王辉辉;姜宏伟;毛洪英 -专利权人：南京晶升能源设备有限公司
申请日： 2013-12-26 - 公布日： 2014-04-09 - 主分类号： C30B17/00 文献下载
摘要：本发明公开了85kg至120kg蓝宝石晶体生长自动化控制方法，包括蓝宝石晶体引晶步骤，在单晶炉内设置用于测量晶体重量的电子称重器，电子称重器将重量信号发送到PLC控制系统，蓝宝石晶体引晶完毕后，PLC根据晶体重量判断晶体生长过程中所处阶段，调出对应阶段的工艺参数包，通过PID调节；当电子称重器测量晶体净重超过3kg～5kg后，PLC调整温度降幅，控制蓝宝石晶体等径生长；当电子称重器测量测量晶体重量超过45kg～70kg后，PLC调整温度降幅控制蓝宝石晶体生长收尾；当PLC计算加热器功率降幅超过15%～20%后，自动转入到冷却充气阶段，完成脱锅，结束生长。
85 kg 120 蓝宝石晶体生长自动化控制方法

[实用新型]一种用于蓝宝石单晶炉的籽晶装置-CN201220493985.2有效
发明人：闫杰;李辉;毛洪英;姜宏伟 -专利权人：南京晶升能源设备有限公司
申请日： 2012-09-26 - 公布日： 2013-05-22 - 主分类号： C30B17/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于蓝宝石单晶炉的籽晶装置，包括钨杆、籽晶夹头和籽晶，其中：钨杆与籽晶夹头设有对应的定位孔，钨杆下端通过螺纹与籽晶夹头连接后，通过贯穿钨杆和籽晶夹头定位孔的固定钨丝定位；籽晶夹头与籽晶装配区的一面为开口面，籽晶夹头内部为梯形燕尾槽，籽晶上端为梯形结构，籽晶上端由开口面嵌入籽晶夹头梯形燕尾槽中，并通过捆扎钨丝将它们固定连接。
一种用于蓝宝石单晶炉籽晶装置

[实用新型]蓝宝石单晶炉的称重机构-CN201220494036.6有效
发明人：李荣林;闫杰;毛洪英;姜宏伟;毛瑞川;茅旭凌 -专利权人：南京晶升能源设备有限公司
申请日： 2012-09-26 - 公布日： 2013-05-22 - 主分类号： C30B17/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于蓝宝石单晶炉的称重机构，称重负载板配有称重轴承座，称重负载板的下表面设有三个均布在同心圆周上的支撑槽口，承载旋转轴穿过称重轴承座，并通过调心滚子轴承和滚针轴承定位于称重轴承座中；称重支撑底板中心设有贯穿孔，贯穿孔周边均匀分布一个称重辅助支柱和两个称重传感器，它们通过螺栓固定安装在称重支撑底板上，两个不同量程的传感器，称重辅助支柱和小量程称重传感器均配有小量程称重支点，大量程称重传感器配有大量程称重支点；安装在称重负载板上的承载旋转轴穿过称重支撑底板中心的贯穿孔，设在称重支撑底板上的三个称重支点分别与称重负载板下表面的三个均布的支撑槽口配合接触。
蓝宝石单晶炉称重机构

[发明专利]蓝宝石单晶炉的称重机构-CN201210361792.6有效
发明人：李荣林;闫杰;毛洪英;姜宏伟;毛瑞川;茅旭凌 -专利权人：南京晶升能源设备有限公司
申请日： 2012-09-26 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： C30B17/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于蓝宝石单晶炉的称重机构，称重负载板配有称重轴承座，称重负载板的下表面设有三个均布在同心圆周上的支撑槽口，承载旋转轴穿过称重轴承座，并通过调心滚子轴承和滚针轴承定位于称重轴承座中；称重支撑底板中心设有贯穿孔，贯穿孔周边均匀分布一个称重辅助支柱和两个称重传感器，它们通过螺栓固定安装在称重支撑底板上，两个不同量程的传感器，称重辅助支柱和小量程称重传感器均配有小量程称重支点，大量程称重传感器配有大量程称重支点；安装在称重负载板上的承载旋转轴穿过称重支撑底板中心的贯穿孔，设在称重支撑底板上的三个称重支点分别与称重负载板下表面的三个均布的支撑槽口配合接触。
蓝宝石单晶炉称重机构

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