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[发明专利]一种半导体结构及其制作方法-CN202211737277.3在审
发明人：张海欧;王学毅;伍治伦;赵靖祎 -专利权人：联合微电子中心有限责任公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01L21/28 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体结构及其制作方法，该制作方法包括以下步骤：提供半导体衬底，形成栅介质层于半导体衬底上；对栅介质层进行解耦等离子体氮化处理，使用的气体包括NxOy；对栅介质层进行后氮化退火处理；形成栅导电层于栅介质层上。本发明对栅介质层进行解耦等离子体氮化处理所使用的气体包括NxOy，利用NxOy等离子体取代常规的N2等离子体，好处在于可以用较低的剂量达到相同的氮浓度来提高栅介质层的K值，同时，NxOy等离子体中的氧得以填补栅介质层中的氧空位缺陷，降低缺陷产生几率，从而有利于提升器件的可靠性。另外，本发明的半导体结构的制作方法不需要增加原物料及工艺步骤，从而不会增加生产成本及工艺复杂度。
一种半导体结构及其制作方法

[发明专利]一种晶圆结构及其晶圆弯曲度的调控方法-CN202211720224.0在审
发明人： 伍治伦;蔡胜冬;杨秀华;何念君 -专利权人：联合微电子中心有限责任公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆结构及其晶圆弯曲度的调控方法，该晶圆弯曲度的调控方法包括以下步骤：提供一包括介电层及布线层的晶圆，利用弯曲度测量仪器测量晶圆的弯曲度值，并得到与预设弯曲度值的差值，基于差值形成产生对应应力的弯曲度矫正层，重复测量晶圆弯曲值及基于差值形成对应应力的弯曲度矫正层的步骤，直至差值为零，将差值为零的晶圆输送至下一工艺段。本发明通过测量后段抛光工艺之后的晶圆的弯曲度值，并基于弯曲度值与预设弯曲度值的差值，形成对应应力弯曲度矫正层，重复测量弯曲度值及基于差值形成弯曲度矫正层的步骤，直至晶圆平坦，保证了后续工艺的光刻对准，保证了晶圆中器件的性能，提升了后续工艺的晶圆的良率。
一种结构及其弯曲调控方法

[发明专利]一种固体氧化物燃料电池用复合密封材料及其制备方法和应用-CN202011217695.0有效
发明人：任海深;林慧兴;谢天翼;伍治伦;何飞 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2020-11-04 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： C03C8/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种固体氧化物燃料电池用复合密封材料及其制备方法和应用，所述固体氧化物燃料电池用复合密封材料包括：硅碱钙石玻璃粉体为增强相，以及封接玻璃材料粉体；所述硅碱钙石玻璃粉体的含量≤50wt%，优选为10～30wt%。
一种固体氧化物燃料电池复合密封材料及其制备方法应用

[发明专利]一种固体氧化物燃料电池复合密封材料及其制备方法和应用-CN202011219020.X有效
发明人：任海深;林慧兴;谢天翼;伍治伦;张奕 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2020-11-04 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： C03C8/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种固体氧化物燃料电池复合密封材料及其制备方法和应用，所述固体氧化物燃料电池复合密封材料包括：云母玻璃粉体和云母微晶玻璃粉体中至少一种的增强相，以及封接玻璃材料粉体；所述云母玻璃粉体和云母微晶玻璃粉体的总含量≤50wt%，优选为10～30wt%。
一种固体氧化物燃料电池复合密封材料及其制备方法应用

[发明专利]一种含碱土金属的低熔点玻璃粉及其制备方法和应用-CN201910912406.X在审
发明人： 伍治伦;林慧兴;任海深;姚晓刚;张奕;谢天翼;姜少虎;何飞;赵相毓 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2019-09-25 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： C03C12/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种含碱土金属的低熔点玻璃粉及其制备方法和应用，所述含碱土金属的低熔点玻璃粉的原料组分包括：30～70mol％Bi2O3、10～30mol％B2O3、10～30mol％ZnO、0～20mol％含R的化合物，各组分摩尔百分比之和为100 mol%；所述含R化合物选自RO、RF2、RCl2中的至少一种，其中R为Ca、Sr、Ba中的至少一种；优选地，所述含碱土金属的低熔点玻璃粉的原料组分：Bi2O3：40～60mol％、B2O3：20～30mol％、ZnO：20～30mol％、含R的化合物：5～10mol％，各组分摩尔百分比之和为100 mol%。
一种碱土金属熔点玻璃粉及其制备方法应用

[发明专利]一种双层结构γ‑AlOOH涂覆的油水分离网膜材料及其制备方法-CN201610169170.1有效
发明人：孟范成;权婷婷;郝亮;伍治伦 -专利权人：重庆理工大学
申请日： 2016-03-23 - 公布日： 2017-11-14 - 主分类号： B01D17/022 文献下载
摘要：本发明公开了一种双层结构γ‑AlOOH涂覆的油水分离网膜材料，该材料以不锈钢网为基体，在其上有γ‑AlOOH涂覆层，所述γ‑AlOOH涂覆层为双层结构，其底层由纳米片堆砌而成，纳米片长度为250～400nm，宽度为200～300nm，纳米片之间的间距为30～50nm，顶层为分布在纳米片表层的纳米花随机分布构成，单个纳米花长度为0.6～1.0μm，宽度为200～400nm，纳米花结构为一维纳米片自组装形成的三维结构。采用本发明方法制备的超疏水亲油油水分离网膜，疏水性能好、油水分离效率高，而且工艺简单、成本低。
一种双层结构 alooh 油水分离网膜材料及其制备方法

[发明专利]一种鹅卵石状γ‑AlOOH涂覆的油水分离网膜材料及其制备方法-CN201610169484.1有效
发明人：孟范成;舒国劲;伍治伦;张铭 -专利权人：重庆理工大学
申请日： 2016-03-23 - 公布日： 2017-10-31 - 主分类号： B01D17/022 文献下载
摘要：本发明公开了一种鹅卵石状γ‑AlOOH涂覆的油水分离网膜材料，该材料以不锈钢网为基体，在其上有γ‑AlOOH涂覆层，所述γ‑AlOOH涂覆层是由直径为0.5～0.8μm、厚度为100～150nm的鹅卵石状γ‑AlOOH构成，鹅卵石间距为50～100nm，且垂直排列于不锈钢网基体上。采用本发明方法制备的超疏水亲油油水分离网膜材料，疏水性能好、油水分离效率高，而且工艺简单、成本低。
一种鹅卵石 alooh 油水分离网膜材料及其制备方法