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[发明专利]一种芯片拾取头组件及芯片拾取装置-CN202110721347.5有效
发明人： 曲广福;王云峰 -专利权人：大连佳峰自动化股份有限公司
申请日： 2021-06-28 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本发明公开一种芯片拾取头组件，包括吸嘴杆、旋转驱动组件和荷重调节组件。吸嘴杆设置有多个，且任意一吸嘴杆上均设置有用于拾取芯片的吸嘴；旋转驱动组件与吸嘴杆相连，用于驱动吸嘴杆旋转；荷重调节组件与吸嘴杆相连，用于驱动吸嘴杆升降。本发明提出的多拾取头的芯片拾取头组件，能够在保证精度的同时，极大地提高芯片的拾取效率，以有效解决目前单拾取头芯片拾取效率低的问题。本发明还提出一种包含上述芯片拾取头组件的芯片拾取装置，其能够在保证精度的同时，极大地提高芯片的拾取效率；且该装置具备结构简单、精度高、反应速度快、集成度高、安全可靠、寿命长等特点，能够满足封装设备的高产能要求，实用性强。
一种芯片拾取组件装置

[实用新型]蜗旋放射形热风循环风道-CN201922363369.X有效
发明人：李占贤;曲广福;李岩;李军 -专利权人：大连连城数控机器股份有限公司;连城凯克斯科技有限公司
申请日： 2019-12-25 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： F27D13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了蜗旋放射形热风循环风道，包括设置在工艺炉预热腔内的两组循环风道，且两组循环风道分别设置在舟组行走方向中心线的两侧，且两组循环风道通过中间隔板隔开；所述循环风道包括内风道和外风道，内风道底端与外风道底端连通，外风道顶端与风机进风口连通，风机出风口与所述内风道顶端连通形成循环，外风道内设有加热器；所述进风口下方围绕所述进风口的轴线均匀分布有多个导风板，多个所述导风板竖直设置，且所述导风板呈弧形，相临两个导风板之间具有间隙，且所述间隙从所述进风口的轴线至所述导风板的外沿逐渐增大。本实用新型可在规定的时拍内，通过受热气氛对舟组的四周加热，减小了噪音，且舟组的受热均匀。
蜗旋放射形热风循环风道

[实用新型]多温区星形连接热场-CN201922054094.1有效
发明人：李扬;李岩;徐永胜;曲广福;朱凯 -专利权人：大连连城数控机器股份有限公司
申请日： 2019-11-25 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： F27D11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了多温区星形连接热场，包括设置在工艺炉反应腔内的主热场和辅助热场；所述主热场包括顶部热场、底部热场、首端左热场、首端右热场、尾端左热场和尾端右热场；所述辅助热场包括分别位于所述舟组行走方向两侧的两个侧部辅助热场；每个热场中均包括三个电阻值相等的加热管，且三个所述加热管采用星形接法与电源连接。本实用新型中的主热场和辅助热场能对舟组的反应腔前门和后门开启时温度的波动进行合理的补偿，使舟组表面各处温度值和均匀性达到要求。采用主热场和辅助热场各温区单独控制的方式，使电池片的各面受热达到要求。
多温区星形连接

[实用新型]一种ALD工艺炉自动线-CN201922054945.2有效
发明人：李占贤;曲广福;李秉东;李岩 -专利权人：大连连城数控机器股份有限公司
申请日： 2019-11-25 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种ALD工艺炉自动线，包括预热腔、反应腔和冷却腔，所述预热腔一侧设有舟组升降装置Ⅰ，所述冷却腔一侧设有舟组升降装置Ⅱ，且所述舟组升降装置Ⅱ的顶部设有舟组传输桁架机械手，所述舟组升降装置Ⅱ一侧设有装卸料装置；所述舟组升降装置Ⅱ与所述舟组升降装置Ⅰ之间设有水平输送装置；所述装卸料装置将硅片装卸在硅片载体上，硅片载体依次经过舟组传输桁架机械手、舟组升降装置Ⅱ、水平传输装置、舟组升降装置Ⅰ、预热腔、反应腔、冷却腔、舟组升降装置Ⅱ、舟组传输桁架机械手、装卸料装置完成工作循环。本实用新型采用预热腔、反应腔、冷却腔同时串联工作，缩短了工作节拍所用时间，提高了工作效率；布局更为紧凑，减少占地面积。
一种 ald 工艺自动线

[实用新型]一种单电机驱动实现两个方向运动的连杆装置-CN201921979246.2有效
发明人：李岩;曲广福;段世飞;李万鹏 -专利权人：大连连城数控机器股份有限公司
申请日： 2019-11-15 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： F27D1/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单电机驱动实现两个方向运动的连杆装置，属于炉门开启和关闭领域，包括设置在炉体顶部的支撑框架，所述支撑框架的顶部两侧在两个所述炉门之间分别安装有竖直设置的螺旋升降机，两个螺旋升降机分别通过驱动轴和分度头与电机的输出端连接；所述螺旋升降机上具有提升架，所述提升架的上部铰接设有两个上连杆，两个所述上连杆的底端分别与两个所述炉门的上部铰接；所述提升架的底部铰接有两个下连杆，两个所述下连杆的底端分别与两个所述炉门的底部铰接。本实用新型采用电机驱动连杆实现炉门的升降和水平移动，结构紧凑减少占地面积，运动速度快节约了加工节拍，结构可靠性高，成本低。
一种电机驱动实现两个方向运动连杆装置

[实用新型]冷却气氛循环风道-CN201922361377.0有效
发明人： 曲广福;李军;曹玉宝 -专利权人：大连连城数控机器股份有限公司;连城凯克斯科技有限公司
申请日： 2019-12-25 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型提供一种冷却气氛循环风道，包括主风道、主风机、辅助风道和辅助风机；所述主风机设置于工艺炉冷却腔底部；所述主风道由所述工艺炉冷却腔内腔和所述工艺炉冷却腔内部舟组之间的缝隙组成；所述工艺炉冷却腔上方设置与所述工艺炉冷却腔内部相连通的风槽，所述风槽顶部开设排风口，所述风槽侧面为倾斜面，所述倾斜面上开设顶风槽溢风口，所述顶风槽溢风口处设置空气过滤袋；所述辅助风道与所述辅助风机相连通，所述辅助风道设置于所述工艺炉冷却腔内部，位于所述工艺炉冷却腔上部，所述辅助风道设置开口朝下的辅助风道出口。解决了现有的工艺炉，应用原子层沉积法在太阳能光伏晶硅电池片背面做Al2O3钝化层时冷却腔内热交换速率较低的问题。
冷却气氛循环风道

[实用新型]一种工艺炉腔室内的舟组夹紧位置补偿机构-CN201922347130.3有效
发明人： 曲广福;陈福俭;李岩;李占贤;朱凯 -专利权人：大连连城数控机器股份有限公司
申请日： 2019-12-24 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种工艺炉腔室内的舟组夹紧位置补偿机构，主补偿机构包括固定在夹板上的中心弹簧安装套，中心弹簧安装套内安装有中心弹簧，且所述中心弹簧的轴线与丝杠的轴线重合，且所述中心弹簧的一端与夹板连接，中心弹簧的另一端与中心弹簧衬环连接，丝杆靠近夹板的一端穿入所述中心弹簧安装套内并与中心弹簧衬环通过螺栓固定连接；两个所述夹板分别为向所述舟组内充气的匀流板和将所述舟组内气体抽出的抽气板。且抽气板上还安装有副补充机构。本实用新型在金属舟的两侧均设有主补偿机构，且抽气板侧设有副补偿机构可使金属舟的体积发生变化时，夹板具有一定的缓冲量，进行补偿。
一种工艺室内夹紧位置补偿机构

[发明专利]蜗旋放射形热风循环风道-CN201911356546.X在审
发明人：李占贤;曲广福;李岩;李军 -专利权人：大连连城数控机器股份有限公司;连城凯克斯科技有限公司
申请日： 2019-12-25 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： F27D13/00 文献下载
摘要：本发明公开了蜗旋放射形热风循环风道，包括设置在工艺炉预热腔内的两组循环风道，且两组循环风道分别设置在舟组行走方向中心线的两侧，且两组循环风道通过中间隔板隔开；所述循环风道包括内风道和外风道，内风道底端与外风道底端连通，外风道顶端与风机进风口连通，风机出风口与所述内风道顶端连通形成循环，外风道内设有加热器；所述进风口下方围绕所述进风口的轴线均匀分布有多个导风板，多个所述导风板竖直设置，且所述导风板呈弧形，相临两个导风板之间具有间隙，且所述间隙从所述进风口的轴线至所述导风板的外沿逐渐增大。本发明可在规定的时拍内，通过受热气氛对舟组的四周加热，减小了噪音，且舟组的受热均匀。
蜗旋放射形热风循环风道

[发明专利]可分别调整式中心架机构-CN201310621300.7无效
发明人：常虹;张宇;曲广福;齐永顺;王爽 -专利权人：大连华根机械有限公司
申请日： 2013-11-29 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： B23Q1/76 文献下载
摘要：本发明公开了一种可分别调整式中心架机构，包括底座和连接在底座上的下支架，在下支架上连接有两个滚轮支撑臂，每个滚轮支撑臂的端头均装有支撑工件的滚轮，所述的下支架通过转轴连接有上支架，在在上支架上也设有一个滚轮支撑臂，该滚轮支撑臂的端头同样装有支撑工件的滚轮，上支架相对于下支架扣合紧固后与下支架形成中心架的开放式架体。加工时刀具可直接通过中心架处，无需调头二次装夹，省时省力，提高了工作效率；转动手轮4可调整滚轮支撑臂6，并可分别调整三个滚轮支撑臂，保证三个滚轮同时支撑在工件上，控制工件受力弯曲效果好，提高了加工精度。
分别调整中心机构

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