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[发明专利]一种分流排阀-CN202310947461.9在审
发明人：张琪;符友银;孙昭亮 -专利权人： 新毅东（上海）科技有限公司
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： F16K11/074 文献下载
摘要：本发明提供了一种分流排阀，该分流排阀包括：分流组件与驱动分流组件的驱动组件；分流组件包括：自上而下同轴依次设置的入液筒与分液筒，入液筒开设纵向贯穿入液筒的入液管道，分液筒开设至少两个纵向贯穿分液筒的出液管道；通过驱动组件驱动入液筒绕入液筒所在中心轴线转动，由入液管道分别与不同出液管道对接形成供不同液体流通的排液管道。通过本发明，实现了不同类别工业废液的独立排放与收集，并保证了液体收集效率。
一种分流

[发明专利]一种晶圆加热设备-CN202310929388.2在审
发明人：张琪;符友银;杨涛 -专利权人： 新毅东（上海）科技有限公司
申请日： 2023-07-27 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆加热设备，包括加热主体和覆盖于所述加热主体顶面的承托板，所述加热主体与承托板围成加热腔室，所述加热腔室内注入传热介质，所述加热腔室连通换热导管，所述换热导管另一端穿过一换热装置后连通于所述加热腔室，所述换热装置内注入用于对流经换热导管内的传热介质降温的换热介质。本发明用以解决现有技术中晶圆加热器降温所需时间过长而导致当后续加热步骤需要降温时所存在的影响晶圆整个制程效率的问题。
一种加热设备

[发明专利]一种气液分离式真空旋转设备-CN202310547371.0在审
发明人：张琪;符友银;杨涛 -专利权人： 新毅东（上海）科技有限公司
申请日： 2023-05-16 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种气液分离式真空旋转设备，包括晶圆吸盘和分离装置，晶圆吸盘通过主轴穿设于分离装置后连接驱动装置，主轴内沿高度方向开设负压通道，负压通道与分离装置连通；分离装置连通真空接口，真空接口通过连接真空设备使分离装置内形成负压状态，分离装置内形成沉降通道，分离装置内处于负压状态下气体依次经过负压通道和沉降通道后由真空接口排出，气体中混有的液体沉降于分离装置底部并留存至连通于分离装置底部的排液装置；排液装置连接自动排液销，分离装置内解除负压状态后自动排液销受重力开启以排出排液装置内的液体。本发明用以解决混有药品液滴的气体吸入真空管路从而导致真空管路甚至真空设备发生损坏的问题。
一种分离真空旋转设备

[发明专利]一种半导体调平对焦工作台-CN202310673428.1在审
发明人：张琪;符友银;杨涛 -专利权人： 新毅东（上海）科技有限公司
申请日： 2023-06-08 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供了一种半导体调平对焦工作台，包括用于盛放晶圆的工作平台，工作平台均匀安装多组调节装置，通过调节装置对盛放于工作平台的晶圆同步进行调平和对焦；工作平台远离晶圆一侧设置安装板，调节装置的固定端连接于安装板的上表面，调节装置的驱动端与工作平台相连，调节装置的固定端在与驱动端无接触的状态下驱使驱动端带动与工作平台的连接处沿垂直于水平面的方向位移。本发明用以解决现有技术中晶圆在曝光前的调平和对焦需要分为两个步骤进行，因此存在曝光前准备时间过长而影响产能的问题，其次，现有工作台所应用的调平机构以及对焦机构通常由直流电机和丝杆构成，易产生高频振动从而影响晶圆调平和对焦的精度以及稳定性的问题。
一种半导体对焦工作台

[发明专利]六自由度主动隔振控制系统的控制方法、装置及电子设备-CN202211642556.1在审
发明人：张琪;符有银;王立平;关立文;李袁圣龙 -专利权人： 新毅东（上海）科技有限公司
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： G05D19/02 文献下载
摘要：本申请涉及一种六自由度主动隔振控制系统的控制方法、装置及电子设备，其中，方法包括：接收主动隔振装置中多种传感器的测量信号；对多种传感器的测量信号分别进行工作空间转换运算和模态空间转换运算，并将转换运算后的测量信号输入至预先构建的至少一个主动隔振控制器，得到输出结果；将输出结果都转化为作用在负载质心处的驱动力和力矩，并根据作用在负载质心处的驱动力和力矩之和得到六自由度总驱动力矢量；以及根据六自由度总驱动力矢量得到关节空间各个作动器的预期驱动力，并根据关节空间各个作动器的预期驱动力计算各个作动器的驱动电压，以根据各个作动器的驱动电压控制各个作动器输出相应的驱动力。由此，实现对负载振动的抑制和隔离。
自由度主动控制系统控制方法装置电子设备

[发明专利]气动作动器、气动主动隔振单元及主动隔振系统-CN202211642390.3在审
发明人：张琪;符有银;王立平;关立文;李袁圣龙 -专利权人： 新毅东（上海）科技有限公司
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： F16F9/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于主动隔振的气动作动器、气动主动隔振单元及主动隔振系统，其中，气动作动器能发挥被动隔振和主动隔振作用；气动作动器包括气源、伺服阀和两个空气弹簧；气源与伺服阀相连，伺服阀与两个空气弹簧相连，伺服阀用于对各个空气弹簧内的气压和力分别独立控制；气动作动器发挥被动隔振作用时，单个空气弹簧的刚度为本发明的气动作动器能够同时实现被动隔振和主动隔振功能，能够对负载实现垂直隔振和水平隔振，主动隔振控制灵敏，控制精确度高。
动作气动主动单元系统

[发明专利]适用于主动隔振的鲁棒控制器设计方法、装置及电子设备-CN202211642397.5在审
发明人：张琪;符有银;王立平;关立文;李袁圣龙 -专利权人： 新毅东（上海）科技有限公司
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： G05B13/04 文献下载
摘要：本申请涉及一种适用于主动隔振的鲁棒控制器设计方法、装置及电子设备，方法包括：建立主动隔振系统被控对象的传递函数模型和状态空间模型；基于状态空间模型，确定待控制目标的混合灵敏度优化指标，根据预设的主动隔振性能要求，确定混合灵敏度优化指标中的多个加权函数；根据多个加权函数和状态空间模型计算广义被控对象，并根据广义被控对象求解反馈控制器，根据求解结果进行迭代仿真测试，直至主动隔振系统的性能达到最优，得到鲁棒控制器。由此，解决了综合考虑隔振和扰动抑制性能、作动器输出力特性，在给定作动器输出力特性条件下获得最优的主动隔振效果的问题，提升现有主动隔振控制方法的性能和应用广度。
适用于主动鲁棒控制设计方法装置电子设备