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- [发明专利]一种分栅结构的超结功率器件-CN201711059861.7有效
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袁愿林;刘磊;刘伟;龚轶
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苏州东微半导体有限公司
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2017-11-01
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2020-12-01
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H01L27/06
- 本发明实施例公开了一种分栅结构的超结功率器件,包括源极、漏极、第一栅极、第二栅极、第三栅极、体二极管和体区接触二极管,所述体二极管的阴极与所述漏极连接,所述体区接触二极管的阳极与所述体二极管的阳极连接,所述体区接触二极管的阴极与所述源极连接,所述第一栅极通过栅极电压来控制所述源极和所述漏极之间的第一电流沟道的开启和关断,所述第二栅极、第三栅极与所述源极连接,所述第二栅极通过源极电压来控制所述源极和所述漏极之间的第二电流沟道的开启和关断,所述第三栅极为屏蔽栅极并通过源极电压来提高该分栅结构的超结功率器件的耐压。
- 一种结构功率器件
- [发明专利]超级结功率器件及其制造方法-CN201610107822.9有效
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刘磊;龚轶;袁愿林;刘伟
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苏州东微半导体有限公司
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2016-02-26
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2020-01-14
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H01L29/78
- 本发明的公开了一种超级结功率器件包括:第一掺杂类型的衬底外延层,其内设置有第一掺杂类型的漏区和若干个侧壁倾斜的第二掺杂类型的柱状外延掺杂区;第二掺杂类型的体区,其设置在每个所述柱状外延掺杂区的顶端,所述体区内设有第一掺杂类型的源区;JFET区,其位于每两个相邻的所述体区之间,所述体区和JFET区之上设有栅氧化层,所述栅氧化层之上设有栅极;其中,所述柱状外延掺杂区的侧壁两侧及底部的衬底外延层内设有第二掺杂类型的补偿注入区。本发明的超级结功率器件能够在保持导通电阻基本不变的条件下提高击穿电压,并改善其反向恢复特性,而且制造工艺简单,易于实现。
- 超级功率器件及其制造方法
- [发明专利]一种半导体超结功率器件-CN201610104097.X在审
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刘磊;王鹏飞;袁愿林;龚轶
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苏州东微半导体有限公司
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2016-02-25
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2017-09-01
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H01L29/78
- 本发明属于半导体功率器件技术领域,特别是涉及一种半导体超结功率器件,包括终端区和元胞区,所述元胞区包括衬底外延层内的漏区、JFET区和多个垂直平行的柱状掺杂区,所述柱状掺杂区的顶部分别设有体区,所述体区内设有源区,所述体区和JFET区之上设有栅氧化层,所述栅氧化层之上设有栅极,所述相邻的柱状掺杂区之间设有两种或两种以上不同宽度的间距,并且所述体区设有两种或两种以上的不同宽度。采用不同间距的柱状掺杂区结构和不同宽度的体区结构协同作用,可以在超结功率器件中引入更多的缓变,使栅漏电容突变变得更加平滑,降低由栅漏电容突变引起的栅极震荡。
- 一种半导体功率器件
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