专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种晶圆级尺度石墨炔薄膜的转移方法-CN202110753623.6在审
  • 肖静;李教富 - 泰山学院
  • 2021-07-02 - 2021-10-01 - H01L21/78
  • 本发明提供了一种晶圆级尺度石墨炔薄膜的转移方法,包括以下步骤:提供生长有石墨炔薄膜的生长基底和柔性基底,将所述柔性基底贴合于所述生长有石墨炔薄膜的生长基底以使柔性基底和生长基底从两面夹住石墨炔薄膜,除去柔性基底与生长基底之间的气泡,刻蚀生长基底,实现石墨炔薄膜从生长基底转移至柔性基底上。本发明晶圆级尺度石墨炔薄膜的转移方法先将柔性基底紧密贴合到石墨炔薄膜上,除去柔性基底与生长基底之间的气泡,刻蚀生长基底,由此实现石墨炔薄膜从生长基底转移至柔性基底上。
  • 一种晶圆级尺度石墨薄膜转移方法

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