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[发明专利]一种测量倾角和旋转角的光刻对准标记及对准方法-CN202110089100.6有效
发明人：蒋文波;王画然;周波;卜云;宋潇潇;付钱华;郭奕;黄永茂 -专利权人：西华大学
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种测量倾角和旋转角的光刻对准标记及对准方法。该光刻对准标记包括硅片标记和掩膜标记，两个标记外部轮廓尺寸相同，均由五个边长相同的正方形呈十字型排列构成，通过重合外部轮廓可以完成硅片和掩膜两个平面的粗对准，硅片标记和掩膜标记内部设计有独特的图形结构和光栅结构，通过观察粗对准后的掩膜标记和硅片标记内部图形及光栅产生的莫尔条纹实现了硅片和掩膜两个平面倾角和旋转角的定量检测。本发明为了解决现有技术中小偏移量捕捉方法复杂、掩膜‑硅片两平面之间存在倾角和旋转角等问题，设计了独特的光刻对准标记，优化了对应的光刻对准方法，具有对准过程简易，对准效果好，对准精度高的优点。
一种测量倾角旋转光刻对准标记方法

[发明专利]基于深度残差收缩网络和生成对抗网络的去图像运动模糊方法-CN202110089105.9有效
发明人：蒋文波;刘安顺;李潘;卜云;宋潇潇;郭奕;刘霞;付钱华;黄永茂 -专利权人：西华大学
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G06T5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于深度残差收缩网络和生成对抗网络的去图像运动模糊方法。该方法包括选取训练数据集并对其进行预处理；基于训练数据集中的模糊图像利用生成网络得到生成图像；将生成图像及其对应清晰图像输入判别网络，得到生成图像属于清晰图像的概率；通过得到的概率来训练判别网络达到预设次数，判断生成网络和判别网络是否达到纳什均衡，若是，生成网络训练完成，采用训练好的生成网络去图像运动模糊，否则训练生成网络后，返回判别网络训练步骤。本发明为了解决现有技术中去模糊效果不理想、计算开销大、振铃效应明显和泛化能力不足的问题，结合了深度残差收缩网络和生成对抗网络，在解决上述问题的同时还明显提升了去图像运动模糊性能。
基于深度收缩网络生成对抗图像运动模糊方法

[实用新型]一种基于双复眼透镜组的拉曼探头-CN202120399756.3有效
发明人：黄俊杰;蒋文波;李潘;卜云;宋潇潇;任晓;付钱华 -专利权人：西华大学
申请日： 2021-02-23 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： G01J3/44 文献下载
摘要：本实用新型涉及光学设备领域，提供了一种基于双复眼透镜组的拉曼探头，其包括相互垂直设置的激发光路和收集光路；激发光路包括依次共轴的入射光源、扩束与准直透镜组、窄带通滤光片、第一复眼透镜组、凹透镜和分光镜；收集光路包括依次共轴的长波通滤光片、第二复眼透镜组和收集器，长波通滤光片位于分光镜的一侧；解决了目前拉曼探头的探测视场小的问题，采用第一复眼透镜组和凹透镜的透镜组合结构，利用复眼透镜的聚光、均光及凹透镜的发散性质，使激发光路的输出为面而非点，提高了激发光路与样品的接触面积，保留了匀光性和大视场面积，同时使散射光强度更高。
一种基于复眼透镜探头

[实用新型]一种基于双波长光子筛和双光源的光刻对准系统-CN202120399493.6有效
发明人：王画然;蒋文波;刘雪梅;卜云;宋潇潇;付钱华;郭奕 -专利权人：西华大学
申请日： 2021-02-23 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及光刻技术领域，具体涉及一种基于双波长光子筛和双光源的光刻对准系统，其包括依次共轴设置第二反射镜、第三分光镜、第一分光镜、第二分光镜、光子筛、掩膜和硅片；第一分光镜一侧依次共轴设有对准光源和第一准直透镜，且第一准直透镜邻近第一分光镜；第二分光镜一侧依次共轴设有曝光光源和第二准直透镜，且第二准直透镜邻近第二分光镜；第三分光镜相对的两侧分别设有第一反射镜和CCD相机。采用分区域结构设计的双波长光子筛替代传统的投影物镜，解决了为了透过波长不同的对准光源和曝光光源，物镜镜片需镀双峰增透膜而导致系统结构复杂、透射率低的问题，既保证了双光源同时成像，又具有优良的聚焦成像性能，且降低了系统复杂度。
一种基于波长光子光源光刻对准系统

[实用新型]一种基于复眼透镜的光源系统及投影装置-CN202120161401.0有效
发明人：谭吉川;蒋文波;周波;卜云;宋潇潇;任晓;付钱华 -专利权人：西华大学
申请日： 2021-01-21 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： G03B21/20 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种基于复眼透镜的光源系统及投影装置，涉及激光投影技术领域，其包括发射三基色光束的激光器，激光器发出的光束依次穿过准直透镜、第一复眼透镜、导光管、光学平板玻璃和第二复眼透镜后经过TIR棱镜全反射至空间光调制器上，光束经空间光调制器处理成影像光后反射至投影透镜投射形成投影画面；其中，光学平板玻璃固定在两端开口的导光管内部，光学平板玻璃上蚀刻有若干掩模图形，用于消除散斑。投影装置包括基于复眼透镜的光源系统。解决了现有技术中的激光投影系统光能利用率低、均光性差和结构复杂等问题。
一种基于复眼透镜光源系统投影装置

[发明专利]一种补偿式直接数字频率合成器-CN201710034227.1有效
发明人： 付钱华 -专利权人：西华大学
申请日： 2017-01-18 - 公布日： 2019-07-26 - 主分类号： G06F1/03 文献下载
摘要：本发明提供了一种补偿式的直接数字频率合成器(DDS)。该直接数字频率合成器对相位截断和幅度量化误差进行补偿。其除了包括传统DDS中的相位累加器、正弦查找表、数模转换器和低通滤波器外，还包括：相位累加寄存器，相位截断补偿系数计算器，延时对齐单元1，相位截断补偿器，正弦查找误差表，加法器，延时对齐单元2，幅度量化误差补偿系数计算器，延时对齐单元3，幅度量化误差补偿器。这些模块主要用于产生误差信号、标准信号和对齐数据，再计算补偿系数，然后对正弦查找表输出的数据进行线性和非线性补偿，最后输送给数模转换器。本发明采用了并行开环补偿方式，不会影响DDS的频率切换时间，可以进一步降低DDS的输出杂散。
一种补偿直接数字频率合成器