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[发明专利]坐标系建立方法、检测装置、检测设备及存储介质-CN202110351337.7有效
发明人：陈鲁;刘欢敏;吕肃;李青格乐 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本申请提供一种坐标系建立方法、检测装置、检测设备及计算机可读存储介质。坐标系建立方法包括：通过第一传感器采集待测件的二维图像、及通过第二传感器采集待测件与第二传感器之间的距离信息；根据二维图像和距离信息确定待测件的第一坐标系和待测件的标准模型的第二坐标系之间的位置偏差；及根据位置偏差和第二坐标系建立第一坐标系。本申请的坐标系建立方法中，通过采集待测件的二维图像、及待测件与第二传感器之间的距离信息，并将二维图像、距离信息与待测件的标准模型对应的信息进行对比，以确定待测件的第一坐标系与标准模型的第二坐标系之间的位置偏差，根据位置偏差和第二坐标系能够准确地建立待测件的第一坐标系。
坐标系建立方法检测装置设备存储介质

[发明专利]检测方法及其系统-CN202110807884.1在审
发明人：陈鲁;刘欢敏;吕肃;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-07-16 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种检测方法及其系统，用于对待检测工件的线轮廓度进行检测，方法包括：在待检测工件上选取实际点，获取实际点与理想轮廓处于同一坐标系下的测量点，通过在理想轮廓上获取相邻的第一基准点和第二基准点，第一基准点和第二基准点中至少一者为与测量点距离最小的参考基准点，第一基准点指向第二基准点的方向为绕理想轮廓内部一点的顺时针方向，获取第一基准点或第一基准点与第二基准点之间任意一点与第二基准点构成的第一向量；获取第二基准点和测量点构成的第二向量，基于第一向量和第二向量的叉积值，来判断测量点位于待测工件的理想轮廓内部、外部或者理想轮廓上，相应的判断待检测工件中的实际点是位于理想轮廓内部、外部或者理想轮廓上。
检测方法及其系统

[发明专利]缺陷检测方法和缺陷检测装置及系统-CN202210853605.X在审
发明人：陈鲁;吕肃;刘欢敏;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明实施例公开的缺陷检测方法例如包括：获取初始待测图像；获取所述初始待测图像在目标旋转角度下对应的目标检测图像的信号强度分布数据集；根据所述信号强度分布数据集确定所述目标检测图像的第一缺陷信息；根据所述第一缺陷信息、所述目标旋转角度和所述信号强度分布数据集确定所述初始待测图像上的缺陷特征信息。本发明实施例公开的缺陷检测方法能提高晶圆缺陷检测的准确率。
缺陷检测方法装置系统

[发明专利]一种运动平台的校准方法及装置-CN202011487698.6在审
发明人：陈鲁;刘欢敏;贺金龙;李青格乐;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-12-16 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： G05D3/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种运动平台的校准方法及装置，所述运动平台包括特征图案，所述校准方法包括：获取所述特征图案在标定图像中的基准位置，其中，标定图像由所述运动平台运动至预设坐标位置并采集得到；控制运动平台运动至预设坐标位置，并获取特征图案在测试图像中的当前位置；基于基准位置和当前位置之间的位置关系，获取运动平台的偏移信息；基于偏移信息校准运动平台。上述过程中，基于基准位置和当前位置之间的位置关系，获取运动平台的偏移信息；基于偏移信息校准所述运动平台，避免了运动平台受温度、导轨磨损等外部环境影响导致运动平台的预设坐标位置发生偏移，导致包含运动平台的测量设备测量的准确性降低的问题。
一种运动平台校准方法装置

[发明专利]转换关系的获取方法、检测设备及检测方法-CN201910038257.9在审
发明人：陈鲁;李青格乐;吕肃;刘欢敏;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技有限公司
申请日： 2019-01-14 - 公布日： 2020-07-21 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种转换关系的获取方法、检测设备及检测方法，其中，所述转换关系的获取方法包括：提供初始检测设备，包括：第一坐标系和第二坐标系；提供标准物，所述标准物包括至少一个特征点，所述特征点为所述第一检测设备和第二检测设备可识别的点；通过所述第一检测装置获取所述至少一个特征点在第一坐标系中的第一特征点坐标；通过所述第二检测装置获取所述至少一个特征点在第二坐标系中的第二特征点坐标；通过所述第一特征点坐标和第二特征点坐标，获取所述第一坐标系和第二坐标系的转换关系。所述方法能够获取第一坐标系和第二坐标系的转换关系，从而能够具有所述转换关系的检索设备的检测速度。
转换关系获取方法检测设备

[发明专利]一种基于距离加权直方图的Mean-Shift跟踪算法-CN201510577676.1在审
发明人：张长隆;刘欢敏 -专利权人：张长隆
申请日： 2015-09-14 - 公布日： 2017-03-22 - 主分类号： G06T7/246 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于距离加权直方图的Mean‑Shift跟踪算法，属于无人机导航领域。此算法可以实时、准确、稳定的对视频中的运动物体进行跟踪。和经典的Mean‑Shift算法相比在处理时间上略有增加，但依然能满足实时性的要求，且当目标快速运动时，改进算法仍然能准确的跟踪，大大优于经典的跟踪算法。下一步的研究重点是如何自动的选取核函数的窗宽，使跟踪框能随着目标大小的变化自动调整。
一种基于距离加权直方图 mean shift 跟踪算法