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- [发明专利]一种平板探测器及其制造方法-CN202111497169.9在审
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王健;于杰;范泽龙
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南京迪钛飞光电科技有限公司
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2021-12-09
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2022-02-11
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H01L27/146
- 本发明提供一种平板探测器及其制造方法,其包括第一TFT、第二TFT、下电极、光电转换层以及上电极;所述第一TFT包括第一多晶硅、第二多晶硅、第三多晶硅、与第一多晶硅连接的第一漏极、与第二多晶硅连接的第一源极以及第三多晶硅上方的第一栅极;所述第二TFT包括第二栅极、金属氧化物半导体层以及均与金属氧化物半导体层连接的第二源极和第二漏极;所述第二TFT的第二源极与第一TFT的第一源极直接相连;第三栅极在第一栅极上方,通过过孔相连,下电极通过过孔与第一栅极连接。本发明第一TFT为多晶硅TFT,其可以是NMOS结构或者PMOS结构,第一TFT采用顶栅结构,用于放大光电探测器的电信号,可以提高光源的探测灵敏度;第二TFT采用底栅结构,用来传递PIN的光电信号,同时降低光电转换层的漏电流。
- 一种平板探测器及其制造方法
- [发明专利]一种光电探测器及其制造方法-CN202011168064.4在审
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陈钢;李俊杰
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南京迪钛飞光电科技有限公司
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2020-10-28
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2020-11-27
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H01L27/146
- 本发明提供一种光电探测器及其制造方法,光电探测器包括薄膜晶体管、光电转换器、透明电极层、第一触控金属层、有机绝缘层以及绝缘层;所述光电转换器包括均与源极和漏极接触的N型半导体材料层、位于N型半导体材料层上的I型半导体材料层以及位于I型半导体材料层上的P型半导体材料层。本发明光电探测器的光电转换器兼顾半导体层的功能,使得薄膜晶体管为耗尽型的薄膜晶体管;沟道区被光电转换层的N型半导体材料层覆盖,减少工艺步骤,减少掩膜版,实现半导体层的最大利用,实现光电转换器和薄膜晶体管功能的合并,实现像素信号放大效果的同时增大了开口;减少X射线光源闪烁提高了刷新效率。
- 一种光电探测器及其制造方法
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