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- [发明专利]绑定式磁控溅射旋转靶材及其制备方法-CN201610143209.2有效
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徐从康
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无锡舒玛天科新能源技术有限公司
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2016-03-14
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2018-08-31
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C23C14/35
- 本发明公开了一种绑定式磁控溅射旋转靶材及其制备方法，所述绑定式磁控溅射旋转靶材包括背管以及固定套接在背管外壁的靶管，所述靶管为至少一个，所述背管外壁设有开口槽，所述靶管是通过填充在开口槽内的无铟钎焊材料经旋转加热焊接固定在背管外壁的，所述靶管内壁与背管外壁间隙为0.2‑0.4mm。所述绑定式磁控溅射旋转靶材的制备方法包括如下步骤：选取背管，在背管外壁机加工开口槽，清洗烘干后水平固定到旋转设备上，在开口槽内加入无铟钎焊材料；选取靶管，对靶管内壁进行金属化处理；将处理后的靶管套到准备好的背管上；启动旋转设备，对背管内壁和靶材外壁同时加热，绑定完成后，关掉加热源，保持旋转设备工作，直至靶管冷却到室温。该方法操作简单、效率高、成本低、应用范围广，并且通过该制备方法所得靶材尺寸不受限制、利用率高。
- 定式磁控溅射旋转及其制备方法
- [发明专利]钠掺杂钼旋转靶材及其制备方法-CN201510162748.6有效
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徐从康
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无锡舒玛天科新能源技术有限公司
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2015-04-08
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2017-09-22
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C23C14/34
- 本发明提供了一种钠掺杂钼旋转靶材，由钼原子、钠原子和氧原子组成，其中钼原子数占原子总数的85‑99%，其余为钠原子和氧原子，钠原子和氧原子的数量比为12。本发明还提供上述钠掺杂钼旋转靶材的制备方法。本发明提供的钠掺杂钼旋转靶材在钼背电极中掺杂了钠元素，能够大幅提高铜铟镓硒薄膜电池的转换效率，降低生产成本，使铜铟镓硒薄膜电池大规模工业化。该制备方法以三氧化钼、氢氧化钠和钼金属为原料，经过反应、球磨、过筛、真空或保护气氛等离子喷涂等工艺制成钠掺杂钼旋转靶材，工艺简单、成本低廉，适于工业化生产，制得的靶材相对密度高可达到95%以上、氧密度小于250ppm、长度可达4000毫米。
- 掺杂旋转及其制备方法
- [发明专利]铝钪旋转靶材及其制备方法-CN201510185516.2有效
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徐从康
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无锡舒玛天科新能源技术有限公司
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2015-04-17
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2017-06-06
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C23C14/34
- 本发明公开了铝钪旋转靶材及其制备方法，其中制备方法包括以下步骤烧结、球磨、过筛制备铝钪粉末；预处理不锈钢基体管；使用电弧喷涂方法喷涂合金打底层；在含有合金打底层的不锈钢基体上使用可控气氛冷喷涂方法喷涂铝钪粉末制备旋转靶材，工艺参数为使用真空机组对喷涂腔体抽取真空，再通入循环保护气氩气，喷嘴进口处工作温度为300～700℃，压力为2～5Mpa，工作气体为氩气，其压力为2.5～4.5Mpa，温度为400～900℃，气体流量为20～50 m3/h，喷涂距离为40~60mm，送粉气流量为200～400l/h，送粉量为30～60g/min。通过本发明制备的铝钪旋转靶材组织致密、纯度高、成分均匀，靶材直径和长度不受限制，长度可达到4000mm，厚度为3～15mm，靶材相对密度≥97%，纯度≥99.99%，氧含量≤200ppm。
- 旋转及其制备方法
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