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- [发明专利]基于湿式处理的表面粗化方法-CN201680052691.7在审
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桥本圭祐;染谷安信;岸冈高广;坂本力丸
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日产化学工业株式会社
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2016-09-15
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2018-05-11
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H01L21/306
- 本发明提供基板表面的粗化方法。本发明的表面粗化方法包括下述工序:第1工序,在基板的表面上涂布含有无机粒子(a1)和有机树脂(a2)的组合物(a3),然后进行干燥和固化,从而在该基板上形成有机树脂层(A);第2工序,通过用含有氟化氢、过氧化氢或酸的溶液蚀刻形成了有机树脂层(A)的基板从而使该基板的表面粗化。特别优选的方式中,蚀刻利用含有氟化氢和氟化铵、或过氧化氢和铵的溶液进行,有机树脂层(A)以相对于有机树脂(a2)100质量份而言无机粒子(a1)为5~50质量份的比例含有无机粒子(a1)和有机树脂(a2),组合物(a3)使用作为无机粒子(a1)的二氧化硅或氧化钛分散在有机溶剂中而得的二氧化硅溶胶或氧化钛溶胶、与有机树脂(a2)的溶液的混合物。本方法可应用于LED的光取出层或太阳能电池的低反射玻璃。
- 基于处理表面方法
- [发明专利]形成膜的组合物及离子注入方法-CN201380008178.4有效
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大桥智也;岸冈高广
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日产化学工业株式会社
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2013-02-08
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2014-10-08
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H01L21/265
- 本发明的课题是提供一种离子注入方法和形成离子注入用膜的组合物以及形成抗蚀剂下层膜的组合物。解决手段是,一种离子注入方法,其包括以下工序:在基板上涂布形成膜的组合物并烘烤从而形成膜的工序,所述组合物包含含有13族、14族、15族或16族的元素的化合物和有机溶剂;将杂质离子从前述膜的上方经由前述膜注入到前述基板中,并且将前述膜中的13族、14族、15族或16族的元素导入到前述基板中的工序。前述形成膜的组合物是包含含有13族、14族、15族或16族的元素的化合物和有机溶剂的形成离子注入用膜的组合物。另外,其是包含具有至少两个硼酸酯基的化合物的形成抗蚀剂下层膜的组合物。
- 形成组合离子注入方法
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