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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]硅基介电膜的沉积-CN202280019935.7在审
发明人：吉蒂卡·巴贾;普雷纳·桑塔利亚·戈拉迪亚;赛沙德利·甘古利;斯里尼瓦·甘迪科塔;罗伯特·詹·维瑟;舒瑞基·雷格瑞简 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2022-02-11 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：一种处理方法，包括：将基板定位在处理腔室中并将所述基板的温度设定为50℃至500℃的范围；在所述基板上进行原子层沉积(ALD)循环；以及重复所述ALD循环以形成硅氧化物膜。所述ALD循环包括：通过脉冲氨基硅烷前驱物的流来在所述处理腔室中将所述基板暴露于所述氨基硅烷前驱物；从所述处理腔室净化所述氨基硅烷前驱物；在大于或等于100毫秒至小于或等于3秒的范围内的持续时间内通过脉冲氧化剂的流来将所述基板暴露于所述氧化剂；以及从所述处理腔室净化所述氧化剂。
硅基介电膜沉积

[发明专利]用于锂处理设备的清洁材料和处理-CN202180086385.6在审
发明人：塔帕什·查克拉博蒂;尼廷·迪帕克;普雷纳·桑塔利亚·戈拉迪亚;巴扈巴利·S·乌帕德亚;奈尔施·奇尔曼奥·巴古;苏布拉曼亚·P·赫尔勒;维斯韦斯瓦伦·西瓦拉玛克里施南 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-11-17 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：移除含锂沉积物的示例性方法可包括加热含锂沉积物的表面。该表面可包括氧或氮，并且含锂沉积物可以设置在处理腔室的表面上。这些方法可包括使含锂沉积物的表面与含氢前驱物接触。接触可氢化含锂沉积物的表面。这些方法可包括使含锂沉积物与含氮前驱物接触以形成挥发性副产物。这些方法可包括从处理腔室中排出含锂沉积物的挥发性副产物。
用于处理设备清洁材料

[发明专利]用于翻新航空部件的方法-CN202180046633.4在审
发明人：阿布舍克·曼达尔;尼廷·迪帕克;尼哈·古普塔;普雷纳·桑塔利亚·戈拉迪亚;安库尔·凯达姆;大野贤一;大卫·亚历山大·布里兹;兰斯·A·斯卡德尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-06-04 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本公开内容的实施方式总体涉及通过去除腐蚀部和沉积保护涂层来翻新航空部件的方法。在一个或多个实施方式中，一种航空部件的翻新方法包括将包含腐蚀部的航空部件暴露于水性清洁溶液。所述航空部件包括镍超合金、设置在所述镍超合金上的铝化物层和设置在所述铝化物层上的氧化铝层。所述方法包括使用所述水性清洁溶液从氧化铝层的一部分去除腐蚀部以露出氧化铝层，然后将所述氧化铝层暴露于后冲洗液，以及在所述氧化铝层上形成保护涂层。
用于翻新航空部件方法

[发明专利]金属的原子层蚀刻-CN202080063444.3在审
发明人：尼廷·迪帕克;普雷纳·桑塔利亚·戈拉迪亚 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-09-02 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： H01L21/3213 文献下载
摘要：本公开内容一般涉及用于选择性地蚀刻在基板半导体制造应用上的铜、钴和/或铝层的方法。将包括一个或多个铜层、钴层或铝层的基板传送到处理腔室。氧化所述铜、钴或铝层的表面。然后，将所述氧化的铜、钴或铝表面暴露于六氟乙酰丙酮蒸气。所述六氟乙酰丙酮蒸气与所述氧化的铜、钴或铝表面反应以形成挥发性化合物，然后，将所述挥发性化合物泵送出所述腔室。所述氧化的铜、钴或铝表面与所述六氟乙酰丙酮蒸气的所述反应选择性原子层蚀刻所述铜、钴或铝表面。
金属原子蚀刻

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