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[发明专利]挤压装置、光刻胶供应系统以及光刻胶供应方法-CN202010396944.0有效
发明人： 李生骄;董佳仁 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2020-05-12 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种挤压装置、光刻胶供应系统以及光刻胶供应方法，挤压装置包括：底座，底座用于承载放置光刻胶瓶；支撑轨道，支撑轨道竖直设置在底座上；挤压结构，挤压结构的端部可移动的设置在支撑轨道上，以使挤压结构沿支撑轨道的轨道方向上下移动；驱动模块，驱动模块用于驱动挤压结构以使挤压结构发生形变，使挤压结构围成的区域面积减小，且还用于驱动发生形变后的挤压结构以使挤压结构沿支撑轨道的轨道方向上下移动。通过挤压装置挤压光刻胶瓶，从而提高光刻胶瓶中光刻胶的利用率。
挤压装置光刻供应系统以及方法

[发明专利]一种光阻收集杯清洗装置-CN202210864605.X在审
发明人： 李生骄;陈婉争 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2022-07-21 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： B08B9/34 文献下载
摘要：本发明涉及半导体领域，公开一种光阻收集杯清洗装置。光阻收集杯清洗装置包括：涂胶腔室、第一刮除机构、排废管，第二刮除机构、第一驱动机构和第二驱动机构；第一刮除机构位于涂胶腔室内；第一驱动机构与第一刮除机构传动连接，用于驱动第一刮除机构相对涂胶腔室的内侧壁运动，以刮除内侧壁上的残留物；排废管设置于涂胶腔室的底部，第二刮除机构位于排废管内；第二驱动机构与第二刮除机构传动连接，用于驱动第二刮除机构相对排废管的管壁运动，以刮除管壁上的残留物。大大缩短了清洗时间且清洗的较为彻底，在一定程度上降低了清洗频率。
一种收集清洗装置

[发明专利]一种加热装置-CN201911135332.X在审
发明人： 李生骄 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2019-11-19 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明实施例涉及半导体制造领域，公开了一种加热装置，所述加热装置包括：用于加热待加热物的第一腔室、与所述第一腔室围设成封闭空间的封闭罩、与所述封闭罩连通的抽气结构，所述封闭罩上设有多个抽气孔，所述抽气结构用于经由所述多个抽气孔抽取所述第一腔室内的气体。本发明提供的加热装置能够减少腔室内的残留物，提高产品良率。
一种加热装置

[发明专利]清洁装置及半导体设备-CN201811336243.7在审
发明人： 李生骄;董佳仁 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2018-11-09 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： B08B9/047 文献下载
摘要：本发明提供一种清洁装置及半导体设备。半导体设备包括制程腔室、支路排气管路及清洁装置；制程腔室上设置有排气口；支路排气管路一端与制程腔室的排气口相连通；清洁装置用于对支路排气管路进行清洁作业，清洁装置与支路排气管路远离排气口的一端相邻设置，其中，毛刷朝向支路排气管路，通过伸缩杆的伸缩带动毛刷在支路排气管路内移动以对支路排气管路的不同位置进行清洁作业。本发明的清洁装置和半导体设备可以有效避免支路排气管路上的溶剂颗粒残留，可以减少设备停机时间，有助于生产良率和设备产出率的提高。
清洁装置半导体设备

[发明专利]原料存储罐及半导体设备-CN201811345700.9在审
发明人： 李生骄 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2018-11-13 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： B65D88/74 文献下载
摘要：本发明提供一种原料存储罐及半导体设备。原料存储罐包括存储罐本体、加热装置和盒盖；存储罐本体用于容纳制程原料；加热装置位于存储罐本体上，用于加热制程原料以加快制程原料的挥发；盒盖位于存储罐本体上，盒盖上设置有至少一个供气口，挥发的制程原料通过供气口导出存储罐本体。本发明的原料存储罐可以极大加快制程原料的挥发速度，并由此改善其在饱和蒸气压中的浓度，有助于缩短后续的制程工艺时间，有助于提高设备产出率，且本发明可以有效改善制程原料蒸汽的均匀性，有利于提高光刻图形品质；采用本发明的半导体设备，可有效缩短制程工艺时间，可显著提高生产效率及生产良率，降低生产成本。
原料存储半导体设备

[实用新型]清洁装置及半导体设备-CN201821849523.3有效
发明人： 李生骄;董佳仁 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2018-11-09 - 公布日： 2019-07-26 - 主分类号： B08B9/047 文献下载
摘要：本实用新型提供一种清洁装置及半导体设备。半导体设备包括制程腔室、支路排气管路及清洁装置；制程腔室上设置有排气口；支路排气管路一端与制程腔室的排气口相连通；清洁装置用于对支路排气管路进行清洁作业，清洁装置与支路排气管路远离排气口的一端相邻设置，其中，毛刷朝向支路排气管路，通过伸缩杆的伸缩带动毛刷在支路排气管路内移动以对支路排气管路的不同位置进行清洁作业。本实用新型的清洁装置和半导体设备可以有效避免支路排气管路上的溶剂颗粒残留，可以减少设备停机时间，有助于生产良率和设备产出率的提高。
支路排气管路清洁装置半导体设备制程腔室排气口本实用新型清洁作业毛刷设备产出率减少设备溶剂颗粒相邻设置伸缩杆伸缩良率停机残留移动生产

[实用新型]原料存储罐及半导体设备-CN201821863452.2有效
发明人： 李生骄 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2018-11-13 - 公布日： 2019-07-19 - 主分类号： B65D88/74 文献下载
摘要：本实用新型提供一种原料存储罐及半导体设备。原料存储罐包括存储罐本体、加热装置和盒盖；存储罐本体用于容纳制程原料；加热装置位于存储罐本体上，用于加热制程原料以加快制程原料的挥发；盒盖位于存储罐本体上，盒盖上设置有至少一个供气口，挥发的制程原料通过供气口导出存储罐本体。本实用新型的原料存储罐可以极大加快制程原料的挥发速度，并由此改善其在饱和蒸气压中的浓度，有助于缩短后续的制程工艺时间，有助于提高设备产出率，且本实用新型可以有效改善制程原料蒸汽的均匀性，有利于提高光刻图形品质；采用本实用新型的半导体设备，可有效缩短制程工艺时间，可显著提高生产效率及生产良率，降低生产成本。
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