专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种硅片制作方法及硅片-CN202110291086.8有效
  • 于航;马占良;刘俊嘉 - 吉林华微电子股份有限公司
  • 2021-03-18 - 2023-03-24 - H01L21/306
  • 本发明公开了一种硅片制作方法及硅片,涉及微电子技术领域,硅片制作方法包括:首先在硅片的表面形成氧化层;然后通过化学气相沉积法在氧化层的表面形成保护膜;接着在保护膜的表面形成光刻胶层,并利用光刻版上的图形进行光刻工艺,再利用腐蚀液在氧化层上腐蚀出图形;然后利用硅槽腐蚀液根据图形对硅片的本体进行槽腐蚀,以形成基于图形确定的硅槽;最终去除光刻胶层,形成具有硅槽的硅片,通过上述步骤,相较于现有技术中硅槽制作过程中由于光刻胶层过早的脱落造成的硅槽结构不完整的问题,利用化学气相沉积法形成的保护膜能够实现一种能够保证硅槽结构完整的硅片制作技术方案。
  • 一种硅片制作方法
  • [发明专利]用于风扇单元的安装装置-CN202110358202.3在审
  • 毛佳立;刘俊嘉;沈浩;蔡卓曼 - 狮贝
  • 2021-04-01 - 2022-09-09 - F04D25/08
  • 本公开总体上涉及一种用于安装风扇单元的安装装置,安装装置包括:基准平面和正交于基准平面的基准轴线,处于解除接合定向的风扇单元能够沿着基准轴线朝向基准平面被接收;接合构件的组,其绕基准轴线径向地布置,并且被配置成在基准平面处包围处于解除接合定向的风扇单元,在沿着基准平面从解除接合定向到接合定向平面地致动风扇单元时,接合构件能够与风扇单元接合;和接合元件的组,其布置在接合构件上,在将风扇单元致动到接合定向时,接合元件能够与风扇单元的安装孔的组接合,其中,在与风扇单元接合时,接合的接合构件和接合元件抵抗风扇单元相对于安装装置的运动。
  • 用于风扇单元安装装置
  • [实用新型]一种自动曝光光刻机设备-CN202220202121.4有效
  • 于航;刘俊嘉 - 吉林华微电子股份有限公司
  • 2022-01-25 - 2022-06-24 - G03F7/20
  • 本实用新型是一种自动曝光光刻机设备,包括底座、曝光机、数码控制器、传输轨道、升降传输机构和收片机构,曝光机位于传输轨道的后侧,其曝光端位于传输轨道中部上方,曝光机上还设有控制面板,传输轨道包括支撑柱、传片槽、导辊和皮带,升降传输机构有两个,以其中一个为例,升降传输机构包括支架、滚轮、电机、电动推杆、固定杆和传感器,收片机构有两个,收片机构包括片筐和承片架,数码控制器固定连接于底座上,且其分别与曝光机、电机、电动推杆和传感器电性连接,本实用新型可以对不同尺寸的芯片曝光,可以实现任意面的曝光,有效地提高了生产效率和做片效率,动作可靠,设备使用寿命长,日常维护简单。
  • 一种自动曝光光刻设备
  • [实用新型]一种光刻机设备用机械手装置-CN202121866561.1有效
  • 于航;刘俊嘉;董志强;马占良 - 吉林华微电子股份有限公司
  • 2021-08-11 - 2022-01-07 - G03F7/20
  • 本实用新型公开了一种光刻机设备用机械手装置,结构包括压板、盖板组、机械手摆臂以及分别固定连接于其端部两侧的真空吸嘴组件,真空吸嘴组件包括吸嘴座、吸嘴、真空吸管、管接头、弹簧片,吸嘴固定连接于吸嘴座上,管接头一端与吸嘴座固定连接,其另一端与真空吸管相连,管接头与吸嘴之间相互导通,真空吸管位于真空管槽内,两个盖板均固定连接于机械手摆臂的底面并覆盖真空管槽,压板位于凹陷的正上方并通过螺栓与机械手摆臂固定连接,弹簧片一端插接到压板与凹陷的底部之间,其另一端与吸嘴座固定连接,本装置可以很好地将硅片抓住送到光刻机承片台指定的位置,防止在机械手送片过程中由于抓不牢导致芯片掉落进而造成碎片。
  • 一种光刻备用机械手装置
  • [发明专利]一种光刻版翻版机及光刻版翻版系统-CN202110635723.9在审
  • 于航;马占良;刘俊嘉 - 吉林华微电子股份有限公司
  • 2021-06-08 - 2021-09-14 - G03F7/20
  • 本申请公开了一种光刻版翻版机及光刻版翻版系统,光刻版翻版机包括:底板、上版框、下版框、合页组件结构和曝光单元;下版框位于底板的一侧,上版框通过合页组件结构与下版框活动连接,曝光单元位于上版框远离下版框的一侧;下版框和上版框用于容置待制作的光刻版;曝光单元用于提供光源将待曝光的母版图形接触式曝光至光刻版上,通过上述设置,能够制作得到图形形状、尺寸线宽与母版一致的光刻版,解决了母版上存在尘埃、划伤、沾污等缺陷,曝光后芯片表面存在的缺陷严重影响产品合格率、电学参数和质量的问题,同时大大降低光刻版原材料成本。
  • 一种光刻翻版系统

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