专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]相移空白掩模及其制造方法-CN201310163203.8有效
  • 南基守;姜亘远;金东建;张种沅;崔珉箕 - 株式会社S&S技术
  • 2013-04-25 - 2013-10-30 - G03F1/26
  • 本发明提供一种相移空白掩模,其中相移层形成为至少两个连续层或多层膜且所述相移层中所包含的最上相移层较薄地形成以含有少量氧(O)以便增强其耐化学性和耐久性。因此,包含相对于含有酸性和碱性材料、热的去离子水或臭氧水的清洁溶液具有增强的耐化学性和耐久性的相移层的相移空白掩模可使用具有增强的耐化学性和耐久性的最上相移层而提供,所述清洁溶液用于在空白掩模的制造期间重复地执行的清洁工艺。此外,可防止当重复地执行清洁工艺时引起的相移层的折射率以及相移度的降级,这是因为最上相移层具有增强的耐化学性和耐久性。因此,可提供包含薄的相移层的相移空白掩模。
  • 相移空白及其制造方法

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