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- [发明专利]新能源电池复合铜箔电镀装备-CN202310711374.3在审
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郭立铭
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捷成微系统(惠州)股份有限公司
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2023-06-15
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2023-09-12
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C25D17/20
- 本发明公开了新能源电池复合铜箔电镀装备,涉及电池生产领域,包括电镀槽主体,还包括滚筒,其设置在电镀槽主体的内侧,滚筒的数量为两个,滚筒的外壁上沿其轴向均匀开设有若干个通孔,滚筒的一端设有密封盖;位置调节机构,其用于驱动两个滚筒分段周向运动;滚动机构,其由位置调节机构驱动,以用于带动滚筒自转;抖动机构,其安装在电镀槽主体的内侧,用于驱动滚筒来回移动;排料机构,其连接在滚筒的内部,用于将滚筒内部电镀完成的铜箔排出;该新能源电池复合铜箔电镀装备,在滚筒运动至不同的位置时,能够依次分别实现使铜片均匀的分布在滚筒内部、使铜片电镀的更加充分、将铜箔外部和滚筒内部残留的电镀液快速抖落和铜箔快速排料等效果。
- 新能源电池复合铜箔电镀装备
- [实用新型]电镀槽体导电装置-CN202222164956.8有效
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张宇丞;高长风
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捷成微系统(惠州)股份有限公司
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2022-08-17
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2023-03-24
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C25D17/12
- 本实用新型提供了一种电镀槽体导电装置,包括:电镀槽体以及通过调节螺栓安装在电镀槽体槽口上部的环形压圈,还包括用于连接直流电源的导电组件,导电组件包括阳极电极以及阴极电极,阳极电极为金属环,且阳极电极安装在环形压圈的上部,阴极电极为圆形金属网,且阴极电极安装在电镀槽体的内部底部。本实用新型提供的电镀槽体导电装置,在使用时,将晶圆水平固定在环形压圈与电镀槽体槽口之间,阳极电极用于接通直流电正极,阴极电极用于接通直流电负极,晶圆与阳极电极接触与阳极电极形成一体,电镀液位于晶圆的底部,通过上述设置,使得晶圆的上部与电镀液接触不到,以免非电镀面也产生电镀层导致浪费且影响电镀厚度。
- 电镀导电装置
- [实用新型]高温槽体双开盖装置-CN202222146140.2有效
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张宇丞;高长风
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捷成微系统(惠州)股份有限公司
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2022-08-16
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2023-03-21
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H01L21/67
- 本实用新型提供了一种高温槽体双开盖装置,包括:固定安装在高温槽体槽口处的封口框以及设于高温槽体上的第一封口组件以及第二封口组件,其中,第一封口组件以及第二封口组件用于共同对封口框封口。其中,第一封口组件主要由两个第一配装座、第一转轴、两个第一连接座、第一盖板以及第一驱动机构组成,其中,第二封口组件主要由两个第二配装座、第二转轴、两个第二连接座、第二盖板以及第二驱动机构组成。本实用新型提供的高温槽体双开盖装置,在清洗制程中,通过第一封口组件以及第二封口组件的相互配合,可以大幅度降低有害气体从高温槽体的内部排出,尽可能降低有害气体的排出对工作人员的健康危害。
- 高温双开装置
- [实用新型]机械手臂防撞装置-CN202222176668.4有效
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张宇丞;高长风
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捷成微系统(惠州)股份有限公司
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2022-08-17
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2023-01-06
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B25J19/00
- 本实用新型提供了一种机械手臂防撞装置,包括:升降旋转机构、急停止控制机构以及浸泡提篮机构,升降旋转机构包括配装座、升降驱动组件以及旋转驱动组件,升降驱动组件以及旋转驱动组件均安装在配装座上,升降驱动组件用于驱动旋转驱动组件沿着配装座升降,旋转驱动组件用于驱动紧急停止控制机构以及浸泡提篮机构同时旋转。本实用新型提供的机械手臂防撞装置主要由升降旋转机构、急停止控制机构以及浸泡提篮机构组成,其中,急停止控制机构安装在浸泡提篮机构与升降旋转机构之间,用于在浸泡提篮机构发生碰撞时控制升降旋转机构紧急停止动作,防撞效果较好,可以防止因操作失误导致撞击造成晶圆损坏的情况发生。
- 机械手臂装置
- [发明专利]电镀槽体喷流装置-CN202210978338.9在审
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张宇丞;高长风
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捷成微系统(惠州)股份有限公司
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2022-08-16
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2022-10-25
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C25D17/00
- 本发明提供了一种电镀槽体喷流装置,包括:主体结构、电镀组件以及电镀液喷流搅拌机构。其中,主体结构包括电镀槽体,电镀槽体用于装载制程所需电镀液,电镀槽体内部通过隔板分隔形成电镀液回流槽以及电镀槽;电镀组件安装在电镀槽内;电镀液喷流搅拌机构共同安装在电镀槽以及电镀组件上,电镀液喷流搅拌机构用于将电镀液喷射于晶圆上。本发明提供的电镀槽体喷流装置,设置的电镀液喷流搅拌机构具有旋转搅拌以及喷流功能,其能将电镀液喷进一般浸泡及涌流电镀方式所达不到的细小电路里,还能将缝隙里的微小气泡喷出,避免肉眼不可见的气泡造成电镀不均,提高产品良率,更能增进产品效能,使更细的金线电路制造成为可能。
- 电镀喷流装置
- [实用新型]一种垂直显影装置-CN202022598173.1有效
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郭立铭
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捷成微系统(惠州)股份有限公司
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2020-11-11
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2021-11-19
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G03F7/30
- 本实用新型公开一种垂直显影装置,包括承载组件,所述承载组件上设有可将PCB板夹紧呈垂直状态的治具;喷淋组件,所述喷淋组件包括对称设置的喷盘,两个喷盘之间具有间隙,所述承载组件可携带PCB板经过间隙,使得所述喷盘对PCB板进行喷淋,其中:所述喷淋组件通过滑轨和导轮可垂直升降的设于所述机台上,在所述喷盘上设置一拉臂,在所述机台上设置一震荡马达,将所述拉臂与所述震荡马达传动连接,使得震荡马达运行时能够通过拉臂携带所述喷盘在垂直方向震荡。本方案的喷盘垂直震荡运转,利用治具移送PCB垂直移动,消除其他物件阻挡、接触,使PCB完全暴露在药水里蚀刻或显影均匀,可以很好满足工艺生产要求,减少不良产品出现,提高PCB产出率。
- 一种垂直显影装置
- [发明专利]一种垂直显影装置-CN202011253607.2在审
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郭立铭
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捷成微系统(惠州)股份有限公司
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2020-11-11
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2021-02-26
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G03F7/30
- 本发明公开一种垂直显影装置,包括承载组件,所述承载组件上设有可将PCB板夹紧呈垂直状态的治具;喷淋组件,所述喷淋组件包括对称设置的喷盘,两个喷盘之间具有间隙,所述承载组件可携带PCB板经过间隙,使得所述喷盘对PCB板进行喷淋,其中:所述喷淋组件通过滑轨和导轮可垂直升降的设于所述机台上,在所述喷盘上设置一拉臂,在所述机台上设置一震荡马达,将所述拉臂与所述震荡马达传动连接,使得震荡马达运行时能够通过拉臂携带所述喷盘在垂直方向震荡。本方案的喷盘垂直震荡运转,利用治具移送PCB垂直移动,消除其他物件阻挡、接触,使PCB完全暴露在药水里蚀刻或显影均匀,可以很好满足工艺生产要求,减少不良产品出现,提高PCB产出率。
- 一种垂直显影装置
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