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- [发明专利]晶圆偏移量检测方法-CN202211520140.2在审
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吴天尧;彭雪亮;陈兴隆;苗涛
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沈阳芯源微电子设备股份有限公司
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2022-11-30
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2023-03-07
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H01L21/67
- 本发明提供了一种晶圆偏移量检测方法，包括：获取传感器扫描到所述晶圆边缘的扫描点的第一边缘位置，所述传感器扫描到所述扫描点时产生第一扫描信号；获得所述第一扫描信号产生时所述机械手的所在位置与所述第二位置之间的第一距离；通过所述第一边缘位置和所述第一距离获得当所述机械手位于所述第二位置时所述扫描点的第二边缘位置；通过所述第二边缘位置和所述晶圆的半径获得所述晶圆偏移时的偏移圆心位置；通过所述偏移圆心位置与所述基准圆心位置之间的位置关系获得所述晶圆的偏移量，本发明无需在设备内设置对中单元避免了晶圆运输至对中单元的步骤，进而提升了提高工艺效率。
- 偏移检测方法
- [实用新型]多电压电池并联电路-CN201720986800.4有效
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柳程奕;张睿;彭雪亮
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辽宁省肿瘤医院;沈阳恒德医疗器械研发有限公司
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2017-08-09
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2018-04-10
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H02J7/36
- 本实用新型涉及一种多电压电池并联电路,包括多个并联连接的电池电路单元，每个电池电路单元均包括电池、电池开关电路、电压判定电路；电池与电池开关电路串联，电池开关电路用于控制相应电池电路是否连通；电压判定电路设置于电池与电池开关电路之间，电压判定电路用于对多个电池电路单元的电池电压进行比较，并控制与电池电压较高者连接的电池开关电路导通。本实用新型的优点是当多块电池电压相等时，由多块电池共同供电；当多块电池电压不等时，由每块电池连接的电压判定电路对当前电池电压进行比较，控制多块电池中较高电压的电池开关电路导通，并将多块电池中较高电压电池连通，即可实现并联电池的无缝切换，防止电池反向充电。
- 电压电池并联电路
- [实用新型]一种便于拆卸的减震温控器-CN201721019711.9有效
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柳程奕;彭雪亮;杨兴;杨军
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沈阳多宝星科技有限公司
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2017-08-15
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2018-04-06
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G05D23/19
- 本实用新型公开了一种便于拆卸的减震温控器，包括温控器本体，所述温控器本体包括主体件和接口件，所述接口件的下端设有插条，所述主体件的上端设有与插条相匹配的插槽，所述温控器本体的下端设有安装板，所述安装板的上端设有连杆，所述连杆的外侧设有螺帽，所述螺帽的下端和安装板的上端均设有缓冲垫。本实用新型在主体件的上端和和接口件的下端设有相互匹配的插条和插槽，并将温控器本体的内部贯穿连杆，便于主体件和接口件的拆装，利于后期的维修和清理，通过在安装板的上端和螺帽的下端设有缓冲垫，在对温控器本体进行加固的同时对温控器本体进行减震缓冲作用，结构简单，利于拆装，缓冲保护，使用安全方便。
- 一种便于拆卸减震温控
- [发明专利]多电压电池并联电路-CN201710673072.6在审
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柳程奕;张睿;彭雪亮
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辽宁省肿瘤医院;沈阳恒德医疗器械研发有限公司
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2017-08-09
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2017-12-01
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H02J7/36
- 本发明涉及一种多电压电池并联电路,包括多个并联连接的电池电路单元，每个电池电路单元均包括电池、电池开关电路、电压判定电路；电池与电池开关电路串联，电池开关电路用于控制相应电池电路是否连通；电压判定电路设置于电池与电池开关电路之间，电压判定电路用于对多个电池电路单元的电池电压进行比较，并控制与电池电压较高者连接的电池开关电路导通。本发明的优点是当多块电池电压相等时，由多块电池共同供电；当多块电池电压不等时，由每块电池连接的电压判定电路对当前电池电压进行比较，控制多块电池中较高电压的电池开关电路导通，并将多块电池中较高电压电池连通，即可实现并联电池的无缝切换，防止电池反向充电。
- 电压电池并联电路
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