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[实用新型]多蒸发源镀膜装置-CN201620672941.4有效
发明人：李刚正;龙汝磊;吴萍 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2016-06-30 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种多蒸发源镀膜装置，其特征在于：在所述真空镀膜室内设置有多个膜厚控制仪，其中一个所述膜厚控制仪设置在所述工件伞架的中心位置用于监控所述镀膜基片上的镀膜速率，其余的所述膜厚控制仪与所述蒸发源构成一一对应以分别监控和调节每个所述蒸发源的蒸发速率。本实用新型的优点是：实现多蒸发源同时镀膜，精确控制蒸发源的镀膜速率和蒸发角；装置结构简单合理，使用方便，自动化程度高，所镀的多组分膜层均匀性好，质量高。
蒸发镀膜装置

[实用新型]具有可调节角度膜厚控制探头的膜厚控制装置-CN201620672948.6有效
发明人： 龙汝磊;李刚正;吴萍;孙英会 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2016-06-30 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种具有可调节角度膜厚控制探头的膜厚控制装置，其特征在于：所述信号发生器固定安装在一主支撑架上，所述膜厚控制探头通过一副支撑架与所述主支撑架相连接，所述主支撑架和所述副支撑架之间设置有转动机构，通过所述主支撑架与所述副支撑架之间的相对转动实现所述膜厚控制探头的角度调整。本实用新型的优点是：能够精确控制膜厚，为镀膜工艺开发提供多种可选方案；结构简单合理，拆装方便，适于推广。
具有调节角度控制探头装置

[实用新型]应用于离子束刻蚀系统的基片承载装置-CN201520358823.1有效
发明人：戴秀海;余海春;龙汝磊 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2015-05-29 - 公布日： 2015-10-21 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及微细加工技术领域，尤其是应用于离子束刻蚀系统的基片承载装置，其特征在于：所述装置包括旋转轴和至少两个载物台，所述载物台沿所述旋转轴的轴向间隔设置在所述旋转轴上，所述载物台可绕所述旋转轴转动，所述载物台上开设有离子束窗口。本实用新型的优点是：提高了离子束刻蚀系统单次开机所能刻蚀的基片总数量，降低了批量作业时离子束刻蚀系统的开停机次数，提高了离子束刻蚀系统利用率，减少了工时，满足刻蚀工作需要；同时也减少了因反复开停机对配套真空系统的不利影响，延长了真空系统的工作寿命，降低了生产成本。
应用于离子束刻蚀系统承载装置

[实用新型]用于真空系统运动机构的锁紧机构-CN201520093721.1有效
发明人： 龙汝磊;戴秀海 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2015-02-10 - 公布日： 2015-07-15 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜设备领域，尤其涉及用于真空系统运动机构的锁紧机构，其特征在于：所述机构至少由驱动气缸和弹簧锁紧导杆机构构成，所述弹簧锁紧导杆机构包括导杆、弹簧以及牵引块，所述导杆具有一运行通道，所述弹簧套装于所述导杆外壁，所述导杆外壁具有轴肩，所述运行通道内壁上具有滑套，所述弹簧位于所述滑套与所述轴肩之间的位置，所述导杆的一端连接固定所述牵引块，所述导杆的另一端为锁紧头，所述驱动气缸的活塞杆固定连接一机械牵引手臂，所述机械牵引手臂工作面形状与所述牵引块工作面形状匹配，用于牵引所述牵引块以控制所述导杆在所述运行通道内的往复动作。本实用新型的优点是：实现真空系统运动机构的有效锁紧及解锁。
用于真空系统运动机构

[实用新型]一种可实现真空状态下自动翻片的翻转驱动装置-CN201420570936.3有效
发明人： 龙汝磊;戴秀海 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2014-09-30 - 公布日： 2015-02-25 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种可实现真空状态下自动翻片的翻转驱动装置，其特征在于：所述翻转驱动装置由翻转驱动拨盘和翻转驱动机构构成，所述翻转驱动拨盘连接固定于所述翻转镀膜治具外沿，所述翻转驱动拨盘上开设有至少一个卡槽，所述卡槽以所述翻转驱动拨盘的中心为对称中心对称排布；所述翻转驱动机构安装于所述真空镀膜机，所述翻转驱动机构具有至少一根可伸缩的拨杆，所述拨杆上套装有拨杆轴承，所述拨杆轴承的外轮廓尺寸与所述卡槽的槽口尺寸吻合适配，所述拨杆可伸出至所述拨杆轴承与所述卡槽滚动配合。本实用新型的优点是：通过机械驱动使翻转镀膜治具发生翻转，从而使镀膜基片翻面，实现在镀膜腔体不破真空的情况下的双面连续镀膜。
一种实现真空状态自动翻转驱动装置

[实用新型]一种用于双面连续镀膜的分段式翻转镀膜治具机构-CN201420571089.2有效
发明人： 龙汝磊;戴秀海 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2014-09-30 - 公布日： 2015-02-25 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种用于双面连续镀膜的分段式翻转镀膜治具机构，其特征在于：所述分割筋板的近端固定连接于所述镀膜伞架内圈外表面，所述分割筋板的远端设置有分支结构，所述分支结构由两个分支段构成，所述分支段分别向所述主支架延伸并与其构成连接固定，所述翻转镀膜治具安装于相邻的所述分割筋板之间，以及所述分割筋板上的两个所述分支段之间。本实用新型的优点是：具有分支和分割性；通过对治具分割形状的优化，解决大腔体真空镀膜机镀膜翻转治具过重的问题，同时避免了扇形工件治具在靠近伞架中心端载片量受限的缺陷；相比于完全是扇形翻转镀膜治具的镀膜伞架，在治具面积相同的情况下，本实用新型中的分段式翻转镀膜治具机构具有更多的载片量。
一种用于双面连续镀膜段式翻转机构

[实用新型]一种带支撑装置的单轴挡板机构-CN201320342770.5有效
发明人： 龙汝磊;戴秀海 -专利权人：光驰科技(上海)有限公司
申请日： 2013-06-14 - 公布日： 2014-01-01 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种带支撑装置的单轴挡板机构，包括驱动轴、挡板、挡板支架和定位块，所述挡板固定在挡板支架上，挡板支架通过可上下移动的定位块安装在驱动轴上，其中所述挡板机构还包括支撑装置，所述支撑装置一端可上下移动地安装在驱动轴上所述定位块的下方，另一端支撑在挡板支架的下方。实施本实用新型的带支撑装置的单轴挡板机构，在原单轴旋转挡板机构上追加了可随挡板同步转动的支撑装置，并且该装置可根据挡板位置上下调整。通过增加支撑位置，缩短支撑力臂，解决了现有挡板下垂的问题。还可以根据需要在同轴旋转挡板机构产生下垂问题后，针对下垂点追加该支撑装置，操作简单而且不影响原部件及结构。
一种支撑装置挡板机构

[实用新型]光学薄膜成膜的直接式光学监控系统-CN201120122105.6有效
发明人：长家武彦;范宾;宫健;龙汝磊 -专利权人：光驰科技(上海)有限公司
申请日： 2011-04-25 - 公布日： 2012-02-01 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：一种光学薄膜成膜的直接式光学监控系统，涉及光学薄膜成膜技术领域，所解决的是保证膜厚控制精度的同时提高产能的技术问题。该系统包括成膜腔体、光源灯泡、光纤、聚光透镜组件和光接收装置，所述成膜腔体内设有一水平转动的工件盘，所述光源灯泡及聚光透镜组件均安装在成膜腔体内，所述光接收装置经光纤及聚光透镜组件光路连接光源灯泡；所述成膜腔体内固设有一透镜支架、一光源支架，所述透镜支架及光源支架的架体均从工件盘中部延伸至工件盘边缘；所述聚光透镜组件固定在透镜固定件上，所述光源灯泡固定在光源固定件上，且聚光透镜组件及光源灯泡的固定位置均可调节。本实用新型提供的系统，为兼顾精度与产能提供了可调节手段。
光学薄膜直接光学监控系统

[实用新型]红外光纤冷却装置-CN201020201751.7有效
发明人： 龙汝磊;郑振宇;张奇;张子业 -专利权人：光驰科技(上海)有限公司
申请日： 2010-05-21 - 公布日： 2011-01-19 - 主分类号： C23C14/52 文献下载
摘要：一种红外光纤冷却装置，涉及冷却装置技术领域，所解决的是红外光纤耐热性差的技术问题。该装置包括红外光纤、水冷导入座、易导热的热屏蔽筒、透镜座和易导热的热屏蔽罩；所述热屏蔽罩固定在透镜座的上端，并将透镜座上部的光纤罩设于内；所述热屏蔽筒与热屏蔽罩套接，其筒壁与热屏蔽罩的周面紧密贴合，其外表面焊有两根冷却水管；所述水冷导入座上设有分别连接两根冷却水管的进水口和回水口；所述透镜座内设有串接两根冷却水管的水冷夹套；所述红外光纤穿入热屏蔽筒，其头部固定连接透镜座的上端，其尾部从热屏蔽筒的上端伸出；所述透镜座的下端面设有隔热垫。本实用新型提供的装置，能使红外光纤在真空镀膜的成膜温度下长时间稳定工作。
红外光纤冷却装置

[实用新型]双层膜厚均匀性修正板驱动装置-CN201020201715.0有效
发明人：郑振宇;龙汝磊;戴秀海 -专利权人：光驰科技(上海)有限公司
申请日： 2010-05-21 - 公布日： 2011-01-19 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种双层膜厚均匀性修正板驱动装置，涉及真空镀膜技术领域，所解决的是控制两种材料的膜厚均匀性的技术问题。该装置包括安装法兰、两块修正板和两组驱动单元，每组驱动单元包括安装底座、驱动气缸、导轨、轴承座、关节轴承、连接杆、旋转臂和修正板安装杆；所述安装底座、驱动气缸和导轨均固定在安装法兰上，所述轴承座固定在安装底座上；所述关节轴承固定在驱动气缸的动力臂上；所述连接杆的两端分别与关节轴承、旋转臂枢接，所述旋转臂与轴承座枢接；所述修正板安装杆固定在旋转臂上，所述两块修正板分别固定在两组驱动单元的修正板安装杆上；所述关节轴承上装有导轮。本实用新型提供的装置，能有效控制两种材料的膜厚均匀分布。
双层均匀修正驱动装置

[实用新型]圆筒形的电子仪器外壳-CN201020201744.7有效
发明人：郑振宇;张子业;龙汝磊 -专利权人：光驰科技(上海)有限公司
申请日： 2010-05-21 - 公布日： 2011-01-19 - 主分类号： H05K5/00 文献下载
摘要：一种圆筒形电子仪器外壳，涉及电子仪器技术领域，所解决的是现有外壳抗干扰能力、抗冲击能力差及装配不便的技术问题。所述电子仪器内设有电路板，该外壳包括金属质的壳体、金属质的前端盖和金属质的后端盖，其特征在于：所述壳体两端开口，其整体呈圆桶形，所述前端盖和后端盖分别盖合于壳体的两端并固定；所述后端盖上设有开口朝向前端盖方向的V型卡槽，所述电路板的一端固定在前端盖上，另一端固定在后端盖的V型卡槽内，其两侧边沿分别抵住壳体的内壁。本实用新型提供的电子仪器外壳，能有效屏蔽外界电磁信号强，且装配方便。
圆筒电子仪器外壳

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