“段英丽”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果24个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种声表面波滤波器气密性晶圆级封装方法及封装制品-CN202211103954.6在审
发明人：王君;孟腾飞;陈晓阳;于海洋;倪烨;袁燕;张倩;冯志博;段英丽;时鹏程;李湃;徐浩 -专利权人：北京航天微电科技有限公司
申请日： 2022-09-09 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H03H9/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种声表面波滤波器气密性晶圆级封装方法，包括以下步骤：S1.在芯片晶圆表面制备叉指图层，形成SAW芯片晶圆；S2.在所述SAW芯片晶圆的所述叉指图层表面制作晶圆键合图形，形成芯片晶圆键合层；S3.在封装晶圆表面开盲孔并进行所述盲孔填充；S4.在所述封装晶圆表面进行金属平坦化以去掉多余金属；S5.在所述封装晶圆表面制作晶圆键合图形，形成封装晶圆键合层；S6.将所述芯片晶圆和所述封装晶圆通过晶圆键合工艺结合为一体；S7.对键合好的封装晶圆进行减薄抛光，露出所述封装晶圆中的所述盲孔部分形成互联的通孔。本发明不但能避免芯片表面图形受到损伤，且能保证封装制品的气密性。
一种表面波滤波器气密性晶圆级封装方法制品

[实用新型]一种电子束蒸发台坩埚-CN202223093046.1有效
发明人：王锴;冯志博;孟腾飞;周培根;陈瑞;袁燕;李希雯;段英丽;李湃;时鹏程;常子硕;遆鹏;李宏雷 -专利权人：北京航天微电科技有限公司
申请日： 2022-11-21 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种电子束蒸发台坩埚，包括坩埚本体、挡板组件、连接组件和盖板组件；所述坩埚本体具有一蒸发腔，所述挡板组件间隙设置于所述蒸发腔内，所述坩埚本体上设置有所述盖板组件，且所述盖板组件位于所述蒸发腔上端部，所述盖板组件和所述挡板组件之间通过所述连接组件可拆卸连接。本实用新型利于快速清理沉积金属层，减少水气的影响，提高良品率。
一种电子束蒸发坩埚

[发明专利]一种针对KrF光刻剥离工艺的双层胶剥离方法-CN202211183990.8在审
发明人： 段英丽;于海洋;孟腾飞;吴兵;袁燕;张倩;冯志博;倪烨;王君;时鹏程 -专利权人：北京航天微电科技有限公司
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明属于半导体制造领域及声表面波滤波器工艺及制造技术领域，具体涉及一种针对KrF光刻剥离工艺的双层胶剥离方法，其包括以下步骤：S1:晶圆清洗，对压电基片进行清洗甩干；S2：旋涂底层的第一层正性光刻胶；S3：烘烤，对第一层光刻胶进行固化；S4:旋涂顶层的第二层正性光刻胶；S5：烘烤，对第二层光刻胶进行固化；S6：曝光，使用KrF投影式光刻机对晶圆进行曝光；S7：烘烤；S8：显影；S9：镀金属膜，使用电子束蒸发台进行金属膜的制备；S10：使用剥离液进行剥离；S11：制作得到高频SAW器件金属图形。本发明通过两层正性光刻胶实现光刻剥离工艺，解决了KrF光刻胶剥离难的问题，可实现更细线条的高频SAW器件金属线条制作。
一种针对 krf 光刻剥离工艺双层方法

[发明专利]一种底电极激发式声表面波器件制备方法-CN202211053474.3在审
发明人：于海洋;卞玉柱;袁燕;段英丽;时鹏程;冯志博;孟腾飞 -专利权人：北京航天微电科技有限公司
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： H03H3/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种底电极激发式声表面波器件制备方法，包括以下步骤：S1.对压电晶圆预处理，在所述压电晶圆上光刻定义电极引出用导通孔的位置；S2.在所述压电晶圆上制备所述导通孔，并在所述导通孔内进行种子层溅射后，在所述导通孔内进行电镀填充；S3.对所述压电晶圆表面进行抛光，并进行表面修平；S4.在所述压电晶圆上套刻图形，使其所述图形与所述导通孔重合，所述图形包括电极结构和叉指换能器结构；S5.在所述压电晶圆上表面沉淀绝缘层；S6.将所述压电晶圆与衬底晶圆进行表面预处理，增加其活性后采用常温晶圆直接键合的方式进行键合。本发明用于制备声表面波器件，减少声表面波器件受到外部环境的影响，提高声表面器件的高集成化需求。
一种电极激发表面波器件制备方法

[实用新型]一种用于器件沉积介质薄膜的夹具-CN202221323014.3有效
发明人：袁燕;孟腾飞;于海洋;陈瑞;闫彬;倪烨;张倩;王君;段英丽;冯志博;时鹏程;吴兵;李湃;何志新;常子硕 -专利权人：北京航天微电科技有限公司
申请日： 2022-05-30 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于器件沉积介质薄膜的夹具，包括夹具上层、夹具中层以及夹具下层，夹具中层可拆卸安装在夹具下层上；夹具中层背离夹具下层的一侧面上开设有用于放置器件的装配槽，装配槽中部开设有用于器件插脚通过的第一通孔，夹具中层与夹具下层之间预留有容纳器件插脚的间隔；夹具上层开设有用于器件的本体通过的第二通孔，第二通孔的尺寸小于装配槽的尺寸。本实用新型能够将器件放置在装配槽中，并使器件插脚从第一通孔穿过并置于夹具中层和夹具下层之间，然后再通过夹具上层盖在夹具中层上，将器件周侧边沿不需要沉积介质薄膜的部位遮挡住，可利用真空镀膜设备实现单个或多个带有插脚的器件的夹持和薄膜沉积。
一种用于器件沉积介质薄膜夹具

[发明专利]温度补偿滤波器的制备方法、温度补偿滤波器和电子设备-CN202210341696.9在审
发明人：袁燕;于海洋;孟腾飞;闫彬;倪烨;张倩;王君;段英丽;冯志博;胡扬端瑞;时鹏程;徐浩;陈瑞 -专利权人：北京航天微电科技有限公司
申请日： 2022-03-29 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： H03H3/10 文献下载
摘要：本发明涉及温度补偿滤波器技术领域，尤其涉及一种温度补偿滤波器的制备方法、温度补偿滤波器和电子设备，制备方法包括：利用光刻工艺，在基片上制备第一金属薄膜，并剥离光刻工艺中所用的光刻胶；通过套刻工艺，在第一金属薄膜的部分区域上制备第二金属薄膜，并剥离套刻工艺中所用的光刻胶；利用磁控溅射设备在第一金属薄膜和第二金属薄膜上制备温补薄膜，去除第二金属薄膜以及第二金属薄膜上的部分温补薄膜，得到温度补偿滤波器。避免了因携带光刻胶进入磁控溅射设备的真空腔室镀膜所导致的污染。而且，能够避免干法刻蚀和湿法刻蚀带来的不利影响。
温度补偿滤波器制备方法电子设备

[发明专利]一种薄膜体声波谐振器、制备方法和薄膜体声波滤波器-CN202111267917.4在审
发明人：于海洋;张恒;易宇;倪烨;袁燕;张智欣;闫鑫;陈长娥;段英丽;时鹏程;陈晓阳 -专利权人：北京航天微电科技有限公司
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本发明涉及一种薄膜体声波谐振器、制备方法和薄膜体声波滤波器，薄膜体声波谐振器包括：依次层叠设置的图形化后的第二电极层、图形化后的压电层、图形化后的第一电极层和衬底；衬底上布设多个散热盲孔，每个散热盲孔内填充有导热散热材料，并在每个散热盲孔内的导热散热材料的上方填充高阻材料，形成全反射结构，图形化后的第一电极层覆设在所有散热盲孔的开口上。在衬底上进行全反射结构的制备，并在每个散热盲孔内填充导热散热材料和高阻材料，使本申请的一种薄膜体声波谐振器，在维持原本高Q值的同时，还解决传统薄膜体声波谐振器因导散热能力不足而产生的温度影响，且结构可靠性强，利于集成，制备工艺简单。
一种薄膜声波谐振器制备方法滤波器

[发明专利]一种温度补偿滤波器的制备方法及温度补偿滤波器-CN202111151375.4在审
发明人：袁燕;边旭明;孟腾飞;徐浩;陈晓阳;陈瑞;史向龙;胡扬端瑞;于海洋;倪烨;段英丽;张倩;王君;时鹏程;闫彬;曹玉 -专利权人：北京航天微电科技有限公司
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： H03H3/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种微电子技术领域，具体涉及一种温度补偿滤波器的制备方法，包括在基片上镀键合区金属层，以及对所述键合区金属层以外的区域套刻光刻胶的步骤；还包括在所述键合区金属层上镀加厚金属层；剥离所述套刻的光刻胶；在所述加厚金属层以及其他区域上溅射温补膜；对所述温补膜进行平坦化处理，使所述加厚金属层暴露于所述温补膜之外。
一种温度补偿滤波器制备方法

[实用新型]一种双面电容型湿度传感器-CN202121484548.X有效
发明人：张倩;魏家贵;林树超;徐浩;倪烨;于海洋;袁燕;段英丽;胡杨端瑞;王君;张同 -专利权人：北京航天微电科技有限公司
申请日： 2021-07-01 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种双面电容型湿度传感器，属于传感器技术领域。本双面电容型湿度传感器，包括基片、第一电极层、第一感湿层、第二电极层和第二感湿层；所述第一电极层和所述第二电极层分别与所述基片的两面连接，所述第一感湿层覆盖在所述第一电极层上，所述第二感湿层覆盖在所述第二电极层上。本双面电容型湿度传感器可双面湿度检测，能够更全面的对待测环境进行湿度检测，提高感湿效率。
一种双面电容湿度传感器

[发明专利]一种SAW滤波器的芯片级气密性封装工艺-CN202110818713.9在审
发明人：倪烨;陈晓阳;孟腾飞;徐浩;于海洋;袁燕;张倩;王君;胡杨端瑞;段英丽;张同 -专利权人：北京航天微电科技有限公司
申请日： 2021-07-20 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种SAW滤波器的芯片级气密性封装工艺，包括：在晶圆的SAW滤波器的金属电极图形区域，分别设置金属凸点，得到键合晶圆；将具有金属凸点的SAW滤波器晶圆切割及分片；将带有金属凸点的SAW滤波器芯片倒置于封装基板上，并使金属凸点的位置与封装基板金属电极的位置对应；将金属凸点焊接在封装基板上；用聚合物薄膜在SAW滤波器芯片表面贴膜，贴膜后固化；切割去除封装基板划道上的聚合物薄膜。划片切割。优点：能够对芯片边缘形成很好的包裹；不易断裂，能够与芯片和基板粘合不脱落；同时在到达某一温度后能够固化，保持之前的形变，且在恢复室温后依然保持固化后的状态；具有不导电性；能有效阻挡外部水汽进入芯片和基板间的空腔。
一种 saw 滤波器芯片级气密性封装工艺

[发明专利]一种双面电容型湿度传感器及其制备方法-CN202110743766.9在审
发明人：张倩;魏家贵;林树超;徐浩;倪烨;于海洋;袁燕;段英丽;胡杨端瑞;王君;张同 -专利权人：北京航天微电科技有限公司
申请日： 2021-07-01 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种双面电容型湿度传感器及其制备方法，属于传感器技术领域。本双面电容型湿度传感器，包括基片、第一电极层、第一感湿层、第二电极层和第二感湿层；所述第一电极层和所述第二电极层分别与所述基片的两面连接，所述第一感湿层覆盖在所述第一电极层上，所述第二感湿层覆盖在所述第二电极层上。本发明还提供上述双面电容型湿度传感器的制备方法。本双面电容型湿度传感器可双面湿度检测，能够更全面的对待测环境进行湿度检测，提高感湿效率。
一种双面电容湿度传感器及其制备方法

[实用新型]一种钢筋马凳-CN201920727695.1有效
发明人：王志勇;赵忠华;段英丽;刘强;蔡建桢;李晓强;陈彬;李忠建;毛唯一;江鑫;曾驰;朱文武;曹羚玲;唐亚男;赵洋洋;樊建伟;侯宇;路赞赞;张盼盼 -专利权人：中铁十六局集团城市建设发展有限公司;中铁十六局集团有限公司
申请日： 2019-05-21 - 公布日： 2020-04-24 - 主分类号： E04C5/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种钢筋马凳，包括通丝螺杆，所述通丝螺杆的顶端与梅花形手柄螺纹连接，所述通丝螺杆的中部与塑料卡扣螺帽螺纹连接，所述通丝螺杆的底端与加长螺帽螺纹连接，所述加长螺帽的外壁与至少三个钢筋托架的中部焊接连接，所述钢筋托架沿加长螺帽周向均匀分布，所述钢筋托架为弯折成几字形的钢筋。本实用新型的钢筋马凳构造简单，成本低廉，尤其适合工厂化批量生产；现场安装简便，支撑稳固，精准可靠，可将钢筋保护层厚度精确到毫米，能满足不同板厚的使用，通用性强，主要部件可周转利用。
一种钢筋

[实用新型]一种控制剪力墙水平接茬质量的加固工具-CN201920787476.2有效
发明人：王志勇;赵忠华;段英丽;刘强;蔡建桢;陈彬;李忠建;毛唯一;江鑫;曾驰;朱文武;曹羚玲;唐亚男;赵洋洋;樊建伟;侯宇;路赞赞;张盼盼 -专利权人：中铁十六局集团城市建设发展有限公司;中铁十六局集团有限公司
申请日： 2019-05-29 - 公布日： 2020-04-24 - 主分类号： E04G17/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种控制剪力墙水平接茬质量的加固工具，包括锥形螺帽，锥形螺帽可拆卸连接有工具螺栓或紧固螺栓，紧固螺栓与锁紧器相连接，工具螺栓用于固定锥形螺帽，工具螺栓置于外模板外侧，锥形螺帽通过工具螺栓紧固于外模板内侧，锁紧器包括一平板，平板上设有螺栓孔，平板垂直连接有一固定板，固定板上设有圆弧槽，螺栓孔连接紧固螺栓，固定板上圆弧槽在主龙骨上。本实用新型的有益效果为：加固工具制作简单，受力可靠，现场装卸方便快捷，固定系统安全稳固，能够多次重复使用，极大的降低了高空作业的难度及工人劳动强度，简化施工工序，缩减人工投入，实现降低成本、提高工效，加快施工进度，具有良好的推广价值。
一种控制剪力水平接茬质量加固工具

[发明专利]一种版图设计规则的优化方法及系统-CN201610398580.3有效
发明人：苏晓菁;陈颖;段英丽;韦亚一 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2016-06-07 - 公布日： 2019-10-15 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明提供一种版图设计规则的优化方法，针对先进技术节点的研发，通过将初始版图拆分出关键图形，以关键图形作为后续仿真优化的版图，在优化时，通过光源掩模协同优化仿真确定合理的光源和配套掩模版以及优化后的光刻光学模型，而后在该光刻光学模型下对优化的光源和掩模版的可制造性进行仿真，并根据可制造性仿真的热点输出，进行设计规则的优化，通过反复迭代获得优化的设计规则。在该优化过程中，针对关键图形版图进行优化，可行性强且优化效率高，而且是通过设计规则的调整，这样一方面可以减少版图仿真过程中迭代的次数，提高优化效率，另一方面可以获得更为优化的设计规则，简化设计过程并缩短设计周期。
一种版图设计规则优化方法系统

[发明专利]一种控制剪力墙水平接茬质量的加固工具及其施工方法-CN201910455095.9在审
发明人：王志勇;赵忠华;段英丽;刘强;蔡建桢;陈彬;李忠建;毛唯一;江鑫;曾驰;朱文武;曹羚玲;唐亚男;赵洋洋;樊建伟;侯宇;路赞赞;张盼盼 -专利权人：中铁十六局集团城市建设发展有限公司;中铁十六局集团有限公司
申请日： 2019-05-29 - 公布日： 2019-08-20 - 主分类号： E04G17/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种控制剪力墙水平接茬质量的加固工具，包括锥形螺帽，锥形螺帽可拆卸连接有工具螺栓或紧固螺栓，紧固螺栓与锁紧器相连接，工具螺栓用于固定锥形螺帽，工具螺栓置于外模板外侧，锥形螺帽通过工具螺栓紧固于外模板内侧，锁紧器包括一平板，平板上设有螺栓孔，平板垂直连接有一固定板，固定板上设有圆弧槽，螺栓孔连接紧固螺栓，固定板上圆弧槽在主龙骨上，本发明还公开了其施工方法。本发明的有益效果为：加固工具制作简单，受力可靠，现场装卸方便快捷，固定系统安全稳固，能够多次重复使用，极大的降低了高空作业的难度及工人劳动强度，简化施工工序，缩减人工投入，实现降低成本、提高工效，加快施工进度，具有良好的推广价值。
螺栓紧固螺栓锥形螺帽固定板剪力墙螺栓孔锁紧器外模板高空作业螺帽可拆卸连接垂直连接多次重复工具制作固定系统固定锥形上圆弧槽施工工序施工进度现场装卸圆弧槽主龙骨紧固施工受力稳固安全

1
2
下一页»
尾页
共 24 条