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[实用新型]一种可实现同时旋转和摇摆行星盘的结构及镀膜设备-CN202321250984.X有效
发明人： 龙汝磊;黄永长;罗欣 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2023-05-22 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： F16H1/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可实现同时旋转和摇摆行星盘的结构及镀膜设备，可实现同时旋转和摇摆行星盘的结构包括驱动机构，驱动机构连接第四传动轴一端，第四传动轴另一端通过万向节与第五传动轴连接，第四传动轴、第五传动轴同步转动，第五传动轴与行星盘固定连接，第五传动轴通过轴承转动设于轴承座内，轴承座的两侧与两个摆臂一端固定连接，两个摆臂的中间位置通过第二传动轴转动设于镀膜设备第二支架上，驱动机构还连接旋转盘，旋转盘盘面上固定有一个摇摆传动轴，至少一个摆臂上设有长孔，摇摆传动轴穿设于一个摆臂的长孔内。本实用新型实现同时行星盘旋转和摇摆。
一种实现同时旋转摇摆行星结构镀膜设备

[发明专利]一种节省真空镀膜室内空间的蒸发源配置结构及其设计方法-CN202010771051.X有效
发明人：吴萍;范滨;龙汝磊;戴磊 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2020-08-04 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及薄膜制备技术领域，尤其是一种节省真空镀膜室内空间的蒸发源配置结构及其设计方法，其特征在于：在所述真空镀膜室内设置有两个或两个以上的蒸发源，且所述蒸发源之间沿所述真空镀膜室的高度方向上下错层布置。本发明的优点是：可以在真空镀膜腔室的内部空间容积一定的情况下放置更多或更大的蒸发源；即，在一定大小的真空腔室内合理利用空间以实现配置更多或更大规格的蒸发源坩埚台的目的；经济性好，可有效利用既有的真空镀膜设备，无需额外配置；能够保证成膜效果。
一种节省真空镀膜室内空间蒸发配置结构及其设计方法

[实用新型]一种光学膜厚监控系统-CN202222160564.4有效
发明人：徐波;张咏麟;吕启蒙;李卫涛;张新银;龙汝磊;展大伟 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2022-08-16 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光学膜厚监控系统。光学膜厚监控系统包括光源、集光模块、待测光学膜片、探测模块和处理模块；光源分别输出第一光信号和第二光信号，第一光信号依次经过集光模块、待测光学膜片、探测模块的调节后输出监测光信号被处理模块接收；第二光信号经过探测模块后输出参考光信号被处理模块接收，处理模块根据监测光信号和参考光信号计算待测光学膜片的膜层厚度，缩短探测路径，保证膜层监测的精准度，同时降低光学膜厚监控系统的整体体积，提高基板盘载片量和产能。
一种光学监控系统

[发明专利]一种膜料承载件搬运机构、搬运方法及真空镀膜装置-CN202111508375.5在审
发明人：黄永长;龙汝磊;吴萍 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明涉及真空镀膜技术领域，公开一种膜料承载件搬运机构、搬运方法及真空镀膜装置。其中膜料承载件搬运机构包括放置台、抓取模组、驱动模组和升降模组，其中，叠放的膜料承载件放置于放置台上，放置台设置两个以上第一放置位；抓取模组用于抓取第一操作位上位于抓取平面的膜料承载件；驱动模组用于驱动放置台，以使某一第一放置位正对第一操作位；升降模组用于驱动正对第一操作位的第一放置位上的膜料承载件升降，以使待抓取的膜料承载件位于抓取平面。本发明第一放置位上的膜料承载件均堆叠放置，以盛放更多的膜料承载件；升降模组驱动第一放置位升降，便于抓取模组的多次抓取，减少驱动模组驱动次数和补充膜料承载件的次数，提高镀膜效率。
一种承载搬运机构方法真空镀膜装置

[发明专利]一种真空镀膜装置及真空镀膜方法-CN202111509133.8在审
发明人：黄永长;龙汝磊;吴萍 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明涉及真空镀膜技术领域，公开一种真空镀膜装置及真空镀膜方法。其中真空镀膜装置包括镀膜机构和膜料承载件搬运机构，镀膜机构包括用于镀膜的镀膜腔和用于盛放膜料承载件的第一搬运腔，镀膜腔和第一搬运腔通过第一真空阀门选择性连通，镀膜腔内还设置有第二放置位，第二放置位用于容置膜料承载件；膜料承载件搬运机构设置于第一搬运腔，包括放置台、抓取模组和移动模组，放置台用于容置膜料承载件，其上设置有第一操作位，抓取模组用于在第一操作位抓取膜料承载件，移动模组用于驱动抓取模组由第一操作位向第二放置位搬运膜料承载件。本发明的真空镀膜装置的真空腔室占地面积小，生产效率高，减少了装置制作成本和能源的消耗。
一种真空镀膜装置方法

[实用新型]一种膜料承载件搬运机构及真空镀膜装置-CN202123119603.8有效
发明人：黄永长;龙汝磊;吴萍 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜技术领域，公开一种膜料承载件搬运机构及真空镀膜装置。其中膜料承载件搬运机构包括放置台、抓取模组、驱动模组和升降模组，其中，膜料承载件放置于放置台上，放置台设置两个以上第一放置位；抓取模组用于抓取第一操作位上位于抓取平面的膜料承载件；驱动模组用于驱动放置台，以使某一第一放置位正对第一操作位；升降模组用于驱动正对第一操作位的第一放置位上的膜料承载件升降，以使待抓取的膜料承载件位于抓取平面。本实用新型放置台上设置有两个以上第一放置位，以增加盛放膜料承载件的数量；通过使第一放置位的膜料承载件升降，以适应不同型号，尤其是不同高度的膜料承载件，提高了膜料承载件搬运机构的通用性。
一种承载搬运机构真空镀膜装置

[发明专利]一种快插接头及真空镀膜设备-CN202111164623.9在审
发明人：张波;刘再兵;王德智;戴秀海;龙汝磊 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H01R13/627 文献下载
摘要：本发明涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种快插接头及真空镀膜设备。该快插接头包括第一电极、第二电极以及锁紧件。其中，第二电极能够与第一电极连接，第二电极包括第二电极本体以及限位柱，限位柱一部分插入第二电极本体中，一部分突出于第二电极本体外周面，锁紧件套设在第二电极和第一电极连接处，且锁紧件能够与限位柱卡接配合，从而使第一电极和第二电极形成可拆卸的连接关系，以便于操作者根据需求选择是否需要第一电极和第二电极连接，该连接结构稳定性强，且可以反复拆卸，有助于提高第一电极和第二电极的使用寿命。本发明还提供一种真空镀膜设备，采用上述快插接头，以达到提高第一电极和第二电极使用寿命的效果。
一种接头真空镀膜设备

[发明专利]一种基板架的安装结构及其安拆方法-CN202110281529.5有效
发明人：薛聪颖;虞润淋;龙汝磊;吴萍 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2021-03-16 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本发明涉及光学成膜技术领域，尤其是一种基板架的安装结构及其安拆方法，基板架包括基板架上盘和基板架下盘，其中基板架上盘与旋转机构相连接固定，基板架下盘的顶面上设置有挂钩，基板架上盘上设置有与挂钩相吻合适配的卡槽，卡槽的一侧具有开口，挂钩可通过该开口进入卡槽内并与卡槽构成卡接，基板架下盘的底部可装载待成膜产品。本发明的优点是：利用基板架下盘的自重实现其安装固定，有效保证安装的牢固性，避免基板架旋转时发生松动；通过挂钩与卡槽之间的配合实现基板架的精确定位，保证成膜均匀性；通过将基板架分割为上、下盘的分体结构，缩减基板架的重量，便于安装、拆卸、维养等各流程内的使用；结构简单合理，制造简便，适于推广。
一种基板架安装结构及其方法

[实用新型]光学镜头调节机构、膜厚监控系统及真空镀膜装置-CN202222746974.7有效
发明人：徐波;张咏麟;张新银;吕启蒙;李卫涛;展大伟;龙汝磊 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2022-10-18 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光学镜头调节机构、膜厚监控系统及真空镀膜装置，属于镜头调节技术领域。光学镜头调节机构包括安装基体、多个周向间隔设置于安装基体上的支撑组件、安装盘、多个第一调节组件、柔性密封件和第二调节组件，安装盘可拆卸连接于支撑组件，安装盘沿自身厚度方向凸设有导向部；第一调节组件设置于安装基体，每个第一调节组件的一端均可抵接于安装盘的外边缘，用于推动安装盘；第二调节组件设置在导向部；柔性密封件两端分别连接在通孔的周边区域和安装盘靠近安装基体的一侧；光传输部的下端部穿设于导向部和柔性密封件并穿过通孔内，且上端部抵接于第二调节组件上。本实用新型不破坏真空环境，可以在真空腔体外调节光路的监控位置和焦距。
光学镜头调节机构监控系统真空镀膜装置

[实用新型]一种膜厚监控系统及光学镀膜装置-CN202222160422.8有效
发明人：徐波;张咏麟;吕启蒙;李卫涛;张新银;龙汝磊;展大伟 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2022-08-16 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种膜厚监控系统及光学镀膜装置，膜厚监控系统包括：光源、投光单元、测试片、受光单元和第一探测模块；测试片设置于基板盘上，光源分别与投光单元连接，受光单元与第一探测模块连接，投光单元出射第一探测光信号至测试片，受光单元接收测试片反射的第二探测光信号。膜厚监控系统采用背反式膜厚检测方式，利用投光单元出射第一探测光信号，并根据测试片反射的第二探测光信号进行膜厚检测，保证镀膜精度，同时合理设置测试片在镀膜腔室中的放置位置，提高基板盘的载片量和产能。
一种监控系统光学镀膜装置

[实用新型]一种真空镀膜系统-CN202221893361.X有效
发明人：黄永长;龙汝磊;吴萍 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2022-07-21 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜技术领域，公开一种真空镀膜系统。其中真空镀膜系统包括镀膜腔、搬运腔、输送装置和冷却装置，镀膜腔用于镀膜，搬运腔用于盛放膜料承载件，膜料承载件上设置有多个承载位，镀膜腔内设置有镀膜位；输送装置能将搬运腔的膜料承载件输送至镀膜腔，并将承载位依次输送至镀膜位；冷却装置设置于镀膜腔，用于冷却置于镀膜腔的膜料承载件。本实用新型的输送装置依次将各个承载位输送至镀膜位镀膜，镀膜腔内还设置有冷却装置，用于对置于镀膜腔的膜料承载件进行冷却，一方面有效地避免对膜料承载件以及其他部件可能由于温度过高的损坏，提高了安全性；另一方面还保证了镀膜工艺的稳定性，进而提高了镀膜的效果。
一种真空镀膜系统

[实用新型]一种膜料承载装置及镀膜系统-CN202221900773.1有效
发明人：黄永长;龙汝磊;吴萍 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2022-07-21 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及镀膜技术领域，公开一种膜料承载装置及镀膜系统。其中膜料承载装置包括承载本体，承载本体的表面设置有用于与冷却装置接触的接触面；多个承载位凹设于承载本体，多个承载位沿承载本体的延伸方向间隔设置；冷却凹槽设置于承载本体，与至少部分承载位对应设置。本实用新型条状的承载本体的上方间隔设置有多个承载位，用于盛放更多的镀膜材料，减少膜料承载装置的更换次数，以满足镀膜系统的自动化连续镀膜，省时省力，有效地提高了镀膜效率。通过接触面和冷却凹槽能实现膜料承载装置不同位置的冷却效果，有效地提高了冷却效果，使得膜料承载装置能用于长时间的镀膜工作。
一种承载装置镀膜系统

[实用新型]一种注液装置-CN202122398537.6有效
发明人：张波;王德智;龙汝磊;戴秀海;余海春 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： B65G69/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及注液装置技术领域，公开了一种注液装置。注液装置包括阀体，其内形成有用于容纳液体的容纳腔；阀芯，其活动设置在所述容纳腔内；导向件，其安装至所述阀体的出口端，所述导向件包括有向所述容器方向延伸的延长部，所述延长部内开设有导向流道，所述阀芯能够向远离所述延长部的方向移动，以使所述容纳腔与所述导向流道连通，所述导向流道被配置为导向所述容纳腔内流出的液体以使其流至所述容器内。本实用新型的有益效果：其能够在容纳腔流出的液体出现倾斜时，将液体全部注入容器内，使其注液效果较好。
一种装置

[发明专利]一种镀膜室用基板装载装置-CN201910686560.X有效
发明人：黄永长;龙汝磊;吴萍;魏晓庆 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明涉及薄膜制备技术领域，具体涉及一种镀膜室用基板装载装置，其特征在于：包括公转驱动盘、游星臂、游星盘、行星平板，其中游星盘设置在公转驱动盘的下方且两者之间通过游星臂构成传动连接，行星平板设置在游星盘上且两者之间构成传动连接；公转驱动盘在外接动力的驱动下旋转并通过游星臂带动游星盘绕公转驱动盘的旋转中心公转，并且游星盘在游星臂的带动下同时自转；通过公转驱动盘的顺逆时针旋转方向的切换实现行星平板在游星盘上的翻转。本发明的优点是：能够在真空镀膜室的一次镀膜过程中实现镀膜工件正反面的同时镀膜；采用机械化的限位结构，对镀膜工件的翻转进行精确限位，从而保证镀膜效果；装置结构简单合理，便于自动化控制。
一种镀膜室用基板装载装置

[实用新型]一种快插接头及真空镀膜设备-CN202122395172.1有效
发明人：张波;刘再兵;王德智;戴秀海;龙汝磊 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： H01R13/627 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种快插接头及真空镀膜设备。该快插接头包括第一电极、第二电极以及锁紧件。其中，第二电极能够与第一电极连接，第二电极包括第二电极本体以及限位柱，限位柱一部分插入第二电极本体中，一部分突出于第二电极本体外周面，锁紧件套设在第二电极和第一电极连接处，且锁紧件能够与限位柱卡接配合，从而使第一电极和第二电极形成可拆卸的连接关系，以便于操作者根据需求选择是否需要第一电极和第二电极连接，该连接结构稳定性强，且可以反复拆卸，有助于提高第一电极和第二电极的使用寿命。本实用新型还提供一种真空镀膜设备，采用上述快插接头，以达到提高第一电极和第二电极使用寿命的效果。
一种接头真空镀膜设备

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