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[发明专利]一种检测炉管真空泵漏率方法-CN202110414850.6有效
发明人：杨飞飞;张波;赵科巍;刘东林;申开愉;梁玲;李雪方;张云鹏;郭丽;吕爱武;杜泽霖;李陈阳 -专利权人：山西潞安太阳能科技有限责任公司
申请日： 2021-04-17 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： G01M3/26 文献下载
摘要：本发明属于光伏晶硅电池领域。一种检测炉管真空泵漏率方法，对同一个炉管，首先采用完好的真空泵对炉管抽真空，当炉管内的压力为300mTorr，给炉管通气，保持炉管内的压力不变，每隔一分钟，测量通气流量S与真空泵蝶阀开度γ的对应关系，拟合得到斜率为β的一条直线；将待测真空泵安装在炉管上，启动启动待测真空泵抽真空，当炉管内的压力为300mTorr，给炉管通气，保持炉管内的压力不变，观察待测真空泵蝶阀开度γ，待其稳定后得到真空泵蝶阀开度γ0，待测真空泵漏率Q漏=Pstp*(β/γ0)，如果Q漏大于等于800PaL/S，则得到待测真空泵漏率Q漏即为待测真空泵的真实漏率。
一种检测炉管真空泵方法

[发明专利]一种晶硅电池pecvd镀膜工艺参数建立的方法-CN202110414857.8有效
发明人：杨飞飞;张波;刘东林;赵科巍;申开愉;赵军龙;杨旭彪;李雪方;张云鹏;郭丽;吕爱武 -专利权人：山西潞安太阳能科技有限责任公司
申请日： 2021-04-17 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明涉及太阳能电池生产领域。一种晶硅电池pecvd镀膜工艺参数建立的方法，包括设备初始参数建立方法和设备工艺参数优化方法，设备初始参数建立方法，工艺气体总流量初始值的确定，工艺腔体压力初始值的确定，工艺气体沉积功率初始值的确定；设备工艺参数优化方法，工艺腔体气体总流量优化值的确定，工艺腔体压力优化值的确定。本发明可有效降低新设备工艺参数建立的难度，同时保证参数优化的合理性，为工艺参数的优化调整提供便利。
一种电池 pecvd 镀膜工艺参数建立方法

[发明专利]一种新型晶硅PERC电池前氧化层制备工艺-CN202010519116.1有效
发明人：杨飞飞;李雪方;张波;鲁贵林;赵科魏;郭丽;吕爱武;杜泽霖;李陈阳 -专利权人：山西潞安太阳能科技有限责任公司
申请日： 2020-06-09 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及晶硅PERC电池钝化领域。一种新型晶硅PERC电池前氧化层制备工艺，按照清洗制绒、扩散制结、背面刻蚀、双面氧化铝制备、正面氮化硅膜制备、背面氮化硅膜的制备、背面激光开槽、正背电极的制备的工艺过程进行；双面氧化铝制备过程中，将硅片插入铝制花篮中，循环通入TMA和水蒸气，在硅片的正、背面各制备一层3‑5nm的氧化铝膜；正面氮化硅膜制备过程中，将制备完双面氧化铝的硅片，放入石墨舟，在管式PECVD中制备氮化硅，通入NH3和N2气后，接通射频源，通过高能等离子体将正面氧化铝膜层打掉，同时形成一层氧化硅层。
一种新型 perc 电池氧化制备工艺

[发明专利]一种P型晶硅双面电池退火增强背钝化方法-CN202210286211.0在审
发明人：杨飞飞;张波;鲁贵林;赵科巍;吕爱武;张云鹏;申开愉 -专利权人：山西潞安太阳能科技有限责任公司
申请日： 2022-03-23 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及P型晶硅双面太阳能电池背钝化领域。一种P型晶硅双面电池退火增强背钝化方法，按如下步骤进行步骤一、第一次SiON膜层沉积+第一次退火，步骤二、第二次SiON膜层沉积+第二次退火，步骤三、第二次SiON膜层沉积+第三次退火，步骤四、SiN膜层沉积构，SiN膜层采用三层沉积，步骤五、第四次退火。本发明将SiON膜层进行合理的拆分，并与退火工艺拼接，可减少SiON膜层过厚时内部缺陷。
一种型晶硅双面电池退火增强钝化方法

[发明专利]一种新型晶硅SiON双面电池背钝化工艺-CN202011100277.3有效
发明人：杨飞飞;张波;鲁贵林;赵科巍;郭卫;张云鹏;李雪方;郭丽;杜泽霖;李陈阳;吕爱武 -专利权人：山西潞安太阳能科技有限责任公司
申请日： 2020-10-15 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及太阳能电池生产领域，特别涉及双面太阳能电池生产领域。一种新型晶硅SiON双面电池背钝化工艺，在背面晶硅基体上直接制备氮氧化硅层，然后在进行退火，最后再制备氮化硅层；氮氧化硅层为单层膜，采用PECVD的方式沉积，工艺参数为，压力1500‑2000mTorr，温度450‑500℃，功率为8500‑12000W,脉冲开关比为1:10至1:16，所通SiH4/NH3/N2O=1.65/1/4至2.5/1/5,且三种气体SiH4、NH3、N2O总流量需大于7000sccm，时间40‑60s。本发明不仅有效降低了双面电池的背面钝化制造成本，同时创造性的解决钝化SiON膜层变薄后钝化效果变差的问题。
一种新型 sion 双面电池钝化工艺

[实用新型]一种用于PECVD炉口进气装置-CN202122491097.9有效
发明人：赵科巍;张云鹏;鲁贵林;吕爱武 -专利权人：山西潞安太阳能科技有限责任公司
申请日： 2021-10-16 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及太阳能电池生产领域，特别是涉及太阳能电池镀膜领域。一种用于PECVD炉口进气装置，包括容器和散气环，容器上壳体和容器下壳体密封连接在一起构成容器，容器上壳体顶部有多个单一气体进气口，容器下壳体与容器上壳体连接的口部有内沿，内沿上安装有混气层，容器下壳体底部通过立柱安装混和气球，混和气球通过管道连接混合气出口；散气环的外壁有连接内外的带内螺纹的第一通孔，PECVD炉口部对应散气环的第一通孔处有第二通孔，第一通孔和第二通孔通过螺纹连接安装混合气进气装置，进气装置通过管道连接混合气出口。
一种用于 pecvd 炉口进气装置

[实用新型]一种双面电池正背面金属化图形-CN202122024746.4有效
发明人：杨飞飞;张波;鲁贵林;赵科巍;申开愉;张云鹏;吕爱武;杜泽霖;李陈阳 -专利权人：山西潞安太阳能科技有限责任公司
申请日： 2021-08-26 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：本实用新型涉及太阳能电池生产领域。一种双面电池正背面金属化图形，该双面电池正面金属化图形和背面金属化图形都包括横向排列的5‑15个彼此间隔相等的隔离的区块，每个区块都包括多根平行且间距相等的横向细栅线和一根垂直于横向细栅线的主栅线，任意一个区块的横向细栅线处于另外一个区块的横向细栅线延长线上，该双面电池正面金属化图形和背面金属化图形中区块成一一对应关系，成一一对应关系的区块中主栅线也一一对应，通过将电池正反面金属化图分割，形成区域化图形，从而将一个太阳能电池分割成独立的过个，避免了各区域之间的干扰。
一种双面电池背面金属化图形

[发明专利]一种降低电传输损耗的新型组件制备方法-CN202110991691.6在审
发明人：杨飞飞;张波;赵科巍;鲁贵林;申开愉;张云鹏;吕爱武;杨旭彪;梁玲 -专利权人：山西潞安太阳能科技有限责任公司
申请日： 2021-08-27 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及太阳能电池领域。一种降低电传输损耗的新型组件制备方法，将同样规格的分区太阳能电池片排列成一个多行多列的组件，组件每行的分区太阳能电池片数量相等，组件每列的分区太阳能电池片数量相等且为偶数，在组件每行的分区太阳能电池片中，相邻两个分区太阳能电池片成片间串联关系，组件奇数排的最右侧分区太阳能电池片和其下一排偶数排的最右侧分区太阳能电池片成首尾串联关系，组件偶数排的最左侧分区太阳能电池片和其下一排奇数排的最左侧分区太阳能电池片成中间并联关系。本发明能够降低光伏组件的度电成本。
一种降低传输损耗新型组件制备方法

[发明专利]一种晶硅PERC电池结构及其制备方法-CN202110561679.1在审
发明人：杨飞飞;张波;鲁贵林;赵科巍;张云鹏;吕爱武;杜泽霖;李陈阳 -专利权人：山西潞安太阳能科技有限责任公司
申请日： 2021-05-23 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： H01L31/068 文献下载
摘要：本发明涉及晶硅PERC电池生产领域。一种晶硅PERC电池结构，该晶硅PERC电池从下至上依次为全铝背场或铝栅线（2）、背面钝化膜（3）、基体P型硅（6）、N型发射极（7）、正面钝化膜（9），晶硅PERC电池背面有背面激光开槽（5），背面激光开槽（5）中印刷有背银电极（1），晶硅PERC电池正面的N型发射极（7）和正面钝化膜（9）上有正面激光镂空槽（8），正面激光镂空槽（8）处有正面一次印刷银电极（10）和正面二次印刷银电极（11）。本发还涉及该晶硅PERC电池结构的生产方法。
一种 perc 电池结构及其制备方法

[发明专利]单晶PERC背面碱刻蚀工艺-CN201910724178.3有效
发明人： 吕爱武;鲁贵林;赵科巍;张波;杨飞飞;张尧;杜泽霖;李陈阳;郭丽;郭卫;董建明;邓铭 -专利权人：山西潞安太阳能科技有限责任公司
申请日： 2019-08-07 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及太阳能电池生产领域，单晶PERC背面碱刻蚀工艺，背面去除PSG，在硅片正面采用水膜保护的条件下，利用氢氟酸水溶液中对硅片背面扩散后形成的PSG进行去除；去PSG中要防止正面过刻，否则后续进一步抛光时会破坏pn结；背面碱抛光，整个背面碱抛光过程控制硅片减重0.2±0.01g，背面碱抛光按照预清洗、碱抛光、碱清洗、酸清洗进行，预清洗过程采用氢氧化钾和双氧水溶液进行清洗，碱抛光采用化学辅助剂进行抛光，碱清洗采用氢氧化钾和双氧水溶液混合液进行清洗，酸清洗采用氢氟酸和盐酸混合水溶液进行。
perc 背面刻蚀工艺

[发明专利]一种匹配碱抛选择性发射极的正面钝化工艺-CN201910724086.5有效
发明人：杨飞飞;鲁贵林;赵科巍;张波;张尧;吕爱武;杜泽霖;李陈阳;郭丽;董建明;邓铭 -专利权人：山西潞安太阳能科技有限责任公司
申请日： 2019-08-07 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及单晶PERC背面刻蚀碱抛工艺领域。一种匹配碱抛选择性发射极的正面钝化工艺，在碱抛工艺前氧化过程中，采用高温热氧沉积氧化层和慢的降温速率相结合，即沉积氧化层过程的工艺条件为，沉积温度790‑810℃，压力100‑120mbar，氧流量3000‑3500sccm，时间25‑35min，降温过程中分三个步骤,然后退舟出管采用现有工艺；在碱抛工艺镀膜过程时，单独增加一层富硅膜层，即利用PECVD的方式沉积第一层富硅膜层。
一种匹配选择性发射极正面钝化工艺

[实用新型]一种电池片推片装置-CN202021040749.6有效
发明人：李雪方;申开愉;郭卫;杨飞飞;郭丽;张云鹏;吕爱武;元江博 -专利权人：山西潞安太阳能科技有限责任公司
申请日： 2020-06-09 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及太阳能电池生产领域。一种电池片推片装置，包括推板（1）、圆筒形弹性胶垫（2）、弹簧（3）、长筒状的手柄（4），推板（1）为一块长方体板状结构，手柄（4）的头部内部固定有连接块（5），弹簧（3）一端固定在推板（1）中央另一端固定在连接块（5）上，弹性胶垫（2）安装在手柄（4）头部，弹簧（3）处于弹性胶垫（2）中央。采用本实用新型装置，减少了碎片、压片异常情况，降低了碎片率，同时减少了外观异常电池片。
一种电池片推片装置

[实用新型]一种晶硅双电池背铝线网版图案-CN202021045055.1有效
发明人：杨飞飞;张云鹏;杨旭彪;李雪方;郭丽;吕爱武;杜泽霖;李陈阳;张波;赵科魏;鲁贵林 -专利权人：山西潞安太阳能科技有限责任公司
申请日： 2020-06-09 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：本实用新型涉及太阳能电池生产领域。一种晶硅双电池背铝线网版图案，包括等间隔平行布置的120‑150根背细栅和5根等间隔平行布置背主栅，其中背主栅垂直于背细栅，细栅宽度为100‑120μm，每根背主栅由五段实心线和四段镂空图形线构成，实心线的宽度相同都为0.7‑1.7mm，每段镂空图形线结构也相同，每根背主栅长度方向成对称结构，每段镂空图形线为跑道环形结构，跑道环形结构由两根直线与两端的弧线构成，两根直线之间的间距为1.7mm，两根直线长度为17.7mm，每根直线宽度为0.6mm，弧线宽度为0.6mm，弧线内径为1.7mm。
一种晶硅双电池背铝线网版图

[实用新型]一种新的晶硅双电池背铝线网板图案-CN202021045626.1有效
发明人：杨飞飞;张波;杨旭彪;张云鹏;李雪方;郭丽;吕爱武;杜泽霖;李陈阳;赵科魏;鲁贵林 -专利权人：山西潞安太阳能科技有限责任公司
申请日： 2020-06-09 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种晶硅双电池背铝线网板图案。一种新的晶硅双电池背铝线网板图案，由背面细栅（1）和背面主栅（2）构成，背面细栅（1）和背面主栅（2）垂直，每条背面主栅（2）由两条宽度相等的平行铝线构成，每条铝线的宽度为0.3‑0.5mm。本实用新型的有益效果是：使用本实用新型专利提出的晶硅双面电池背铝的网板图案，双面电池背面转换效率高，双面率较普通双面电池有明显的提升。
一种晶硅双电池背铝线网板图案

[实用新型]一种晶硅电池激光Mark点图案-CN202021045679.3有效
发明人：杨飞飞;郭丽;张云鹏;杨旭彪;李雪方;吕爱武;杜泽霖;李陈阳;张波;赵科魏;鲁贵林 -专利权人：山西潞安太阳能科技有限责任公司
申请日： 2020-06-09 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： H01L31/068 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种晶硅电池激光Mark点图案。一种晶硅电池激光Mark点图案，包括半径为0.3‑0.5mm的环形激光刻蚀槽（2）和处于环形激光刻蚀槽（2）内部的平行直线激光刻蚀槽（1）。本激光Mark点为圆形，圆内由直线填充，不同直线之间无重叠。本实用新型的有益效果是：不仅易于后续丝印工序的精准定位，而且避免产生Mark区域漏电问题。
一种电池激光 mark 图案

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