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[实用新型]一种用于物理气相沉积设备的弧旋转挡板装置-CN202321003082.6有效
发明人：陈刚;张兴强 -专利权人： 成都极星等离子科技有限公司
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及物理气相沉积设备领域，公开了一种用于物理气相沉积设备的弧旋转挡板装置，包括法兰座、套筒和芯轴，套筒的外壁上安装有密封圈，套筒上加工有扩径段，扩径段内安装有多个轴承组件和骨架型真空密封胶圈，套筒端部安装有支撑板，支撑板上通过螺柱连接有回转气缸，芯轴一端与回转气缸同轴连接，芯轴远离回转气缸的一端安装有L型的支架，支架上安装有与阴极弧源相配合的遮挡板。本实用新型通过设置套筒和套装套筒内的芯轴，并在芯轴两端分别安装位于外部的回转气缸和位于内部的遮挡板，在回转气缸的作用下可使遮挡板转动，以挡住不工作的阴极弧源，从而避免正在蒸发的靶材附着，以保证复合镀膜的效率、质量。
一种用于物理沉积设备旋转挡板装置

[实用新型]一种用于真空物理气相沉积设备的防漏气旋转主轴-CN202321010522.0有效
发明人：陈刚;周敏 -专利权人： 成都极星等离子科技有限公司
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及物理气相沉积设备领域，公开了一种用于真空物理气相沉积设备的防漏气旋转主轴，包括真空室底座，真空室底座内安装有主动轴，部分主动轴伸入真空室内，伸入真空室内的主动轴外侧安装有第一磁组，真空室底座上设有包裹主动轴的轴座，轴座外侧套装有与主动轴同轴设置的从动轴，从动轴靠近主动轴一端中部加工有包裹轴座配合的避让口，避让口处的从动轴内部安装有第二磁组，第二磁组与第一磁组的磁极相反，从动轴外侧套装有压套。本实用新型在主动轴与从动轴之间设置轴座将大气侧与真空侧分隔，利用第一磁组和第二磁组可是主动轴在不接触从动轴的情况下带动从动轴转动，从而解决了现有动态密封造成的漏气问题。
一种用于真空物理沉积设备漏气旋转主轴

[实用新型]一种用于多弧磁控设备的可调约束磁场产生装置-CN202321006076.6有效
发明人：陈刚;顾臻 -专利权人： 成都极星等离子科技有限公司
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及气相沉积设备领域，公开了一种用于多弧磁控设备的可调约束磁场产生装置，包括支撑板、内磁芯、外环磁芯和励磁线圈，内磁芯竖直安装在支撑板中部，外环磁芯同轴套装在内磁芯外侧的支撑板上，励磁线圈有两个，两个励磁线圈分别套装在内磁芯与外环磁芯上，且两个励磁线圈的磁极相反，支撑板、内磁芯和外环磁芯均由软磁材料制成，内磁芯上水平安装有靶材。本实用新型两个励磁线圈通过微小地调整两个励磁线圈的比例就能在很大的范围调整弧斑运动的环形区域半径，这样在工具的PVD沉积过程中通过不断调整励磁线圈的电流就可让阴极弧斑更均匀的刻蚀，再此过程中，靶材的利用率会极大的提高，同时区域半径增大可有效降低靶面温度。
一种用于多弧磁控设备可调约束磁场产生装置

[发明专利]一种用于真空物理气相沉积设备的防漏气旋转主轴-CN202310476506.9在审
发明人：陈刚;周敏 -专利权人： 成都极星等离子科技有限公司
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明涉及物理气相沉积设备领域，公开了一种用于真空物理气相沉积设备的防漏气旋转主轴，包括真空室底座，真空室底座内安装有主动轴，部分主动轴伸入真空室内，伸入真空室内的主动轴外侧安装有第一磁组，真空室底座上设有包裹主动轴的轴座，轴座外侧套装有与主动轴同轴设置的从动轴，从动轴靠近主动轴一端中部加工有包裹轴座配合的避让口，避让口处的从动轴内部安装有第二磁组，第二磁组与第一磁组的磁极相反，从动轴外侧套装有压套。本发明在主动轴与从动轴之间设置轴座将大气侧与真空侧分隔，利用第一磁组和第二磁组可是主动轴在不接触从动轴的情况下带动从动轴转动，从而解决了现有动态密封造成的漏气问题。
一种用于真空物理沉积设备漏气旋转主轴

[发明专利]一种适用于高光铝合金加工铣刀的硼化钛涂层-CN202310474037.7在审
发明人：陈刚;王鸣 -专利权人： 成都极星等离子科技有限公司
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于高光铝合金加工铣刀的硼化钛涂层，在所述高光铝合金加工铣刀基体的表面依次沉积Ti底层、TiN过渡层和BTi支撑层；其中Ti底层的厚度0.3～0.5μm，TiN过渡层的厚度为0.5～1.2μm，BTi支撑层的厚度为0.8～1.2μm；该涂层表面光滑细腻、高硬度、结合好、抗冲击性强，极低的摩擦系数。
一种适用于铝合金加工铣刀硼化钛涂层

[实用新型]适于高压铝压铸模具的铬铝钛基氮化物复合涂层-CN202021511400.6有效
发明人：陈刚 -专利权人： 成都极星等离子科技有限公司
申请日： 2020-07-27 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种适于高压铝压铸模具的铬铝钛基氮化物复合涂层，包括与基底结合的结合层和结合层表面沉积的表层，所述结合层以Cr沉积组成，所述表层由相互交替的CrAlN涂层和CrN涂层沉积堆叠组成，且表层的底面和顶面均为CrAlN涂层。本实用新型在不影响模具机械结构精度的条件下，具有耐快速升降温冲击的能力，同时还具有良好脱模性能、流动性能和高硬度耐磨性能。
适于高压压铸模具铬铝钛基氮化物复合涂层

[实用新型]适于冷冲压工艺的铬铝钛基氮化物复合涂层-CN202021513002.8有效
发明人：王鸣 -专利权人： 成都极星等离子科技有限公司
申请日： 2020-07-27 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种适于冷冲压工艺的铬铝钛基氮化物复合涂层，包括CrAlTiCN复合结构涂层，所述CrAlTiCN复合结构涂层包括以Ti打底沉积的底层、底层表面覆盖的由CrAlTiN沉积的过度层和过度层表面覆盖的由TiCN沉积的表层。本实用新型在冷冲压工艺中，能为模具、冲头提供超高的硬度，在保证冲压件成型质量的条件下，有效延长了模具、冲头的使用寿命，同还提高了冲压件成型后的外观品质。
适于冲压工艺铬铝钛基氮化物复合涂层

[实用新型]微喷砂设备自动转架-CN202021513762.9有效
发明人：张兴强;陈刚 -专利权人： 成都极星等离子科技有限公司
申请日： 2020-07-27 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： B24C9/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种微喷砂设备自动转架，包括承重座，电机输出轴穿过承重座连接有可带动其转动的公转盘，公转盘上沿圆心均匀设置有数根转轴，转轴穿过公转盘底部并连接有小齿轮，小齿轮啮合有固定安装在承重座上的大齿轮，转轴上固定套设有工装架，工装架包括固定安装在转轴两端的安装盘，安装盘沿盘心均匀设有数根工装串，每根工装串的底部设有棘轮，棘轮可拆卸连接棘爪，棘爪安装在位于转轴一侧并固定安装在公转盘上的安装柱上，转轴远离公转盘的一端设有限位盘。本实用新型通过公转盘、转轴和棘轮实现三重旋转，可保证一次放入大量的工件串，且不影响处理需要控制的精度，提高微喷砂的工作效率。
喷砂设备自动

[实用新型]一种防漏气拉动式引弧装置-CN202021505789.3有效
发明人：邓超;陈刚 -专利权人： 成都极星等离子科技有限公司
申请日： 2020-07-27 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种防漏气拉动式引弧装置，包括气缸、连接法兰、绝缘法兰、延长杆、定位座和引弧针，还包括波纹管密封件，所述波纹管密封件包括波纹管管体、密封端盖和密封端头，所述波纹管管体贯穿真空室腔壁，一端位于真空室内并连接有密封端头，另一端位于真空室外并连接有密封端盖，所述密封端盖靠近密封端头的一侧与绝缘法兰连接，另一侧与连接法兰连接，所述气缸固定在连接法兰远离密封端盖的一侧，气缸的活塞杆穿入波纹管管体内，并与密封端头固定连接，所述密封端头远离气缸的一端与延长杆固定连接，延长杆与定位座连接，所述定位座上安装有引弧针。本实用新型通过增设波纹管密封件，有效延长了设备的整体平均无故障工作时间。
一种漏气拉动式引弧装置

[发明专利]一种改进型阳极层离子源-CN201810908038.7有效
发明人：王鸣;陈刚 -专利权人： 成都极星等离子科技有限公司
申请日： 2018-08-10 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： C23C16/513 文献下载
摘要：本发明公开了一种改进型阳极层离子源，包括由阳极环、内阴极和外阴极构成的放电室，所述阳极环位于内阴极与外阴极之间，内阴极与外阴极之间设置有用于穿过阳极环内孔中心的柱状磁体，所述阳极环一侧端面为锥面，且阳极环关于柱状磁体的中心轴线轴对称，所述内阴极的与外阴极的磁极靴之间形成阴极缝隙，阴极缝隙关于柱状磁体的中心轴线轴对称，且阴极缝隙每处的出射方向与该处下方的阳极环锥面垂直。本发明通过改变离子射流在空间角度方向上的均匀度，避免离子射流过度集中，从而提高整体离子束流在主要沉积方向上的分布均匀度。
一种改进型阳极离子源

[发明专利]铬-氮化铬复合涂层及其在纳米复合刀具的应用-CN201810908876.4有效
发明人：王鸣;陈刚 -专利权人： 成都极星等离子科技有限公司
申请日： 2018-08-10 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： C23C28/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种铬‑氮化铬复合涂层、沉积有铬‑氮化铬复合涂层的纳米复合刀具及其制备方法，其中铬‑氮化铬复合涂层是由铬层和氮化铬层相互交替构成的多层涂层结构，该结构可应用于金属零件、刀具、模具等产品上，不仅可提高产品表面的硬度及耐腐蚀性能，还能使产品表面具有较好的抗冲击性能和耐磨性能。
氮化复合涂层及其纳米刀具应用

[发明专利]一种可降低电子逃逸率的离子源-CN201810908015.6有效
发明人：王鸣;陈刚 -专利权人： 成都极星等离子科技有限公司
申请日： 2018-08-10 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： H01J27/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种可降低电子逃逸率的离子源，包括阳极环、内阴极和外阴极，述阳极环、内阴极和外阴极均为轴对称结构，外阴极的磁轭中部固定有软磁柱，软磁柱一端穿过阳极环的内孔中心并与内阴极的中部连接，所述内阴极的磁极靴上任意一处的纵截面形状均与对应处外阴极的磁极靴纵截面形状互为镜像对称，且内阴极的磁极靴与外阴极的磁极靴之间形成环形的阴极缝隙，所述阳极环正对于阴极缝隙的下方，所述外阴极的磁轭上设置有两块永磁体，两块永磁体关于软磁柱对称，且两块永磁体分别位于阳极环上相对两侧的正下方。本发明通过增加对称的磁场，提高阴极缝隙处两边磁场分布的均匀度，可减小电子的逃逸率，有效降低电子对阴极磁极靴的轰击概率。
一种降低电子逃逸离子源

[实用新型]一种沉积在液流电池的极板或液流流道上的复合导电层-CN201920937965.1有效
发明人：王鸣;陈刚 -专利权人： 成都极星等离子科技有限公司
申请日： 2019-06-20 - 公布日： 2020-01-07 - 主分类号： H01M8/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种沉积在液流电池的极板或液流流道上的复合导电层制备的复合导电层，包括极板或液流流道以及依次沉积在极板或液流流道表面上的结构强化层、导电强化层和耐腐蚀层。本实用新型通过在极板或液流流道上沉积一层复合导电层代替传统的石墨或金属材料来制作液流电池的液流流道，不仅导电率高、耐腐蚀性好且化学性能稳定，而且成本低、便于加工和不易变形等优点。
液流极板复合导电层沉积本实用新型流道结构强化层金属材料不易变形化学性能流道表面耐腐蚀层耐腐蚀性液流电池传统的导电率强化层制作液石墨导电制备电池加工

[发明专利]一种沉积在液流电池的极板或液流流道上的复合导电层-CN201910537651.7在审
发明人：王鸣;陈刚 -专利权人： 成都极星等离子科技有限公司
申请日： 2019-06-20 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： H01M8/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种在液流电池极板或液流流道上沉积复合导电层的方法制备的复合导电层，包括极板或液流流道以及依次沉积在极板或液流流通表面上的结构强化层、导电强化层和耐腐蚀层。本发明通过在极板或液流流道上沉积一层复合导电层代替传统的石墨或金属材料来制作液流电池的液流流道，不仅导电率高、耐腐蚀性好且化学性能稳定，而且成本低、便于加工和不易变形等优点。
液流极板复合导电层沉积液流电池流道结构强化层金属材料不易变形化学性能耐腐蚀层耐腐蚀性传统的导电率强化层制作液石墨导电制备电池流通加工

[发明专利]一种多弧离子镀及镀膜方法-CN201610263110.6有效
发明人：陈刚;周敏;樊庆根;陈亮 -专利权人： 成都极星等离子科技有限公司
申请日： 2016-04-26 - 公布日： 2017-12-29 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种多弧离子镀，它包括炉体（31）、安装在炉体（31）上的封闭门、转架（32）、电弧（33）以及设置于炉体（31）外部的抽真空装置（34）和负电源A（35），炉体（31）的内壁上设置有多个电弧（33），负电源B（38）与磁铁（37）连接，负电源B（38）设置于炉体（31）的外部，磁铁（37）的端面上设置有块靶材（39），抽真空装置（34）的工作端与炉体（31）的内部连通，螺纹杆（41）设置于炉体（31）的内壁上，螺纹杆（41）上设置有多个隔热钢板（42），所述的炉体（31）内还设置有升温装置（43）和温度传感器。本发明的有益效果是实现了带孔刀具的快速安装、方便安装和卸下夹具、提高涂层均匀性、提高刀具机械强度。
一种离子镀镀膜方法

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