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- [实用新型]键合压板-CN201720152724.7有效
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陈莉;司文全;李金刚
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无锡华润安盛科技有限公司
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2017-02-20
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2017-10-20
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H01L21/67
- 本实用新型是关于一种键合压板,包括压板本体;至少一个让位口,贯穿所述压板本体,用于暴露器件的待键合区域;按压部,位于所述压板本体的一侧,用于按压固定所述器件;其中,所述按压部中设置有与所述器件上键合后的线弧相对应的让位间隙。通过本实用新型的技术方案,在键合压板运动过程中,由于在按压部中设置有与所述器件上键合后的线弧相对应的让位间隙,线弧可以从让位间隙中穿过,而不会与按压部直接接触,因此可以避免按压部剐蹭线弧,从而避免线弧断裂,提高产品良率。
- 压板
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