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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]静电卡盘装置-CN201880060099.0有效
发明人： 小坂井守;尾崎雅树;前田佳祐 -专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2018-09-26 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明的静电卡盘装置具备：静电卡盘部，具有载置试样的试样载置面且具有静电吸附用第1电极；冷却基部，相对于静电卡盘部载置于与试样载置面相反的一侧且冷却静电卡盘部；及粘接层，将静电卡盘部和所述冷却基部粘接在一起，静电卡盘部在粘接层侧具有凹凸，第1电极的表面电阻值高于1.0Ω/□且低于1.0×1010Ω/□。
静电卡盘装置

[发明专利]静电卡盘装置-CN202310780882.7在审
发明人： 小坂井守;尾崎雅树;前田佳祐 -专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2018-09-26 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明的静电卡盘装置具备：静电卡盘部，具有载置试样的试样载置面且具有静电吸附用第1电极；冷却基部，相对于静电卡盘部载置于与试样载置面相反的一侧且冷却静电卡盘部；及粘接层，将静电卡盘部和所述冷却基部粘接在一起，静电卡盘部在粘接层侧具有凹凸，第1电极的表面电阻值高于1.0Ω/□且低于1.0×1010Ω/□。
静电卡盘装置

[发明专利]静电卡盘装置-CN202310776968.2在审
发明人： 小坂井守;尾崎雅树;前田佳祐 -专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2018-09-26 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明的静电卡盘装置具备：静电卡盘部，具有载置试样的试样载置面且具有静电吸附用第1电极；冷却基部，相对于静电卡盘部载置于与试样载置面相反的一侧且冷却静电卡盘部；及粘接层，将静电卡盘部和所述冷却基部粘接在一起，静电卡盘部在粘接层侧具有凹凸，第1电极的表面电阻值高于1.0Ω/□且低于1.0×1010Ω/□。
静电卡盘装置

[发明专利]静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法-CN202310448843.7在审
发明人：日高宣浩;钉本弘训;小坂井守 -专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2017-01-12 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种静电卡盘装置，其具备：基体，将含有碳化硅粒子及氧化铝粒子的陶瓷粒子的烧结体作为形成材料，一个主面为载置板状试样的载置面；及静电吸附用电极，在所述基体中设置于与所述载置面相反的一侧的表面或所述基体的内部，所述烧结体的体积固有电阻值在24℃至300℃的整个范围内为0.5×1015Ωcm以上，表示所述烧结体的所述体积固有电阻值相对于所述烧结体的体积固有电阻值的测定温度的关系的图表在24℃至300℃的范围内具有最大值，所述烧结体中的除了铝及硅以外的金属杂质含量为100ppm以下。
静电卡盘装置制造方法

[发明专利]静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法-CN202310448839.0在审
发明人：日高宣浩;钉本弘训;小坂井守 -专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2017-01-12 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种静电卡盘装置，其具备：基体，将含有碳化硅粒子及氧化铝粒子的陶瓷粒子的烧结体作为形成材料，一个主面为载置板状试样的载置面；及静电吸附用电极，在所述基体中设置于与所述载置面相反的一侧的表面或所述基体的内部，所述烧结体的体积固有电阻值在24℃至300℃的整个范围内为0.5×1015Ωcm以上，表示所述烧结体的所述体积固有电阻值相对于所述烧结体的体积固有电阻值的测定温度的关系的图表在24℃至300℃的范围内具有最大值，所述烧结体中的除了铝及硅以外的金属杂质含量为100ppm以下。
静电卡盘装置制造方法

[发明专利]陶瓷基体及基座-CN201980022301.5有效
发明人： 小坂井守;日高宣浩;木村直人;钉本弘训 -专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2019-03-28 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： C04B35/117 文献下载
摘要：本发明的陶瓷基体以含有碳化硅粒子的电介质材料为形成材料，基体的表面上的每单位面积的碳化硅粒子的个数少于基体的截面上的每单位面积的碳化硅粒子的个数。
陶瓷基体基座

[发明专利]静电卡盘装置-CN201880060146.1在审
发明人： 小坂井守;尾崎雅树;前田佳祐 -专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2018-09-12 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明的目的在于，减少晶片的面内的蚀刻变得不均的情况。本发明的静电卡盘装置具备：静电卡盘部，具有载置试样的试样载置面且具有静电吸附用第1电极；冷却基部，相对于静电卡盘部载置于与试样载置面相反的一侧且冷却静电卡盘部；及粘接层，将静电卡盘部和冷却基部粘接在一起，冷却基部具有作为RF电极的第2电极的功能，在静电卡盘部与冷却基部之间具有RF电极或LC调整用第3电极，第3电极与静电卡盘部及冷却基部粘接且与冷却基部绝缘。
静电卡盘装置

[发明专利]静电卡盘装置-CN201580063056.4有效
发明人： 小坂井守;三浦幸夫 -专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2015-11-19 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种静电卡盘装置，在本发明中，所述静电卡盘装置具备分割为多个的加热器，可以以简单的结构对由各加热器所加热的区域进行均匀的温度控制。本发明静电卡盘装置中，具备：静电卡盘部，在一主面上具有载置板状试料的载置面，并且具备静电吸附用电极；温度调节用基座部，相对于所述静电卡盘部而配置于与所述载置面相反的一侧，对所述静电卡盘部进行冷却；高频产生用电极，以层状配置于所述静电卡盘部与所述温度调节用基座部之间；高频电源，连接于所述高频产生用电极；第1加热元件，包括以层状配置于所述高频产生用电极与所述温度调节用基座部之间的多个主加热器；及保护电极，以层状配置于所述高频产生用电极与所述第1加热元件之间。
静电卡盘装置

[发明专利]静电卡盘装置-CN201780007201.6在审
发明人： 小坂井守;三浦幸夫;石村和典;前田佳祐;河野仁;金原勇贵;前田进一;伊藤智海 -专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2017-01-18 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种静电卡盘装置，其具备：静电卡盘部，具有载置板状试样的载置面，并且内置静电吸附用内部电极；基底部，冷却所述静电卡盘部；及粘接层，粘接所述静电卡盘部和所述基底部而一体化，在所述静电卡盘部上设置第1贯穿孔，在所述基底部上设置与所述第1贯穿孔连通的第2贯穿孔，在所述第2贯穿孔中固定筒状绝缘子，在所述绝缘子的所述静电卡盘部侧的顶端面与所述静电卡盘部之间夹入环状密封部件，筒状绝缘壁部件位于所述密封部件的径向内侧。
静电卡盘贯穿孔绝缘子静电卡盘装置环状密封部件静电吸附密封部件内部电极顶端面固定筒绝缘壁载置板载置面粘接层部侧夹入内置筒状粘接连通冷却一体化

[发明专利]静电卡盘装置-CN201680055076.1在审
发明人：前田进一;三浦幸夫;小坂井守;河野仁 -专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2016-09-13 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明的静电卡盘装置具备：静电卡盘部，具有载置板状试样的载置面；温度调整用基部，与静电卡盘部的与载置面相反的一侧的面相对地配置；粘接部，将静电卡盘部与温度调整用基部之间进行粘接；及环状的聚焦环，包围载置面的周围，由静电卡盘部、聚焦环、粘接部及温度调整用基部的堤部所包围的空间的体积大于粘接部在使用温度下的体积膨胀量。
静电卡盘装置

[发明专利]静电卡盘装置-CN201280020338.2有效
发明人：三浦幸夫;石村和典;小坂井守 -专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2012-04-27 - 公布日： 2017-03-22 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种静电卡盘装置，其具备具有作为载置板状试样(W)的载置面的一个主面并且内置有静电吸附用内部电极(13)的静电卡盘部(2)和用于调节静电卡盘部(2)的温度的温度调节用基部(3)，温度调节用基部(3)的、位于静电卡盘部侧的表面的一部分或整个面由片状或膜状的绝缘材料(4)覆盖，在该绝缘材料(4)上胶粘有薄板状的加热元件(5)，静电卡盘部(2)与温度调节用基部(3)隔着使液态的胶粘剂固化而成的绝缘性的有机类胶粘剂层(6)胶粘一体化。
静电卡盘装置

[发明专利]静电卡盘装置-CN201080056197.0有效
发明人：佐佐木康晴;增泽健二;真壁晓之;小坂井守;佐藤隆;石村和典;早原龙二;河野仁 -专利权人：东京毅力科创株式会社;住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2010-12-08 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种静电卡盘装置，其由以下部件构成：静电卡盘部；环状的聚焦环部，设置成包围该静电卡盘部；和冷却基部，冷却该静电卡盘部和聚焦环部。聚焦环部包括环状的聚焦环、环状的导热片、环状的陶瓷环、非磁性体的加热器以及向该加热器供电的电极部。
静电卡盘装置

[发明专利]静电卡盘装置-CN201180007703.1有效
发明人： 小坂井守;石村和典;佐藤隆;早原龙二;渡边刚志;森谷义明;古内圭 -专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2011-01-28 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种静电卡盘装置，其特征在于，具有：静电卡盘部，将一个主面作为放置板状试料的放置面，并且内置有静电吸附用内部电极；和温度调整用基底部，将静电卡盘部调整为所需的温度，在上述静电卡盘部的与上述放置面相反侧的主面上，经由粘接材料粘接加热部件，上述温度调整用基底部的上述静电卡盘部侧的面的整体或一部分由片状或薄膜状的绝缘材料被覆，粘接有加热部件的上述静电卡盘部、和由片状或薄膜状的绝缘材料被覆的上述温度调整用基底部，经由使液状粘接剂硬化而成的绝缘性的有机类粘接剂层而被粘接一体化。
静电卡盘装置

[发明专利]静电吸盘装置-CN200780029770.7有效
发明人：稻妻地浩;小坂井守;三浦幸夫;牧惠吾 -专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2007-08-01 - 公布日： 2009-08-05 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种在适用于等离子体处理装置的情况下，能提高等离子体中的电场强度的面内均匀性，对板状试料进行面内均匀性高的等离子体处理的静电吸盘装置。本发明的静电吸盘装置(21)包括：由上面(31a)为载置板状试料(W)的载置面的电介质板(31)、支撑板(32)、静电吸附用内部电极(25)和绝缘材料层(33)构成的静电吸盘部(22)；作为高频产生用电极的金属基座部(23)；以及绝缘板(24)，静电吸附用内部电极(25)由含有绝缘性陶瓷和碳化硅的复合烧结体构成，并且，其体积固有电阻为1.0×10^-1Ω·cm以上且1.0×10⁵Ω·cm以下。
静电吸盘装置

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