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[实用新型]绑定式磁控溅射旋转靶材-CN201620193858.9有效
发明人：徐从康 -专利权人： 无锡舒玛天科新能源技术有限公司
申请日： 2016-03-14 - 公布日： 2016-08-17 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种绑定式磁控溅射旋转靶材，包括背管和固定套结在背管外壁的至少一个靶管，所述背管外壁设有开口槽，所述靶管是通过填充在开口槽内的无铟钎焊材料经旋转加热焊接固定在背管外壁的，所述靶管内壁与背管外壁间隙为0.2—0.4mm，所述靶管为两个以上时，靶管与靶管之间间隙小于0.5mm，使用硅橡胶垫和高温胶带密封，所述靶管为三个以上时，设置在两端部的两个靶管比中间靶管厚30％—50％。该绑定式磁控溅射旋转靶材简单易得，成本低；尺寸可根据实际需要调节，灵活不受限制；溅射稳定，利用率高。
定式磁控溅射旋转

[发明专利]铝钽旋转靶材及可控气氛冷喷涂制备铝钽旋转靶材的方法-CN201510184392.6在审
发明人：徐从康 -专利权人： 无锡舒玛天科新能源技术有限公司
申请日： 2015-04-17 - 公布日： 2015-08-12 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种铝钽旋转靶材及可控气氛冷喷涂制备铝钽旋转靶材的方法，其中铝钽旋转靶材的原材料为铝钽粉，使用可控气氛冷喷涂技术喷涂铝钽粉制备靶材。该方法包括：制备粒度为150～1000目，纯度不低于99.99%的铝钽粉；对不锈钢基体进行除锈、清洗、喷砂等处理；在惰性气体保护下，使用等离子喷涂方法喷涂合金过渡层；在循环惰性气体保护氛围中，冷喷涂铝钽粉末到含有合金过渡层的基体上制备旋转靶材，惰性气体流量为200～1500SCCH，基体以60～150r/min的速度围绕中心轴旋转，喷枪的移动速度为500～1500mm/min。利用本发明制备的铝钽旋转靶材纯度高（≥99.99%、含氧量≤200ppm）、密度大（相对密度≥97%）、成分均匀，长度可达到4000mm，厚度为3～15mm。
旋转可控气氛喷涂制备方法

[发明专利]热喷涂旋转靶材的冷却装置-CN201310513173.9有效
发明人：徐从康 -专利权人： 无锡舒玛天科新能源技术有限公司
申请日： 2013-10-25 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： C23C4/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种热喷涂旋转靶材的冷却装置，特征是：在基管内设衬管，衬管内设空心轴，基管两端安装第一端盖和第二端盖，第一端盖外侧连接第一连接管，第一端盖上设与空心轴连通的第一通孔，第一通孔外围设与基管和衬管之间空腔连通的第二通孔，第二端盖外侧连接第二连接管，第二连接管通过第三连接管与芯轴连接，第二端盖上设与空心轴连通的第三通孔，第三通孔处设中空杆，中空杆伸入芯轴内阶梯孔中，中空杆外围设与基管与衬管之间空腔连通的第四通孔；芯轴上设与中空杆连通的第一径向孔和与阶梯孔连通的第二径向孔，芯轴外套外壳，外壳上进水孔与第一径向孔连通，出水孔与第二径向孔连通。本发明减轻了靶材承受的重量，并达到均匀的温度。
喷涂旋转冷却装置

[发明专利]一种用于薄膜太阳能电池的铜铟镓旋转靶材制备方法-CN201310172489.6有效
发明人：徐从康 -专利权人： 无锡舒玛天科新能源技术有限公司
申请日： 2013-05-10 - 公布日： 2013-09-11 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种铜铟镓旋转靶材的制备方法，包括包含镍铝或镍铬合金层的不锈钢圆筒基体的制备、包含铜铟或铜镓合金层的不锈钢圆筒基体的制备、包含铜铟或铜镓合金层的不锈钢圆筒基体的制备等步骤。该方法采用低压等离子热喷涂方法逐层将镍铝合金、铜铟或铜镓合金、铜铟镓依次固化于不锈钢圆筒基体上形成铜铟镓旋转靶材，克服了现有方法中的绑定工序的缺陷，工艺简单、操作方便、成本低廉，生产出的靶材密度高、孔隙度低、成分均匀、晶粒细小、产率高、质量好。
一种用于薄膜太阳能电池铜铟镓旋转制备方法

[发明专利]一种铜锌锡硫薄膜的制备方法-CN201310101321.6有效
发明人：徐从康 -专利权人： 无锡舒玛天科新能源技术有限公司
申请日： 2013-03-26 - 公布日： 2013-07-31 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种铜锌锡硫薄膜的制备方法，该方法包括如下步骤：将沉积有钼层的衬底加热至300～400℃，调节电流至30～70mA，采用蒸镀法，蒸汽状的镀膜材料沉积在所述钼层上，得到第一层薄膜，所述第一层薄膜表面呈贫铜富锌状态；调节衬底的温度至400～600℃，调节电流至80～150mA，采用蒸镀法，沉积得到第二层薄膜，所述第二层薄膜表面呈富铜状态；调节衬底的温度为400～600℃，调节电流至20～70mA，采用蒸镀法，沉积得到第三层薄膜，所述第三层薄膜表面呈贫铜状态。本发明提供的单源三步共蒸镀法可以制造出高效率、高均匀度的薄膜，从而提高了太阳能电池的效率。
一种铜锌锡硫薄膜制备方法

[发明专利]一种利用铜铟镓硒合金溅射靶材生产铜铟镓硒薄膜的方法-CN201310099414.X有效
发明人：徐从康 -专利权人： 无锡舒玛天科新能源技术有限公司
申请日： 2013-03-26 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种利用铜铟镓硒合金溅射靶材生产铜铟镓硒薄膜的方法，包括以下步骤：以铜铟镓硒合金作为靶材在基底上溅射形成第一贫铜层；以铜铟镓硒合金作为靶材在第一贫铜层上溅射形成富铜层；以铜铟镓硒合金作为靶材在富铜层上溅射形成第二贫铜层，即得。该生产方法将共蒸镀三步工艺法和非真空内部吸收层连结结构法结合，不仅能够显著的提升原材料利用率、成本低，而且溅射工艺过程中沉积速率快，同时还将在铜铟镓硒吸收层中形成优化的镓梯度结构和纳米畴p-n结内吸收层连结结构IAJ，生产出的铜铟镓硒薄膜效率高、面积大、均匀度高。
一种利用铜铟镓硒合金溅射生产薄膜方法

[发明专利]一种制备铜铟镓硒墨水的方法-CN201310119088.4有效
发明人：徐从康 -专利权人： 无锡舒玛天科新能源技术有限公司
申请日： 2013-04-08 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： C09D11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种制备铜铟镓硒墨水的方法，包括：取原材料、行星滚动湿球磨、离心分离、过滤获得3-20纳米和200-400纳米的颗粒；取10%重量的3-20纳米的颗粒加入到90%重量的200-400纳米的粉体中，获得铜铟镓硒颗粒；制备水基溶剂和有机基溶剂；取0.3~3%重量的氯化钠、40-70%重量铜铟镓硒颗粒加入水基溶剂或有机基溶剂中，在超声波盆中超声1h，制得水基墨水或有机基墨水。本发明用自上而下方法制备大尺寸纳米颗粒，并制备铜铟镓硒墨水，用于非真空方法铜锌锡硒太阳能电池的生产。采用传统的球磨方法能够实现各种混合物在低温下的直接机械化学化学反应，无需化学溶剂。绿色环保。不需化学溶液，不产生废物，不需要昂贵的真空设备，经济实惠。
一种制备铜铟镓硒墨水方法

[发明专利]一种用四元素合金靶材制备铜锌锡硫薄膜的方法-CN201310100433.X有效
发明人：徐从康 -专利权人： 无锡舒玛天科新能源技术有限公司
申请日： 2013-03-26 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种用四元素合金圆形靶材制备铜锌锡硫薄膜的方法，该方法所用的四元素合金靶材为Cu2ZnSnS4，该方法包括如下步骤：（1）将沉积有钼层的玻璃基底板加热至300～400℃，采用溅射法，调节溅射功率至30～200W，溅射得到第一层薄膜，所述第一层薄膜表面呈贫铜富锌状态；（2）调节玻璃基底板的温度至400～600℃，采用溅射法，调节溅射功率至80～200W，溅射得到第二层薄膜，所述第二层薄膜表面呈富铜状态；（3）调节玻璃基底板的温度为400～600℃，采用溅射法，调节溅射功率至30～200W，溅射得到第三层薄膜，所述第三层薄膜表面呈贫铜状态，即得铜锌锡硫薄膜。
一种元素合金制备铜锌锡硫薄膜方法

[发明专利]一种平面铜铟镓硒溅射靶材的制备方法-CN201310100636.9无效
发明人：徐从康 -专利权人： 无锡舒玛天科新能源技术有限公司
申请日： 2013-03-26 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明提供的一种平面铜铟镓硒溅射靶材，由铜、铟、镓和硒构成Cu-In-Ga-Se2四元合金体系，其中铜、铟、镓和硒的原子比为（20-25）∶（10-19）∶（6-12.5）∶（50-60）。本发明还提供了一种平面铜铟镓硒溅射靶材的制备方法。该靶材由铜、铟、镓和硒构成Cu-In-Ga-Se2四元合金体系，能够大幅降低铜铟镓硒薄膜电池的生产成本，使铜铟镓硒薄膜电池大规模工业化。该靶材的制备方法以高纯金属铜、铟、镓、硒为原料，经过球磨、过筛、热压等工艺制得平面铜铟镓硒溅射靶材，工艺简单、成本低廉，适于工业化生产，制得的靶材相对密度高可达到89%以上、氧密度高可达150-250ppm、电导率高可达50-80Ωcm、尺寸小可达40-100微米。
一种平面铜铟镓硒溅射制备方法

[发明专利]一种制备铜锌锡硒墨水的方法-CN201310119083.1有效
发明人：徐从康 -专利权人： 无锡舒玛天科新能源技术有限公司
申请日： 2013-04-08 - 公布日： 2013-07-17 - 主分类号： C09D11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种制备铜锌锡硒墨水的方法，包括：取原材料、行星滚动湿球磨、离心获得5-15纳米和200-400纳米的颗粒；取10%重量的5-15纳米的颗粒加入到90%重量的200-400纳米的粉体，制得铜锌锡硒颗粒；取墨水溶剂各重量含量组分混合；混合铜锌锡硒颗粒与墨水溶剂，在超声波盆中超声5min~1h，制得墨水；铜锌锡硒颗粒与溶剂的重量百分比为40~80%。本发明用自上而下方法制备大尺寸纳米颗粒，并制备铜锌锡硒墨水，用于非真空方法铜锌锡硒太阳能电池的生产。采用传统的球磨方法能够实现各种混合物在低温下的直接机械化学化学反应，无需化学溶剂。绿色环保。不需化学溶液，不产生废物，不需要昂贵的真空设备，经济实惠。
一种制备铜锌锡硒墨水方法

[发明专利]一种用合金旋转靶材制备铜锌锡硫硒薄膜的方法-CN201310099415.4有效
发明人：徐从康 -专利权人： 无锡舒玛天科新能源技术有限公司
申请日： 2013-03-26 - 公布日： 2013-07-17 - 主分类号： H01L21/203 文献下载
摘要：本发明公开了一种采用合金旋转靶材制备铜锌锡硫硒薄膜的方法，该方法包括如下步骤：（1）将沉积有钼层的基底加热至300～400℃，采用溅射法，调节溅射功率至30～200W，溅射得到第一层薄膜，所述第一层薄膜表面呈贫铜富锌状态；（2）调节基底的温度至400～600℃，采用溅射法，调节溅射功率至80～200W，溅射得到第二层薄膜，所述第二层薄膜表面呈富铜状态；（3）调节基底的温度为400～600℃，采用溅射法，调节溅射功率至30～200W，溅射得到第三层薄膜，所述第三层薄膜表面呈贫铜状态，得到铜锌锡硫硒薄膜。
一种合金旋转制备铜锌锡硫硒薄膜方法

[发明专利]一种铜铟镓硒薄膜的制造工艺-CN201310119027.8无效
发明人：徐从康 -专利权人： 无锡舒玛天科新能源技术有限公司
申请日： 2013-04-08 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种铜铟镓硒薄膜的制造工艺，为三步法，包括：在200~400℃条件下，用30~100mA的电流在基底上蒸镀上第一层薄膜，主要成分为铟镓硒和少量的铜，形成贫铜富铟镓区域；在300~600℃的条件下，用80~150mA的电流蒸镀上第二层薄膜，主要成分为铜铟镓硒，形成富铜区域；在300~600℃的条件下，用20~150mA电流的蒸镀上第三层薄膜，主要成分为镓铟硒和少量的铜，再形成一层贫铜区域，以确保薄膜整体贫铜结构。本发明为单源三步蒸镀法制备铜铟镓硒太阳能电池。通过使用装有加热基板的电子束蒸发仪和Cu2InxGa1-xSe2粉体作为单源，通过改变电流大小，实现贫铜的高效率薄膜结构。除了贫铜外，该薄膜还具有吸收层内连结构，大尺寸颗粒界面以及梯度结构。这种结构保证了所制备的电池高效率。
一种铜铟镓硒薄膜制造工艺

[发明专利]一种利用铜铟镓硒合金旋转溅射靶材生产铜铟镓硒薄膜的方法-CN201310100735.7有效
发明人：徐从康 -专利权人： 无锡舒玛天科新能源技术有限公司
申请日： 2013-03-26 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种利用铜铟镓硒合金旋转溅射靶材生产铜铟镓硒薄膜的方法，包括以下步骤：以铜铟镓硒合金旋转溅射靶材作为靶材在基底上溅射形成第一贫铜层；以铜铟镓硒合金旋转溅射靶材作为靶材在第一贫铜层上溅射形成富铜层；以铜铟镓硒合金旋转溅射靶材作为靶材在富铜层上溅射形成第二贫铜层，即得。该生产方法将共蒸镀三步工艺法和非真空内部吸收层连结结构法结合，不仅能够显著的提升原材料利用率、成本低，而且溅射工艺过程中沉积速率快，同时还将在铜铟镓硒吸收层中形成优化的镓梯度结构和纳米畴p-n结内吸收层连结结构IAJ，生产出的铜铟镓硒薄膜效率高、面积大、均匀度高。
一种利用铜铟镓硒合金旋转溅射生产薄膜方法

[发明专利]一种钠掺杂钼平面溅射靶材的制备方法-CN201310099385.7有效
发明人：徐从康 -专利权人： 无锡舒玛天科新能源技术有限公司
申请日： 2013-03-26 - 公布日： 2013-06-19 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种钠掺杂钼平面溅射靶材，由钼和钠构成，由钼和钠组成，其中钼原子数量为90-99%，其余为钠原子。还提供上述钠掺杂钼平面溅射靶材的制备方法。本发明提供的钠掺杂钼平面溅射靶材在钼背电极中掺杂了钠元素，能够大幅提高铜铟镓硒薄膜电池的转换效率，降低生产成本，使铜铟镓硒薄膜电池大规模工业化。该制备方法以三氧化钼、氢氧化钠和钼金属为原料，经过反应、球磨、过筛、热压等工艺制成钠掺杂钼平面溅射靶材，工艺简单、成本低廉，适于工业化生产，制得的靶材相对密度高可达到95%以上、氧密度高可达250ppm、尺寸小可达60-100微米。
一种掺杂平面溅射制备方法

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