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[实用新型]温控液箱、液冷温控装置及光刻设备-CN202222888240.2有效
发明人： 楚传鹏 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体技术领域，提供了一种温控液箱、液冷温控装置及光刻设备，所述温控液箱包括：箱体；所述箱体的内腔分区至少形成换热区和稳温区；所述换热区用于承接回流至所述箱体内的冷却液，并使回流的所述冷却液在所述换热区内进行热交换；所述稳温区与所述换热区通过稳液通道连通，所述稳温区被配置为：在所述换热区内完成热交换的所述冷却液向所述稳温区流动进行稳温。本实用新型的箱体采用分区式结构，箱体内腔分隔为换热区和稳温区，使得箱体不仅仅只具有储液功能，还兼具了温控单元的安装功能，该布局方案一方面增大了箱体布局空间，扩大箱体容积、强化稳温效果。
温控装置光刻设备

[发明专利]光刻设备、测量系统、安装装置及安装装置的控温方法-CN202110219940.X在审
发明人： 楚传鹏;张楠 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-02-26 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种光刻设备、测量系统、安装装置及安装装置的控温方法，应用于光刻设备技术领域。具体的，本发明提供了一种新型的安装装置，其不仅可以实现将平面光栅安装在光刻设备的主基板上，同时还可以对所述安装装置进行实时温度控制，从而避免了由于安装装置局部温升过高，导致平面光栅表面变形，降低测量系统的测量精度的问题。同时，在本发明提供的安装装置中，由于安装装置为由多个部件堆叠而成的立体结构，而其每个部件的材料选取范围较广，且多为常规材料，从而缩短了测量系统中安装装置的加工周期、降低了加工成本和对运输条件的要求。
光刻设备测量系统安装装置方法

[实用新型]光刻设备、测量系统和安装装置-CN202120428590.3有效
发明人： 楚传鹏;张楠 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-02-26 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种光刻设备、测量系统和安装装置，应用于光刻设备技术领域。具体的，本实用新型提供了一种新型的安装装置，其不仅可以实现将平面光栅安装在光刻设备的主基板上，同时还可以对所述安装装置进行实时温度控制，从而避免了由于安装装置局部温升过高，导致平面光栅表面变形，降低测量系统的测量精度的问题。同时，在本实用新型提供的安装装置中，由于安装装置为由多个部件堆叠而成的立体结构，而其每个部件的材料选取范围较广，且多为常规材料，从而缩短了测量系统中安装装置的加工周期、降低了加工成本和对运输条件的要求。
光刻设备测量系统安装装置

[实用新型]一种冷却结构、主基板冷却装置及光刻机-CN201821616236.8有效
发明人： 楚传鹏;杨志斌;宋兴龙 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2018-09-30 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种冷却结构、主基板冷却装置及光刻机，所述冷却结构包括设置在所述主基板内部的供循环冷却液通过的冷却通道，所述连续管道在所述主基板内的路径分为上下两层且形状相同，所述循环冷却液在两层管道中的流动方向相反。所述主基板的冷却装置包括：温度控制单元、主基板以及连接两者的分流块和集流块，所述循环冷却液从所述温度控制单元的第二出水口经所述分流块进入所述第一进水口，流经所述冷却通道后，从所述第一出水口经所述集流块回流到所述温度控制单元。所述光刻机包括主基板、框架、减振器、物镜和测量分系统。本实用新型解决了现有英瓦合金材质主基板制造成本高、周期长的问题，同时，保证了光刻机精度。
主基板光刻机温度控制单元循环冷却液冷却结构冷却装置本实用新型冷却通道出水口分流块流动方向相反测量分系统连续管道上下两层制造成本减振器进水口瓦合金两层物镜保证

[发明专利]基于舵机驱动的高压输电巡线及作业机器人手臂-CN201510827715.9有效
发明人：许金凯;楚传鹏;王永刚;于化东;韩冬;金珈成;尹维崴;谢蓓敏;韩春城;钱春贺 -专利权人：长春理工大学;国网吉林省电力有限公司检修公司;国家电网公司
申请日： 2015-11-25 - 公布日： 2017-07-18 - 主分类号： B25J9/12 文献下载
摘要：基于舵机驱动的高压输电巡线及作业机器人手臂属于特种机器人技术领域，目的在于解决现有技术存在的重心不稳、稳定性低、结构复杂和控制麻烦的问题。本发明的基于舵机驱动的高压输电巡线及作业机器人手臂的大臂为壳体结构，小臂为双板结构，大臂一端通过精密旋转轴系驱动机构与肩部连接，另一端内接在小臂的一端形成肘部，小臂的另一端外接在手腕上，手腕的另一端与手掌的一段通过转轴A连接，两个手指安装在手掌另一端的两侧，相对的两个手指内侧分别通过转轴B和一个行走轮连接；分别通过一组送礼驱动装置驱动小臂相对大臂做俯仰运动，手腕相对小臂做俯仰运动，手掌相对于手腕做旋转运动，两个手指相对于手掌做开合运动，行走轮相对手指转动。
基于舵机驱动高压输电作业机器人手臂

[实用新型]基于舵机驱动的高压输电巡线及作业机器人手臂-CN201520948707.5有效
发明人：于占江;齐云;许金凯;于化东;楚传鹏;杨健 -专利权人：长春理工大学
申请日： 2015-11-25 - 公布日： 2016-04-27 - 主分类号： B25J11/00 文献下载
摘要：基于舵机驱动的高压输电巡线及作业机器人手臂属于特种机器人技术领域，目的在于解决现有技术存在的重心不稳、稳定性低、结构复杂和控制麻烦的问题。本实用新型的基于舵机驱动的高压输电巡线及作业机器人手臂的大臂为壳体结构，小臂为双板结构，大臂一端通过精密旋转轴系驱动机构与肩部连接，另一端内接小臂的一端形成肘部，小臂的另一端外接在手腕上，手腕的另一端与手掌的一段通过转轴A连接，两个手指安装在手掌另一端的两侧，相对的两个手指内侧分别通过转轴B和一个行走轮连接；分别通过一组送礼驱动装置驱动小臂相对大臂做俯仰运动，手腕相对小臂做俯仰运动，手掌相对于手腕做旋转运动，两个手指相对于手掌做开合运动，行走轮相对手指转动。
基于舵机驱动高压输电作业机器人手臂