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[发明专利]被加工物的切削方法-CN201910266254.0有效
发明人：法积大吾;增永真 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2019-04-03 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供被加工物的切削方法，能够防止被加工物的加工不良的产生，并且能够有效地抑制粘片膜的飞边的产生。该被加工物的切削方法利用切削刀具对板状的被加工物进行切削，该被加工物在由呈格子状形成的多条分割预定线划分的正面侧的区域分别形成有器件，其中，该被加工物的切削方法具有如下的步骤：将层叠了粘片膜和划片带而得的层叠带的粘片膜粘贴在被加工物的背面上，并且将划片带的外周部粘贴在环状框架上，形成框架单元；利用切削装置的卡盘工作台隔着层叠带对被加工物进行保持；通过下切而沿着分割预定线形成将被加工物切断的切削槽；以及利用切削刀具通过上切而将在切削槽的底部露出的粘片膜切断。
加工切削方法

[发明专利]被加工物的加工方法-CN201811589755.4在审
发明人： 增永真 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2019-07-05 - 主分类号： H01L21/78 文献下载
摘要：提供被加工物的加工方法，防止在对被加工物进行分割时可能产生裂纹。被加工物的加工方法具有如下的步骤：正面保护步骤，利用磨削用保护部件(7)来覆盖形成有器件(D)的器件区域(W1)；磨削步骤，利用磨削磨具(16)对被加工物(W)的背面(Wb)进行磨削而薄化至完工厚度；保护部件重贴步骤，将切削用保护部件(9)粘贴于被加工物(W)的背面(Wb)，将粘贴于被加工物(W)的正面(Wa)的磨削用保护部件(7)剥离；第1切削步骤，利用切削刀具(23)将外周剩余区域(W2)切削成圆形而使外周剩余区域(W2)与器件区域(W1)分离；以及第2切削步骤，利用切削刀具(23)将被加工物(W)分割成各个器件(D)，因此能够抑制存在于被加工物(W)的外周部(Wc)的应变向器件区域(W1)伸展，从而能够防止在器件区域(W1)中可能产生裂纹。
被加工物保护部件器件区域切削磨削外周剩余区域切削刀具粘贴背面加工磨削磨具正面保护外周部分割薄化伸展剥离覆盖