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[发明专利]一种柔性薄膜温度传感器阵列及其制备方法-CN202310429284.5在审
发明人：何凯;汪民;许玉方;柳舒航;郝宏伟 -专利权人： 广州德芯半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-20 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01K7/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种柔性薄膜温度传感器阵列，采用MEMS工艺制备，具体包括：柔性衬底；设置于柔性衬底上的热敏材料层；与热敏材料层连接的引线；包裹住柔性衬底上表面的密封薄膜层。本发明还提供一种柔性薄膜温度传感器阵列的制备方法，包括在选定的基础衬底上制备柔性衬底；在柔性衬底上镀上热敏材料层；引出热敏材料层的引线并对柔性衬底上表面进行封装；对封装完成的柔性衬底进行刻蚀及切割处理，将基础衬底去除并获得若干个柔性薄膜温度传感器阵列。本发明提出的一种柔性薄膜温度传感器阵列及其制备方法，其制备的柔性薄膜温度传感器阵列以柔性材料为衬底，在使用过程中可以与人体皮肤实现无缝接触，实现对人体温度变化的精确及连续检测。
一种柔性薄膜温度传感器阵列及其制备方法

[发明专利]一种嗅感描述符获取方法、系统及相关装置-CN201910324005.2有效
发明人：骆德汉;靳樱子 -专利权人： 广州德芯半导体科技有限公司
申请日： 2019-04-22 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本申请所提供的一种嗅感描述符获取方法，包括：获取目标对象的气体分子的物化特性数据；将物化特性数据输入预设随机森林模型，输出对应的嗅感描述符；其中，预设随机森林模型是模型训练而得到的。该方法利用预设随机森林模型获取目标对象对应的嗅感描述符，相比于相关技术中通过人工嗅辩获取嗅感描述符，避免了测试环境、实验偏差、受试者敏感度和训练程度等多因素的影响，故能够提高获取的嗅感描述符的准确度。此外，该方法在需要获取大量目标对象的嗅感描述符时，可以节省大量时间和资源。本申请还提供一种嗅感描述符获取系统、设备及计算机可读存储介质，均具有上述有益效果。
一种描述获取方法系统相关装置

[发明专利]一种基于铂电阻的氢气传感器及其制备方法-CN202310416128.5在审
发明人：何凯;汪民;许玉方;柳舒航;郝宏伟 -专利权人： 广州德芯半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-18 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于铂电阻的氢气传感器，包括衬底、键合凸点、与键合凸点连接的引线及设置于所述衬底上表面的铂电阻层和钯金属材料层；键合凸点设置于铂电阻层及钯金属材料层上；铂电阻层和钯金属材料层采用MEMS工艺设置于所述衬底上表面。该氢气传感器体积小，结构简单，适用于狭小空间环境中的氢气的高精度探测。本发明还提供了一种基于铂电阻的氢气传感器的制备方法，采用MEMS工艺制备的氢气传感器体积小，结构简单，适用于狭小空间环境中的氢气的高精度探测，能有效消除由温度引起的气体检测误差，提高氢气传感器的检测精度。
一种基于铂电阻氢气传感器及其制备方法

[发明专利]一种多合一智能传感器模组制备方法及系统-CN202310261441.6在审
发明人：何凯;汪民;许玉方 -专利权人： 广州德芯半导体科技有限公司
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01K13/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种多合一智能传感器模组制备方法及系统，包括：制备湿度传感器组，通过湿度传感器组检测腋窝湿度；湿度传感器组设置于智能传感器模组的传感探测端几何中心；制备压力传感器组，通过压力传感器组检测腋窝肌肉夹持压力；压力传感器组设置在湿度传感器组的外围，处于湿度传感器组与温度传感器组之间；制备温度传感器组，通过温度传感器组检测腋窝温度；温度传感器组设置在压力传感器组外围；制备智能处理控制器组，通过智能处理控制器组，智能分析腋窝出汗程度，智能判定腋窝肌肉夹持传感器检测探头与腋窝贴合程度及夹持位置，控制精确检测腋窝实际温度。
一种合一智能传感器模组制备方法系统

[发明专利]一种掺杂薄膜铂电阻温度传感器及其制备方法-CN202310429286.4在审
发明人：何凯;汪民;许玉方;柳舒航;郝宏伟 -专利权人： 广州德芯半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-20 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01K7/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种掺杂薄膜铂电阻温度传感器，包括：衬底、设置于衬底上的合金成分可调的掺杂薄膜、设置于掺杂薄膜上的金属触垫、与金属触垫键合的引线和包裹住衬底上表面的密封釉层。本发明还提供一种掺杂薄膜铂电阻温度传感器的制备方法，包括在选定的衬底上镀上合金成分可调的掺杂薄膜；对镀好掺杂薄膜衬底进行均匀化退火处理，并制备金属触垫，获取传感器基片；将传感器基片上的金属触垫与引线键合后对传感器基片进行封装，获取传感器元件。该制备方法所制备的温度传感器能达到国际标准规定的3850ppm/℃，且该传感器以合金成分可调的掺杂薄膜作为温度敏感材料，使得温度传感器的测温范围广，有效克服了现有薄膜铂电阻测温范围小的技术缺陷。
一种掺杂薄膜铂电阻温度传感器及其制备方法

[发明专利]一种生物微弱小信号的放大调理芯片系统-CN202111533873.5有效
发明人：汪民;许玉方;周华丰 -专利权人： 广州德芯半导体科技有限公司
申请日： 2021-12-15 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本发明提出了一种生物微弱小信号的放大调理芯片系统，所述放大调理芯片系统包括用于传感器、开关组、开关控制电路、调理电路组、核心处理器和灯光声音示警模块；所述传感器的信号输出端通过开关组分别与所述调理电路组进行电连接；所述调理电路组的信号输出端分别与核心处理器相连；所述核心处理器分别与开关控制电路和灯光声音示警模块进行电连接。
一种生物微弱信号放大调理芯片系统

[发明专利]一种薄膜铂电阻及其制备方法-CN202310065059.8在审
发明人：何凯;柳舒航;汪民;许玉方;郝宏伟 -专利权人： 广州德芯半导体科技有限公司
申请日： 2023-01-28 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H01C7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种薄膜铂电阻及其制备方法，该电阻包括单晶硅衬底；设置于所述单晶硅衬底上表面的铂薄膜电阻层；设置于所述铂薄膜电阻层上的铂电阻凸点，所述铂电阻凸点采用硅镀铜的方式制备；与所述铂电阻凸点键合的引线；设置于所述铂薄膜电阻层上表面的玻璃釉层。本发明提供的一种薄膜铂电阻，其铂电阻凸点采用硅镀铜的方式制备，可以使得薄膜铂电阻在电阻电焊过程中，不会发生由于焊接温度过高而使凸点被击穿的情况，有效避免了焊接过程中造成的元件失效问题，提高薄膜铂电阻元件的可靠性。
一种薄膜铂电阻及其制备方法

[发明专利]一种阵列型MEMS多气体传感器的实现方法-CN202110825328.7有效
发明人：汪民;许玉方 -专利权人： 广州德芯半导体科技有限公司
申请日： 2021-07-21 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种阵列型MEMS多气体传感器的实现方法，包括：步骤1：获取试验需求，并按照试验需求，确定气体测量类型；步骤2：根据气体测量类型，从气体元件数据库中选择对应的气体组件；步骤3：基于测试平台，并按照气体组件以及试验需求对应的试验规则，构建阵列型MEMS多气体传感器模型；步骤4：对阵列型MEMS多气体传感器模型进行测试，并进行合格判断，之后将合格的阵列型MEMS多气体传感器模型进行输出制作。过对气体元件进行组合测试以及合格判断，并输出制作，可以有效降低传感器在创建过程中的误差。
一种阵列 mems 气体传感器实现方法

[发明专利]热电堆优化测温方法-CN202210186783.1在审
发明人：朱松鹤 -专利权人： 广州德芯半导体科技有限公司
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： G01J5/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种热电堆优化测温方法，其将热电堆传感器采集到的数据经判断后通过运算放大器根据情况放大，放大后的信号再由单片机及搭载于单片机上的算法程序进行优化，使得热释电传感器高温测量范围可达400摄氏度。提高了热电堆的采温范围，从而可将目前市面上热电堆高温部分采集范围提升至400℃左右，增加了热电偶在市场上的应用场景。本发明与现有的测温技术相比，本发明在温度测量方法上结合了不同信号放大情况及算法优化，创新优化了现有的测温方法，将测温范围提升了几个档次，而且对硬件改进难度低，成本低，效果好。
热电优化测温方法

[发明专利]一种基于纳米悬臂梁阵列的谐振式阵列气体传感器-CN202110803440.0有效
发明人：汪民;许玉方 -专利权人： 广州德芯半导体科技有限公司
申请日： 2021-07-13 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： G01N29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种纳米悬臂梁阵列及谐振式阵列气体传感器，包括装置外壳，所述装置外壳内部设置有底座，所述装置外壳内部后端连接有若干施力弹簧，所述施力弹簧远离装置外壳的一端连接有连接固定板；所述连接固定板远离施力弹簧的一端上阵列有若干支撑板，所述支撑板的前端设置有感应区块；所述底座上设置有若干限位块；解决了纳米悬臂梁阵列及谐振式阵列气体传感器，结构稳定性不能得到保证，受到外力易损坏的技术问题。
一种基于纳米悬臂梁阵列谐振气体传感器

[发明专利]基于MEMS气体传感器阵列的多气体检测方法及系统-CN202110733541.5有效
发明人：汪民;许玉方 -专利权人： 广州德芯半导体科技有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： G01N21/3504 文献下载
摘要：本发明公开了一种MEMS气体传感器阵列的多气体检测方法及系统，其方法包括：构建预设MEMS气体传感器阵列的气体传感器网络，通过所述气体传感器网络接收预设MEMS气体传感器阵列中每个第一气体传感器在目标环境内的检测数据，根据检测数据确定目标环境内的第一气体成分以及各气体浓度，采集目标环境内的气体存储到预设容器中，利用预设MEMS气体传感器阵列中的第二气体传感器对预设容器中的存储气体进行光线吸收测试，获取测试结果，根据所述测试结果确定目标环境内的第二气体成分以及各气体浓度，根据第一和第二气体成分以及各气体浓度综合获得目标环境内的目标气体成分以及各气体浓度。提高了最终检测结果的准确性。
基于 mems 气体传感器阵列检测方法系统

[发明专利]一种芯片集成传感器信号调理电路-CN202111549309.2在审
发明人：汪民;许玉方;周华丰 -专利权人： 广州德芯半导体科技有限公司
申请日： 2021-12-17 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： G01D5/12 文献下载
摘要：本发明提出了一种芯片集成传感器信号调理电路。所述芯片集成传感器信号调理电路包括开关、开关控制电路、放大电路组、模数转换器、标准信号输出模块和核心处理器；所述芯片集成传感器的信号输出端通过开关与所述放大电路组建立电连接；所述放大电路组的信号输出端通过所述模数转换器输入至核心处理器中，所述核心处理器分别与所述标准信号输出模块和开关控制电路电连接。
一种芯片集成传感器信号调理电路

[发明专利]一种全桥型压力传感器的信号调理芯片和信号调理方法-CN202111533644.3在审
发明人：汪民;许玉方;周华丰 -专利权人： 广州德芯半导体科技有限公司
申请日： 2021-12-15 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： G01L19/04 文献下载
摘要：本发明提出了一种全桥型压力传感器的信号调理芯片和信号调理方法。所述信号调理芯片包括理论值检测模块、信号调理电路、核心处理器、开关、开关控制器和信号调整模块；所述全桥型压力传感器的电压信号输出端分别与所述理论值检测模块和信号调理电路的电压信号输入端相连；所述理论值检测模块的电压信号输出端与所述核心处理器的理论电压输入端相连；所述开关控制器的控制信号输入端与所述核心处理器的开关控制信号输出端相连；所述信号调整模块的压差信号输入端与所述核心处理的的压差信号输出端相连；所述信号调整模块的电压信号输出端与所述信号调理芯片的调整信号输出端相连。
一种全桥型压力传感器信号调理芯片方法

[发明专利]一种非高温连接温度传感器的封装方法-CN202111030162.6在审
发明人：何凯;汪民;许玉方;赵克荣 -专利权人： 广州德芯半导体科技有限公司
申请日： 2021-09-03 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种非高温连接温度传感器的封装方法，其采用高银含量（Ag含量高达40~60%）的复合钎料，在真空条件加热保温实现瞬时液相扩散焊接并且旋转磁场辅助焊接。此方法可使本发明的步骤（3）电子器件的基板连接可以在低于服役温度（60℃到100℃）以下进行，相对于在服役温度下操作，本发明的方法更加方便及容易操作，无需在加热的环境中进行本发明的连接难度也大为降低，因而本发明能有效地减少高温器件封装难度，减少加工成本，并且封装的电子嵌件服役性能更加优异，更耐高温。
一种高温连接温度传感器封装方法

[发明专利]由金属氧化物多孔薄膜和孔洞构成的复合结构气体传感器-CN202110784468.4在审
发明人：汪民;许玉方 -专利权人： 广州德芯半导体科技有限公司
申请日： 2021-07-12 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明提供了由金属氧化物多孔薄膜和孔洞构成的复合结构气体传感器，包括传感器本体，所述传感器本体包括底板，所述底板的上端固定设有半导体层一，所述半导体层一的上端设有电极组，所述电极组的上端设有半导体层二，所述底板和电极组与保护壳内部的固定装置连接，所述保护壳用于保护所述电极组、半导体层一和半导体层二，所述半导体层一和半导体层二为薄膜结构，所述半导体层二上下贯通设有若干检测孔洞，通过设置固定装置解决了现有的带有保护壳的气体传感器仅仅通过壳体保护，在具备保护作用的同时稳定性较差，容易导致传感器在壳体内产生晃动，具有一定的缺陷性的技术问题。
金属氧化物多孔薄膜孔洞构成复合结构气体传感器

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